技術編號：8324012
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 本發(fā)明涉及在曝光裝置等中使用的放電燈，尤其是，涉及將多個部件接合而成的 。背景技術 在放電燈中，隨著高輸出化，使金屬種類、晶體特性等不同的部件接合來形成電 極。例如，將含有釷等發(fā)射體的金屬部件作為電極前端部、將純鎢等高熔點金屬部件作為主 體部，使兩個金屬部件彼此接合。 作為接合方法，已知有作為固相接合之一的擴散接合。在擴散接合中，可以在接合 面附近，以使晶體結構朝軸向傾斜或者不使金屬晶粒沿著軸向變形的方式進行接合，從而 能夠抑制接合導致的電極性能的下降（...
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