技術(shù)編號：9411946
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。組合薄膜(Combinatorial films)即連續(xù)梯度摻雜薄膜是由不同組分構(gòu)成的薄膜，通過對前驅(qū)材料的選取可獲得具有各種功能的薄膜，例如超導(dǎo)、鐵電、介電等擁有豐富相變的材料。組合薄膜技術(shù)大大提高了材料研發(fā)的效率。因其材料相圖豐富，應(yīng)用前景廣闊，業(yè)已成為業(yè)內(nèi)關(guān)注的重點。現(xiàn)有技術(shù)的組合薄膜的制備方法包括磁控濺射、脈沖激光沉積以及分子束外延等。組合薄膜的梯度特性的表征需要良好的空間分辨率?，F(xiàn)有技術(shù)的組合薄膜的制備和測量表征分開進行，效率較低。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明...
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