技術(shù)編號：39729355
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及外延片生產(chǎn)設(shè)備，特別涉及外延片表面預(yù)處理裝置及處理方法。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中，外延生長是十分重要的一個(gè)環(huán)節(jié)，外延片的晶體質(zhì)量是影響器件性能的關(guān)鍵因素之一。而外延片作為半導(dǎo)體工藝中的關(guān)鍵材料，其表面質(zhì)量的好壞直接關(guān)系到后續(xù)器件的性能與穩(wěn)定性。因此，對外延片表面進(jìn)行清洗是至關(guān)重要的。、如公開號為?cnb的一種外延片清洗裝置，包括清洗池、滑架、清洗機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和烘干機(jī)構(gòu)，清洗池設(shè)有隔板將清洗池分隔成初洗區(qū)和精洗區(qū)，清洗兩側(cè)頂部設(shè)有絲桿，絲桿上設(shè)有可在清洗池上滑動(dòng)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。