技術(shù)編號：9728961
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。深紫外AlGaN發(fā)光二極管在殺菌消毒、醫(yī)療、生化檢測、高密度信息存儲、白光照明和保密通信等領(lǐng)域具有巨大的潛在應用價值和前景，受到越來越多研究人員和機構(gòu)的重視。然而AlGaN與常用襯底之間失配很大，導致當前深紫外LED的發(fā)光效率普遍較低，使用AlN作為緩沖層，獲得高晶體質(zhì)量無裂紋的AlN薄膜，成為提高深紫外LED的發(fā)光效率關(guān)鍵技術(shù)。越來越多的試驗結(jié)果證實，在藍寶石襯底上使用派射式(Sputter)AlN材料作為進一步生長氮化物薄膜的緩沖層，可以得到高品質(zhì)的底...
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