技術(shù)編號(hào)：7074304
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種驅(qū)動(dòng)電極板、電容上極板分離式RFMEMS開關(guān)，包括襯底、位于襯底上的緩沖介質(zhì)層、接地線、共面波導(dǎo)傳輸線、錨點(diǎn)、絕緣介質(zhì)層、彈性折疊梁、上電極，所述接地線、共面波導(dǎo)傳輸線、錨點(diǎn)設(shè)于緩沖介質(zhì)層上，所述絕緣介質(zhì)層覆于所述共面波導(dǎo)傳輸線上，所述上電極與所述絕緣介質(zhì)層留有間隙，所述上電極分為電容上極板和位于電容上極板兩端的驅(qū)動(dòng)電極板，所述驅(qū)動(dòng)電極板和電容上極板之間通過兩套彎曲形狀為n形、彎曲個(gè)數(shù)為1個(gè)的彈性折疊梁連接；所述驅(qū)動(dòng)電極板通過彎曲形狀為n形、彎曲個(gè)數(shù)為...
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