本實(shí)用新型是關(guān)于單晶硅裝備輔助設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種用于線切機(jī)進(jìn)刀單元的自重平衡裝置。

背景技術(shù)：

在現(xiàn)有單晶硅棒金剛線切片設(shè)備中，進(jìn)刀單元普遍采用線性導(dǎo)軌導(dǎo)向、絲桿傳動的結(jié)構(gòu)，但由于工藝要求的限制，往往其質(zhì)量高達(dá)1.5至2噸。雖然在現(xiàn)有的工藝條件下，絲桿理論上能夠承受如此巨大的負(fù)載，但是客觀上造成絲桿傳動精度的降低，嚴(yán)重影響硅棒的切片質(zhì)量；絲桿失效可能性的增加，危險系數(shù)增大。

為解決上述問題，現(xiàn)本領(lǐng)域內(nèi)通用以下技術(shù)：

1、滑輪組配重式技術(shù)是通過配重塊平衡進(jìn)刀單元的自重，并通過滑輪組降低配重塊的質(zhì)量，其明顯壓縮設(shè)備的有效利用空間，大大增加設(shè)備的總質(zhì)量，提高運(yùn)輸與吊裝難度。

2、通過氣彈簧等提供預(yù)緊力式平衡進(jìn)刀單元自重，然而由于現(xiàn)有氣彈簧技術(shù)及生產(chǎn)制造的條件限制，其負(fù)載能力、行程及在巨大負(fù)載的長期使用條件下使用壽命達(dá)不到最理想狀態(tài)，同時，由于氣彈簧預(yù)緊力為固定值，本技術(shù)不具備調(diào)節(jié)負(fù)載大小功能。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的主要目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種能平衡金剛線切片設(shè)備進(jìn)刀單元自重的裝置。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的解決方案是：

提供一種用于線切機(jī)進(jìn)刀單元的自重平衡裝置，用于消除進(jìn)刀單元自重對硅棒切片時的影響；進(jìn)刀單元的兩側(cè)對稱設(shè)有鋼絲繩限位孔(進(jìn)刀單元為以T型狀鑄件為主，其余功能性安裝零件為輔的裝配體)，絲桿、絲桿螺母用于作為傳動機(jī)構(gòu)；所述用于線切機(jī)進(jìn)刀單元的自重平衡裝置包括氣缸、雙肘接頭、鋼絲繩、滑輪組、滑輪安裝座、線性導(dǎo)軌、進(jìn)刀單元安裝座；

所述進(jìn)刀單元安裝座的主體是回字形水平板，進(jìn)刀單元穿過回字形水平板中間的方形孔，進(jìn)刀單元安裝座的豎直中軸線上開有絲桿螺母安裝孔，用于(通過螺釘)連接安裝進(jìn)刀單元中的絲桿螺母，實(shí)現(xiàn)從進(jìn)刀單元安裝座到進(jìn)刀單元的傳動；回字形水平板的一側(cè)上下各伸出有兩端小中間大的梯形結(jié)構(gòu)，梯形結(jié)構(gòu)的底面兩側(cè)對稱設(shè)有線性導(dǎo)軌滑塊安裝面，用于(通過螺釘)安裝線性導(dǎo)軌滑塊，以保證線性導(dǎo)軌的豎直方向；回字形水平板的另一側(cè)分別設(shè)有對稱的兩個通孔及對稱的兩個氣缸安裝孔，氣缸安裝孔用于安裝氣缸，通孔用于氣缸活塞桿穿過；

所述線性導(dǎo)軌安裝在進(jìn)刀單元上，進(jìn)刀單元安裝座利用線性導(dǎo)軌滑塊安裝在線性導(dǎo)軌，使進(jìn)刀單元能在線性導(dǎo)軌的導(dǎo)向作用下，實(shí)現(xiàn)在豎直方向上的直線運(yùn)動；

所述氣缸設(shè)有兩個，對稱安裝在進(jìn)刀單元安裝座上；且兩個氣缸的活塞桿能分別穿過進(jìn)刀單元安裝座上對應(yīng)的通孔；所述雙肘接頭設(shè)有兩個，分別通過螺紋連接安裝在兩個氣缸的活塞桿端部；

所述滑輪安裝座為L型安裝座，底面設(shè)有安裝螺孔；滑輪安裝座設(shè)有兩個，分別對稱安裝在進(jìn)刀單元上；滑輪安裝座上還設(shè)有兩個滑輪安裝螺孔，用于安裝滑輪；

所述鋼絲繩設(shè)有兩根，每根鋼絲繩的一端用于連接對應(yīng)的雙肘接頭，另一端交錯繞過對應(yīng)滑輪組的滑輪后，通過鋼絲繩限位孔安裝至進(jìn)刀單元；

所述滑輪組設(shè)有兩組，且每組滑輪組包括兩個定滑輪；每個定滑輪分別通過螺紋連接安裝在滑輪安裝座上，用于調(diào)整鋼絲繩與進(jìn)刀單元的連結(jié)位置，使兩個鋼絲繩限位孔與重心在同一豎直平面內(nèi)。

作為進(jìn)一步的改進(jìn)，所述氣缸活塞桿端部設(shè)有螺紋。

作為進(jìn)一步的改進(jìn)，所述雙肘接頭采用Y型雙肘接頭。

作為進(jìn)一步的改進(jìn)，所述鋼絲繩采用不銹鋼材質(zhì)的鋼絲繩。

作為進(jìn)一步的改進(jìn)，所述鋼絲繩用于和雙肘接頭連接的一端為(合金壓制接頭的)鋼絲繩環(huán)，用于連接進(jìn)刀單元的另一端為球體與圓柱體結(jié)合狀的定制接頭，方便安裝與拆卸。

作為進(jìn)一步的改進(jìn)，所述鋼絲繩兩端裝設(shè)有吊鉤，用于進(jìn)行固定。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

本實(shí)用新型通過控制氣缸輸出力平衡進(jìn)刀單元自重，大大增加絲桿傳動的使用壽命，提高傳動精度，改善硅棒的切片質(zhì)量。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的正視圖。

圖2為本實(shí)用新型的左視圖。

圖中的附圖標(biāo)記為：1氣缸；2雙肘接頭；3鋼絲繩；4滑輪組；5滑輪安裝座；6進(jìn)刀單元；7進(jìn)刀單元安裝座；8線性導(dǎo)軌。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖與具體實(shí)施方式對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述：

如圖1、圖2所示的一種用于線切機(jī)進(jìn)刀單元的自重平衡裝置包括氣缸1、雙肘接頭2、鋼絲繩3、滑輪組4、滑輪安裝座5、線性導(dǎo)軌8、進(jìn)刀單元安裝座7，用于消除進(jìn)刀單元6自重對硅棒切片時的影響。

進(jìn)刀單元6是以“倒T型”鑄件為主，其余功能性安裝零件為輔的裝配體，進(jìn)刀單元6的兩側(cè)對稱各設(shè)有一個鋼絲繩限位孔，絲桿及絲桿螺母用于作為傳動機(jī)構(gòu)，通過螺紋連接至進(jìn)刀單元安裝座7。

所述進(jìn)刀單元安裝座7為以“回”字形水平板為基礎(chǔ)，其中一邊上下各伸出兩端小中間大的梯形結(jié)構(gòu)的鑄件，進(jìn)刀單元6穿過中間的方形孔；進(jìn)刀單元安裝座7的豎直中軸線上開有絲桿螺母安裝孔，通過螺釘連接安裝絲桿螺母，用于從進(jìn)刀單元安裝座7到進(jìn)刀單元6的傳動；梯形底面兩側(cè)對稱設(shè)有線性導(dǎo)軌滑塊安裝面，通過螺釘連接安裝線性導(dǎo)軌滑塊，用于保證線性導(dǎo)軌8的豎直方向；平板另一側(cè)設(shè)有對稱的兩個通孔及氣缸安裝孔，用于安裝氣缸1以及保證氣缸1的活塞桿穿過所設(shè)通孔。

所述線性導(dǎo)軌8通過螺釘連接至進(jìn)刀單元6，同樣通過螺釘連結(jié)線性導(dǎo)軌滑塊與進(jìn)刀單元安裝座7，使得進(jìn)刀單元6在線性導(dǎo)軌8的導(dǎo)向作用下，實(shí)現(xiàn)其在豎直方向上的直線運(yùn)動。

所述氣缸1設(shè)有兩個，通過螺釘對稱安裝在進(jìn)刀單元安裝座7上，且兩個氣缸1的活塞桿分別穿過進(jìn)刀單元安裝座7對應(yīng)的通孔。

所述的雙肘接頭2設(shè)有兩個，分別通過螺紋連接安裝在兩個氣缸1的活塞桿端部。

所述鋼絲繩3采用不銹鋼材質(zhì)的鋼絲繩，鋼絲繩3的一端為合金壓制接頭的鋼絲繩環(huán)，用于穿過雙肘接頭2與其連接；另一端為球體與圓柱體結(jié)合狀的定制接頭，交錯繞過滑輪組4的兩個滑輪后，通過鋼絲繩限位孔安裝至進(jìn)刀單元6。鋼絲繩3兩端也可裝設(shè)吊鉤式進(jìn)行固定。

所述滑輪安裝座5設(shè)有兩個，為L型安裝座，底面設(shè)有安裝螺孔，分別對稱安裝在進(jìn)刀單元6上；滑輪安裝座5上設(shè)有兩個滑輪安裝螺孔，用于安裝滑輪。

所述滑輪組4設(shè)有兩組，且每組滑輪組4由兩個定滑輪組成，每個定滑輪分別通過螺紋連接安裝在滑輪安裝座5上，用于調(diào)整鋼絲繩3與進(jìn)刀單元6的連結(jié)位置，使兩個鋼絲繩限位孔與重心在同一豎直平面內(nèi)。滑輪組4也可改為多個動滑輪、定滑輪相結(jié)合的滑輪組，用于減小氣缸1輸出力大小。

工作時，進(jìn)刀單元6由于重力，在線性導(dǎo)軌8的導(dǎo)向作用下作豎直向下直線運(yùn)動，一端固定在進(jìn)刀單元6上的鋼絲繩3被拉緊，通過滑輪組4改變作用方向后，將拉力轉(zhuǎn)至氣缸1的活塞桿上，而氣缸1則通過對氣的控制提供相對應(yīng)大小的拉力，至此達(dá)到進(jìn)刀單元6的自重平衡。

最后，需要注意的是，以上列舉的僅是本實(shí)用新型的具體實(shí)施例。顯然，本實(shí)用新型不限于以上實(shí)施例，還可以有很多變形。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能從本實(shí)用新型公開的內(nèi)容中直接導(dǎo)出或聯(lián)想到的所有變形，均應(yīng)認(rèn)為是本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。