本實(shí)用新型涉及硅片拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種往復(fù)式硅塊拋光機(jī)。

背景技術(shù)：

當(dāng)前，企業(yè)在對(duì)硅片進(jìn)行拋光加工時(shí)均采用人工進(jìn)給的方式，這種方式不僅效率較低，同時(shí)，人工操作存在人為的不確定性因素，容易導(dǎo)致硅片加工質(zhì)量低的問(wèn)題，降低企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益，存在不足。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種往復(fù)式硅塊拋光機(jī)，為克服上述的不足，采用電機(jī)控制的往復(fù)式進(jìn)給方式，不僅提高了生產(chǎn)效率，同時(shí)，電機(jī)控制的誤差小，有利于提高硅片的加工質(zhì)量與精度，提高企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案：

一種往復(fù)式硅塊拋光機(jī)，包括底座、電機(jī)座、第一電機(jī)、曲柄、連桿、導(dǎo)向套、第二電機(jī)、主動(dòng)帶輪、傳動(dòng)帶、從動(dòng)帶輪、拋光輪、立柱、導(dǎo)向桿；其中：電機(jī)座、立柱均與底座固定連接，導(dǎo)向桿固定于電機(jī)座與立柱之間，電機(jī)座與第一電機(jī)固定連接，第一電機(jī)與曲柄固定連接，曲柄通過(guò)連桿與導(dǎo)向套活動(dòng)連接，導(dǎo)向套內(nèi)壁與導(dǎo)向桿連接，導(dǎo)向套外壁與第二電機(jī)固定連接，第二電機(jī)與主動(dòng)帶輪同軸連接，主動(dòng)帶輪通過(guò)傳動(dòng)帶與從動(dòng)帶輪連接，從動(dòng)帶輪與拋光輪連接。

一種往復(fù)式硅塊拋光機(jī)，其中：曲柄與連桿的長(zhǎng)度之比為9:4。

一種往復(fù)式硅塊拋光機(jī)，其中：導(dǎo)向套的長(zhǎng)度為300mm。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：本裝置采用電機(jī)控制的往復(fù)式進(jìn)給方式，不僅提高了生產(chǎn)效率，同時(shí)，電機(jī)控制的誤差小，有利于提高硅片的加工質(zhì)量與精度，提高企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意簡(jiǎn)圖。

附圖標(biāo)記：底座1、電機(jī)座2、第一電機(jī)3、曲柄4、連桿5、導(dǎo)向套6、第二電機(jī)7、主動(dòng)帶輪8、傳動(dòng)帶9、從動(dòng)帶輪10、拋光輪11、立柱12、導(dǎo)向桿13。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1、一種往復(fù)式硅塊拋光機(jī)，包括底座1、電機(jī)座2、第一電機(jī)3、曲柄4、連桿5、導(dǎo)向套6、第二電機(jī)7、主動(dòng)帶輪8、傳動(dòng)帶9、從動(dòng)帶輪10、拋光輪11、立柱12、導(dǎo)向桿13；其中：電機(jī)座2、立柱12均與底座1固定連接，導(dǎo)向桿13固定于電機(jī)座2與立柱12之間，電機(jī)座2與第一電機(jī)3固定連接，第一電機(jī)3與曲柄4固定連接，曲柄4通過(guò)連桿5與導(dǎo)向套6活動(dòng)連接，導(dǎo)向套6內(nèi)壁與導(dǎo)向桿13連接，導(dǎo)向套6外壁與第二電機(jī)7固定連接，第二電機(jī)7與主動(dòng)帶輪8同軸連接，主動(dòng)帶輪8通過(guò)傳動(dòng)帶9與從動(dòng)帶輪10連接，從動(dòng)帶輪10與拋光輪11連接。

實(shí)施例2、一種往復(fù)式硅塊拋光機(jī)，其中：曲柄4與連桿5的長(zhǎng)度之比為9:4，有利于提高進(jìn)給效率。其余同實(shí)施例1。

實(shí)施例3、一種往復(fù)式硅塊拋光機(jī)，其中：導(dǎo)向套6的長(zhǎng)度為300mm，有利于提高導(dǎo)向精度，提高硅片的加工質(zhì)量與精度。其余同實(shí)施例1。

工作原理：

將硅塊放置于底座1之上，啟動(dòng)第一電機(jī)3，第一電機(jī)3帶動(dòng)曲柄4轉(zhuǎn)動(dòng)，曲柄4通過(guò)連桿5推動(dòng)導(dǎo)向套6沿著導(dǎo)向桿13往復(fù)運(yùn)動(dòng)，同時(shí)，第二電機(jī)7帶動(dòng)主動(dòng)帶輪8旋轉(zhuǎn)，主動(dòng)帶輪8通過(guò)傳動(dòng)帶9帶動(dòng)從動(dòng)帶輪10旋轉(zhuǎn)，從動(dòng)帶輪10帶動(dòng)拋光輪11旋轉(zhuǎn)，拋光輪11同時(shí)做自身轉(zhuǎn)動(dòng)與往復(fù)運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而對(duì)硅塊進(jìn)行拋光，通過(guò)往復(fù)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)對(duì)硅塊的拋光，可以大幅度提高硅塊表面的光潔度，動(dòng)作結(jié)束。