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一種直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)壓電驅(qū)動(dòng)器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8982283

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隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,人類(lèi)對(duì)微觀(guān)領(lǐng)域的研宄越來(lái)越深。尤其在超精密加工、微機(jī)電系統(tǒng)、微小機(jī)器人等領(lǐng)域,對(duì)裝置微型化和精密定位的要求越來(lái)越高。傳統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)器如電磁電機(jī)等宏觀(guān)大尺寸驅(qū)動(dòng)裝置已不能滿(mǎn)足這些要求,各種新原理的驅(qū)動(dòng)器應(yīng)運(yùn)而生?;趬弘娫?lì)的驅(qū)動(dòng)器以其體積小、位移分辨率高、響應(yīng)快、不受磁場(chǎng)影響等優(yōu)點(diǎn)得到了非常廣泛的研宄和應(yīng)用。目前,壓電驅(qū)動(dòng)器根據(jù)振動(dòng)模式可分為共振式和非共振式。共振式壓電驅(qū)動(dòng)器通過(guò)壓電元件的高頻振動(dòng)激發(fā)基體結(jié)構(gòu)產(chǎn)生共振來(lái)工作,如壓...
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