技術(shù)編號(hào)：8318596
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。傳統(tǒng)的真空設(shè)備氣體控制系統(tǒng)，只是在執(zhí)行工藝中，在充入工作氣體時(shí)，同時(shí)啟動(dòng)真空泵對(duì)真空室進(jìn)行抽氣操作，真空室的氣體壓力是一個(gè)動(dòng)態(tài)的變化值。然而在實(shí)際應(yīng)用中，客戶的工藝要求并非是想要一個(gè)真空壓力范圍，客戶會(huì)有不同的工藝條件，往往需要將真空腔體保持在一定的真空度?，F(xiàn)有的技術(shù)一般是客戶設(shè)備上增加各種閥門，通過設(shè)定閥門的開度(且閥門在設(shè)定好開度后就不會(huì)再動(dòng)作)，將真空室控制在一定的范圍內(nèi)波動(dòng)，系統(tǒng)本身不對(duì)真空度進(jìn)行監(jiān)測和控制。發(fā)明內(nèi)容針對(duì)上述問題，本發(fā)明提供一種可以...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。