一種硅片切割機(jī)用切削液循環(huán)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種硅片切割機(jī)用切削液循環(huán)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片切割機(jī)為生產(chǎn)硅片的必要設(shè)備，起到切割硅錠的作用。也就是說(shuō)，硅錠經(jīng)過(guò)切割機(jī)切割后形成硅片，因此，生產(chǎn)硅片必然會(huì)用到切割機(jī)。由于硅錠的特殊性，切割機(jī)在切割硅錠時(shí)，其切削液會(huì)產(chǎn)生大量的泡沫，為保證切割機(jī)的正常運(yùn)作不得不加入大量的水來(lái)保證切割機(jī)的正常工作。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中切割機(jī)的切削液循環(huán)系統(tǒng)一般是由一根供水管向若干臺(tái)切割機(jī)統(tǒng)一進(jìn)行供水，然后參與切割后的切削液再由回水管統(tǒng)一回收進(jìn)行循環(huán)使用，這種切削液循環(huán)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，造成切割機(jī)在工作過(guò)程中切削液會(huì)產(chǎn)生大量的泡沫，影響切割機(jī)的正常運(yùn)tx，并且提尚了娃片的不良率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明提供的一種硅片切割機(jī)用切削液循環(huán)裝置，旨在克服現(xiàn)有技術(shù)中用于硅片切割機(jī)的切削液循環(huán)系統(tǒng)容易在管道內(nèi)積聚大量的泡沫，容易造成硅片在切割時(shí)損壞的不足。
[0005]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:一種硅片切割機(jī)用切削液循環(huán)裝置，包括儲(chǔ)水桶，所述儲(chǔ)水桶通過(guò)供水管向至少一臺(tái)切割機(jī)供水，所述切割機(jī)包括水箱，所述供水管與水箱相通，所述水箱上開設(shè)有溢流口，該硅片切割機(jī)用切削液循環(huán)裝置還包括過(guò)濾機(jī)，每個(gè)水箱上的溢流口均通過(guò)溢流管將切削液送至過(guò)濾機(jī)，所述溢流管上串接有去泡池，所述去泡池上開設(shè)有與溢流口相通的進(jìn)水口，所述去泡池上還開設(shè)有與過(guò)濾機(jī)相通的出水口，所述出水口內(nèi)安裝有安全閥，所述進(jìn)水口的水平高度高于出水口的水平高度，所述進(jìn)水口內(nèi)切削液的流量與出水口內(nèi)切削液的流量相等，所述去泡池上端還固定有與去泡池相通的容泡池，所述容泡池的容積大于去泡池的容積，所述過(guò)濾機(jī)與儲(chǔ)水桶之間通過(guò)回水管相通，所述去泡池與過(guò)濾機(jī)之間串接有第一沉淀桶，所述回水管上串接有第二沉淀桶，所述儲(chǔ)水桶上連接有兩個(gè)供水栗，兩個(gè)供水栗并聯(lián)后均向供水管供水。
[0006]上述構(gòu)成中，溢流管上串接有去泡池，在去泡池的上端固定有容泡池，去泡池與容泡池相通，去泡池上開設(shè)有進(jìn)水口和出水口，并且，進(jìn)水口的水平高度高于出水口的水平高度，在出水口內(nèi)設(shè)有安全閥，切割機(jī)工作過(guò)程中位于水箱內(nèi)的切削液會(huì)產(chǎn)生大量的泡沫，該泡沫會(huì)隨切削液經(jīng)溢流口進(jìn)入去泡池內(nèi)，由于出水口內(nèi)設(shè)有安全閥，所以進(jìn)入去泡池內(nèi)的切削液不會(huì)立即由出水口排出，而是會(huì)積聚在去泡池內(nèi)，從而造成去泡池內(nèi)的切削液液面上升，此時(shí)，由于泡沫的密度小于切削液，因此，位于去泡池內(nèi)的泡沫高度會(huì)隨切削液液面的上升而上升，并進(jìn)入容泡池內(nèi)，去泡池內(nèi)的液面到達(dá)一定高度后，安全閥開啟，位于去泡池內(nèi)的切削液由出水口排出，此時(shí)，位于去泡池內(nèi)的切削液沒(méi)有泡沫(泡沫位于容泡池內(nèi))，從而實(shí)現(xiàn)去除管道內(nèi)泡沫的作用，由溢流口溢出的切削液不斷進(jìn)入去泡池內(nèi)保持去泡池內(nèi)切削液的液面高度，從而使得切削液得以循環(huán)使用，達(dá)到去除泡沫的目的。
[0007]—種可選的方案，所述容泡池內(nèi)固定有至少兩層網(wǎng)狀電熱層，兩層網(wǎng)狀電熱層之間的距離不小于毫米，所述容泡池的外壁上固定有控制網(wǎng)狀電熱層的控制器。容泡池內(nèi)固定網(wǎng)裝電熱層，網(wǎng)狀電熱層通電后溫度升高，從而可以使與網(wǎng)狀電熱層接觸的泡沫迅速破裂，避免泡沫溢出容泡池。兩層網(wǎng)狀電熱層之間的距離不小于毫米，可以更好的避免泡沫溢出。
[0008]—種可選的方案，所述網(wǎng)狀電熱層上固定有若干根立筋，所述立筋的形狀為圓錐形，所述立筋的大端固定在網(wǎng)狀電熱層上。立筋可以進(jìn)一步提高泡沫的破碎率，進(jìn)一步避免了泡沫溢出。
[0009]—種可選的方案，該硅片切割機(jī)用切削液循環(huán)裝置還包括補(bǔ)水桶，所述補(bǔ)水桶與儲(chǔ)水桶之間通過(guò)補(bǔ)水管相通，所述補(bǔ)水管上連接有藥水桶，所述補(bǔ)水管上還串接有控制補(bǔ)水桶是否向儲(chǔ)水桶補(bǔ)水的第一控制閥，所述藥水桶與補(bǔ)水管之間串接有第二控制閥。補(bǔ)水桶起到向儲(chǔ)水桶內(nèi)補(bǔ)水的作用，大大提高了切削液循環(huán)裝置工作時(shí)的穩(wěn)定性能。
[0010]—種可選的方案，所述過(guò)濾機(jī)為至少兩臺(tái)并聯(lián)在一起的廂式壓濾機(jī)。兩臺(tái)廂式壓濾機(jī)并聯(lián)使用，其中一臺(tái)廂式壓濾機(jī)可以作另一臺(tái)的備用機(jī)使用，過(guò)濾機(jī)檢修時(shí)不需要對(duì)切削液循環(huán)裝置進(jìn)行停機(jī)，操作方便。
[0011]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的一種硅片切割機(jī)用切削液循環(huán)裝置，具有如下優(yōu)點(diǎn):儲(chǔ)水桶連接有供水栗，供水栗通過(guò)供水管將切削液供入切割機(jī)的水箱內(nèi)，水箱內(nèi)參與切割后的切削液經(jīng)溢流口進(jìn)入溢流管內(nèi)，溢流管上串接有去泡池，在去泡池的上端固定有容泡池，去泡池與容泡池相通，去泡池上開設(shè)有進(jìn)水口和出水口，并且，進(jìn)水口的水平高度高于出水口的水平高度，在出水口內(nèi)設(shè)有安全閥，由出水口排出的切削液經(jīng)沉淀、過(guò)濾、再沉淀之后進(jìn)入儲(chǔ)水桶內(nèi)進(jìn)行循環(huán)使用；切割機(jī)工作過(guò)程中位于水箱內(nèi)的切削液會(huì)產(chǎn)生大量的泡沫，該泡沫會(huì)隨切削液經(jīng)溢流口進(jìn)入去泡池內(nèi)，由于出水口內(nèi)設(shè)有安全閥，所以進(jìn)入去泡池內(nèi)的切削液不會(huì)立即由出水口排出，而是會(huì)積聚在去泡池內(nèi)，從而造成去泡池內(nèi)的切削液液面上升，此時(shí)，由于泡沫的密度小于切削液，因此，位于去泡池內(nèi)的泡沫高度會(huì)隨切削液液面的上升而上升，由排水口排出的切削液內(nèi)沒(méi)有泡沫，從而避免了泡沫進(jìn)入切削液循環(huán)裝置內(nèi)循環(huán)，提高了切割機(jī)工作時(shí)的穩(wěn)定性能，優(yōu)化了硅片的質(zhì)量。
【附圖說(shuō)明】
[0012]附圖1是本發(fā)明一種硅片切割機(jī)用切削液循環(huán)裝置的結(jié)構(gòu)框圖；
[0013]附圖2是本發(fā)明一種硅片切割機(jī)用切削液循環(huán)裝置中去泡池、容泡池的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的一種硅片切割機(jī)用切削液循環(huán)裝置作進(jìn)一步說(shuō)明。如圖1、圖2所示，一種硅片切割機(jī)用切削液循環(huán)裝置，包括儲(chǔ)水桶1，所述儲(chǔ)水桶1通過(guò)供水管2向至少一臺(tái)切割機(jī)供水，所述儲(chǔ)水桶1上連接有兩個(gè)供水栗14，兩個(gè)供水栗14并聯(lián)后均向供水管2供水，也就是說(shuō)，兩個(gè)供水栗14并聯(lián)使用，兩個(gè)供水栗14均可以采用氣動(dòng)隔膜栗，檢修過(guò)程中一個(gè)供水栗14可以作另一個(gè)供水栗14的備用機(jī)使用；
[0015]所述切割機(jī)包括水箱3，所述供水管2與水箱3相通，所述水箱3上開設(shè)有溢流口，該硅片切割機(jī)用切削液循環(huán)裝置還包括過(guò)濾機(jī)4，每個(gè)水箱3上的溢流口均通過(guò)溢流管5將切削液送至過(guò)濾機(jī)4，參見圖2，所述溢流管5上串接有去泡池6，所述去泡池6上開設(shè)有與溢流口相通的進(jìn)水口 7，所述去泡池6上還開設(shè)有與過(guò)濾機(jī)4相通的出水口 8，所述出水口8內(nèi)安裝有安全閥9，安全閥9用來(lái)使去