技術(shù)編號：6129085
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)，尤其涉及一種氣敏傳感器。背景技術(shù)氣體傳感器技術(shù)有著關(guān)闊的應(yīng)用前景，可用于工廠、車間和礦山的各 種易燃易爆或有害氣體的檢測、家庭可燃性氣體泄漏的監(jiān)控檢測等。二氧化錫氣敏傳感器由于結(jié)構(gòu)簡單，制作方便，壽命長等特點(diǎn)而得到 廣泛應(yīng)用。但是傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的二氧化錫氣敏傳感器具有體積大、功耗大、響 應(yīng)慢和一致性差等不可避免的弱點(diǎn)。近年來，隨著硅加工技術(shù)的發(fā)展，特別是微機(jī)械加工技術(shù)帶來了制造 加工技術(shù)的根本性變革。采用微電子、微機(jī)械加工和薄膜...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。