1.一種空間機械臂幾何參數(shù)標定方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟一、在機械臂的每個關(guān)節(jié)的運動部件的側(cè)面加工三個靶座端面，三個靶座端面的中心位于三角形的三個頂點上，且在空間某個方位同時可見，每個靶座端面上固定有一個靶座，三個靶座依次按順序編號，完成后，得到多個固定有靶座的關(guān)節(jié)；
步驟二、分別建立每個固定有靶座的關(guān)節(jié)的關(guān)節(jié)端面坐標系，每個固定有靶座的關(guān)節(jié)的關(guān)節(jié)端面坐標系的建立過程為：
將激光雙頻干涉儀和固定有靶座的關(guān)節(jié)放置在測試平臺上，且保持激光雙頻干涉儀和固定有靶座的關(guān)節(jié)的空間位置關(guān)系固定不變，將測量靶球放置在固定有靶座的關(guān)節(jié)的任意一個靶座上，然后讓關(guān)節(jié)通電自由轉(zhuǎn)動，用激光雙頻干涉儀測量在運動過程中測量靶球的空間位置，用激光雙頻干涉儀處理軟件擬合測試靶球運動的圓心和圓周平面，設(shè)定該圓心為關(guān)節(jié)端面坐標系的原點，設(shè)定該圓周平面為關(guān)節(jié)端面坐標系的xy平面，用激光雙頻干涉儀測量關(guān)節(jié)臂桿基座的軸線，設(shè)定關(guān)節(jié)臂桿基座的軸線在圓周平面的投影并與關(guān)節(jié)臂桿基座伸出方向一致的方向為關(guān)節(jié)端面坐標系的x方向；
步驟三、分別測定每個固定有靶座的關(guān)節(jié)的關(guān)節(jié)端面坐標系與該固定有靶座的關(guān)節(jié)的三個靶座的位置關(guān)系，每個固定有靶座的關(guān)節(jié)的關(guān)節(jié)端面坐標系與該固定有靶座的關(guān)節(jié)的三個靶座的位置關(guān)系的測定過程為：
保持步驟二建立關(guān)節(jié)端面坐標系時，激光雙頻干涉儀與固定有靶座的關(guān)節(jié)的位置關(guān)系不變，將測量靶球分別按靶座編號順序依次放置在固定有靶座的關(guān)節(jié)的三個靶座上，以關(guān)節(jié)端面坐標系為工作坐標系，按順序記錄三個靶座的空間位置數(shù)據(jù)，得到關(guān)節(jié)端面坐標系與三個靶座的空間位置固連關(guān)系；
步驟四、裝配機械臂各關(guān)節(jié)，裝配完成后，通過指令將機械臂各關(guān)節(jié)的關(guān)節(jié)旋轉(zhuǎn)角度歸零位保持機械臂的空間位置在整個測量過程中不變，用激光雙頻干涉儀按靶座編號順序分別測量各固定有靶座的關(guān)節(jié)處的三個靶座的空間位置點，根據(jù)步驟三得到的關(guān)節(jié)端面坐標系與三個靶座的空間位置固連關(guān)系，恢復(fù)各個固定有靶座的關(guān)節(jié)的關(guān)節(jié)端面坐標系；
步驟五、通過數(shù)據(jù)處理軟件，根據(jù)恢復(fù)的各個固定有靶座的關(guān)節(jié)的關(guān)節(jié)端面坐標系測量機械臂的幾何參數(shù)，完成空間機械臂幾何參數(shù)的標定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種空間機械臂幾何參數(shù)標定方法，其特征在于，所述三個靶座端面均為圓形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種空間機械臂幾何參數(shù)標定方法，其特征在于，所述靶座與靶座端面粘接剛性固定。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種空間機械臂幾何參數(shù)標定方法，其特征在于，所述幾何參數(shù)為連桿長度a、連桿扭角α、連桿偏置d、連桿之間的關(guān)節(jié)角θ、機械臂各基座坐標系、機械臂第一個和最后一個關(guān)節(jié)的關(guān)節(jié)端面坐標系。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種空間機械臂幾何參數(shù)標定方法，其特征在于，所述數(shù)據(jù)處理軟件為Spatial Analyzer軟件。