激光平行光管雙焦面共軛調(diào)整方法及調(diào)整裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種激光平行光管雙焦面的共軛調(diào)整方法及調(diào)整裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]激光平行光管是激光系統(tǒng)中一種基本的基準工具，為了使用方便，往往設(shè)置有兩個焦面，一個是發(fā)射焦面，一個是接受焦面，兩個焦面共軛且位于平行光管的真實焦面上是其使用的基本要求，儀器安裝時如何將兩個焦面調(diào)整到其共軛位置是需要解決的一個關(guān)鍵問題，往常的方法采用焦面和光管共同調(diào)整，調(diào)整時間長，調(diào)整不方便，且重復(fù)性差。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明提出一種激光平行光管雙焦面共軛的調(diào)整方法，可以高精度、快速的實現(xiàn)雙焦面的共軛調(diào)整。
[0004]本發(fā)明為了解決激光平行光管雙焦面的調(diào)整，采用焦面基準轉(zhuǎn)移+顯微放大成像的方法，能夠?qū)崿F(xiàn)雙焦面共軛及平行光管焦面確定。
[0005]為解決以上技術(shù)問題，本發(fā)明給出以下技術(shù)方案:
[0006]本發(fā)明的第一個技術(shù)方案:
[0007]激光平行光管雙焦面共軛調(diào)整方法，其特殊之處在于，
[0008]包括分光棱鏡，第一顯微鏡、第二顯微鏡和第三顯微鏡；所述分光棱鏡是45度分光棱鏡，具有兩個焦面，分別為第一焦面和第二焦面；第一焦面和第一顯微鏡分別位于分光棱鏡的兩側(cè)，第二顯微鏡、分光棱鏡和第三顯微鏡依次設(shè)置，第二焦面位于第三顯微鏡和分光棱鏡之間；
[0009]具體調(diào)整方法包括以下步驟:
[0010]1)將第一點源插入分光棱鏡第一焦面處；其中，第一點源為激光點源，第二顯微鏡和第三顯微鏡的連線與第一點源和第一顯微鏡的連線垂直；
[0011]2)采用第一顯微鏡將第一點源清晰成像；
[0012]3)在第二焦面處放置十字分劃板，調(diào)整十字分劃板，將十字分劃板的十字清晰成像在第一顯微鏡上、并與第一點源在第一顯微鏡的成像重合；
[0013]4)調(diào)整第三顯微鏡，將十字分劃板的十字清晰成像在第三顯微鏡；
[0014]5)在第二顯微鏡的物面上放置第二點源，使第二點源經(jīng)第二顯微鏡清晰成像在第三顯微鏡上、并與第三顯微鏡上的的十字像重合；其中，第二點源為激光點源；
[0015]6)采用(XD替換第三顯微鏡及十字分劃板，(XD的成像面位于十字分劃板處；
[0016]7)調(diào)整(XD使第二點源通過第二顯微鏡在(XD上成像清晰，固定CCD，形成包括分光棱鏡的第一點源與CCD的共軛整體，共焦調(diào)整完成；
[0017]8)將步驟7)形成的共軛整體移植到激光平行光管物鏡焦面位置，使第一點源的激光輸入至自準平面，C⑶監(jiān)視自準平面返回的激光，
[0018]若CCD獲得的自準返回焦斑圖像質(zhì)量最好時，則找準了激光平行光管的焦面位置，完成了激光平行光管雙焦面共軛調(diào)整；
[0019]否則，將共軛整體進行前后、左右、上下調(diào)整，使得C⑶獲得的自準返回焦斑圖像質(zhì)量最好。
[0020]CCD的像素越小越好，顯微鏡的分辨率越高越好。
[0021]本發(fā)明的第二個技術(shù)方案:
[0022]采用上述調(diào)整方法獲得的激光平行光管。
[0023]本發(fā)明的第三個技術(shù)方案:
[0024]實現(xiàn)上述的調(diào)整方法的雙焦面共軛調(diào)整裝置，其特殊之處在于:
[0025]包括第一點源、第二點源、十字分劃板、分光棱鏡、第一顯微鏡、第二顯微鏡和第三顯微鏡；
[0026]所述分光棱鏡是45度分光棱鏡，其具有第一焦面和第二焦面；
[0027]所述第一點源放置在第一焦面上，第一焦面和第一顯微鏡分別位于分光棱鏡的兩偵U，
[0028]所述第二顯微鏡和第三顯微鏡分別位于分光棱鏡的兩側(cè)，且第二顯微鏡和第三顯微鏡的連線與第一點源和第一顯微鏡的連線垂直；
[0029]所述第二焦面位于第三顯微鏡和分光棱鏡之間；
[0030]所述第二點源放置在第二顯微鏡的物面上；所述十字分劃板放置在第二焦面上；
[0031]第一點源和十字分劃板的十字均在第一顯微鏡上清晰成像、且成像重合；
[0032]所述十字分劃板的十字在第三顯微鏡上清晰成像；
[0033]所述第二點源經(jīng)第二顯微鏡清晰成像在第三顯微鏡上、并與第三顯微鏡上十字分劃板的十字像重合。
[0034]上述第一點源和第二點源均是激光點源。
[0035]本發(fā)明具有以下優(yōu)點:
[0036]1)本發(fā)明采用大倍率顯微鏡及小像素尺寸的CCD，可以獲得很高的共軛調(diào)整精度；
[0037]2)本發(fā)明采用共軛的雙焦面，可以方便的確定激光平行光管焦面；
[0038]3)本發(fā)明快速簡單易實施，特別適合激光實驗室焦面反復(fù)調(diào)整使用。
【附圖說明】
[0039]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0040]附圖標記:1_第一顯微鏡，2-第二顯微鏡，3-第三顯微鏡，4-第一焦面，5-第二焦面，6-自準平面，7-激光平行光管物鏡，8-分光棱鏡，9-十字分劃板，10-第一點源，11-第二點源。
【具體實施方式】
[0041]圖1給出了本發(fā)明調(diào)整裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，包括分光棱鏡8，第一顯微鏡1、第二顯微鏡2和第三顯微鏡3 ;分光棱鏡是45度分光棱鏡，具有兩個焦面，分別為第一焦面4和第二焦面5 ;第一焦面和第一顯微鏡分別位于分光棱鏡的兩側(cè)，第二顯微鏡、分光棱鏡和第三顯微鏡依次設(shè)置，第二焦面位于第三顯微鏡和分光棱鏡之間；
[0042]具體調(diào)整步驟如下:
[0043]具體調(diào)整方法包括以下步驟:
[0044]1)將第一點源插入分光棱鏡第一焦面處(結(jié)構(gòu)設(shè)計定位即可)；其中，第一點源為激光點源，第二顯微鏡和第三顯微鏡的連線與第一點源和第一顯微鏡的連線垂直；
[0045]2)采用第一顯微鏡將第一點源清晰成像；
[0046]3)在第二焦面處放置十字分劃板，調(diào)整十字分劃板，通過對十字分劃板進行上下、左