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Mems陀螺的溫度補(bǔ)償方法及系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9469693

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微機(jī)械陀螺是一種用來測量角速度的慣性器件,具有體積小、重量輕、功耗 低、抗過載能力強(qiáng)、易于集成和智能化等優(yōu)點(diǎn),因此,微機(jī)械陀螺可廣泛應(yīng)用于汽車牽 引控制系統(tǒng)、行駛穩(wěn)定系統(tǒng)、攝像機(jī)穩(wěn)定系統(tǒng)、飛機(jī)穩(wěn)定系統(tǒng)以及軍事等領(lǐng)域,相關(guān)的 研究備受國內(nèi)外的關(guān)注和重視。硅基微機(jī)械陀螺的研究開始于20世紀(jì)80年代末,經(jīng) 過二十余年的發(fā)展已經(jīng)取得了顯著的成果,目前已經(jīng)有多家公司或研究機(jī)構(gòu)提供基于 MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems,微機(jī)電...
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