一種金屬遮罩的對位方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種金屬蒸鍍技術，尤其涉及一種用于OLED蒸鍍的金屬遮罩的對位方法。
【背景技術】
[0002]近年來，有機發(fā)光二極管(Organic Light Emitting D1de，0LED)顯示器以輕薄、主動發(fā)光、響應速度快、視角廣、色彩豐富、亮度高、功耗低以及耐高低溫等諸多優(yōu)點而被業(yè)界認為是繼液晶顯示器(Liquid Crystal Display，IXD)之后的新型顯示技術，OLED顯示器可廣泛應用于智能手機、平板電腦、電視等終端產(chǎn)品。
[0003]在現(xiàn)有技術中，對OLED進行蒸鍍是在真空室內，將作為處理對象的OLED基板朝向下安裝其蒸鍍面，當蒸鍍用的金屬遮罩配置在OLED基板的蒸鍍面與蒸鍍源之間時，將蒸鍍源加熱以使蒸鍍材料蒸發(fā)，并經(jīng)由金屬遮罩的開孔使其附著于OLED基板表面而進行蒸鍍。例如，OLED基板采用精細金屬遮罩(Fine Metal Mask, FMM)蒸鍍有機發(fā)光材料來制備彩色化像素圖案，該精細金屬遮罩包括開孔和橋，開孔與需蒸鍍的有機發(fā)光材料子像素區(qū)域精確對位并保持一致，橋用于防止有機發(fā)光材料蒸鍍到其它區(qū)域。當蒸鍍紅色發(fā)光材料時，使精細金屬遮罩的開孔正對紅色子像素，而綠色子像素和藍色子像素被遮罩遮擋，這樣從蒸鍍源發(fā)出的紅色發(fā)光材料就可以僅沉積在紅色子像素區(qū)；在紅色發(fā)光材料蒸鍍完成后，遮罩平移一個子像素的距離使開孔對準另一顏色的子像素，以此類推完成RGB三基色材料的蒸鍍，從而形成彩色化像素圖案。由于顯示屏的像素較為密集，導致連接相鄰子像素開孔的肋骨寬度非常小，一旦解析度要求提高時，則很難精確地形成彩色化像素圖案。這是因為，在當前的蒸鍍制程工藝中，蒸鍍定義OLED基板的紅色子像素、綠色子像素和藍色子像素時，往往使用整張一體成型或整張分割形態(tài)的精細金屬遮罩進行高精準對位(諸如，數(shù)個微米的對位等級)，首先大尺寸的整張精細金屬遮罩不易制作，此外還需考慮整張遮罩和OLED基板的對位容忍度。如果遮罩和基板的對位精度控制不好，容易造成像素的混色現(xiàn)象，降低像素發(fā)光開口率，從而降低整個OLED基板的產(chǎn)品良率。
[0004]有鑒于此，如何設計一種用于高分辨率的OLED基板的金屬遮罩之對位方法，以消除因對位精度較差所引起的相鄰像素間的混色現(xiàn)象，從而克服現(xiàn)有技術中的上述缺陷或不足，是業(yè)內相關技術人員亟待解決的一項課題。

【發(fā)明內容】

[0005]針對現(xiàn)有技術中的金屬遮罩與OLED基板對位精度較差所引起的相鄰像素間的混色問題，本發(fā)明提供了一種新穎的、用于OLED蒸鍍的金屬遮罩的對位方法。
[0006]依據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種金屬遮罩的對位方法，適于高分辨率的OLED顯示器，該對位方法包括以下步驟:
[0007]提供一磁鐵板；
[0008]形成多個OLED基板于所述磁鐵板的上方；
[0009]形成一精細金屬遮罩(Fine Metal Mask，F(xiàn)MM)于所述OLED基板的上方；
[0010]根據(jù)所述OLED基板的數(shù)量及每個OLED基板的尺寸，將所述精細金屬遮罩至少分割為第一直排群組和第二直排群組；以及
[0011]提供一蒸鍍源依次對所述第一直排群組和所述第二直排群組進行蒸鍍，以定義單一顏色的子像素圖案。
[0012]在其中的一實施例，所述蒸鍍源的蒸鍍方向為垂直蒸鍍、水平上方蒸鍍或水平下方蒸鍍。
[0013]在其中的一實施例，所述蒸鍍源為點蒸鍍源、線蒸鍍源或平面蒸鍍源。
[0014]在其中的一實施例，所述第一直排群組或所述第二直排群組與所述OLED基板的對位精度取決于單一的誤差精度。
[0015]在其中的一實施例，若所述精細金屬遮罩的坐標精度為A，所述第一直排群組與所述OLED基板的對位誤差精度為a，所述第二直排群組與所述OLED基板的對位誤差精度為b，則A等于a與b之和。
[0016]依據(jù)本發(fā)明的另一個方面，提供了一種金屬遮罩的對位方法，適于高分辨率的OLED顯示器，該對位方法包括以下步驟:
[0017]提供一磁鐵板；
[0018]形成一 OLED基板于所述磁鐵板的上方；
[0019]形成第一精細金屬遮罩群組于所述OLED基板的上方；
[0020]提供一蒸鍍源對所述第一精細金屬遮罩群組進行蒸鍍，以定義單一顏色的子像素圖案；
[0021]形成第二精細金屬遮罩群組于所述OLED基板的上方，所述第二精細金屬遮罩群組的位置不同于所述第一精細金屬遮罩群組的位置；以及
[0022]利用所述蒸鍍源對所述第二精細金屬遮罩群組進行蒸鍍，以定義所述單一顏色的子像素圖案，直至所述OLED基板中所有的所述單一顏色的子像素圖案均被定義完成。
[0023]在其中的一實施例，所述單一顏色的子像素圖案對應于紅色子像素、綠色子像素或藍色子像素。
[0024]在其中的一實施例，所述蒸鍍源的蒸鍍方向為垂直蒸鍍、水平上方蒸鍍或水平下方蒸鍍。
[0025]在其中的一實施例，所述蒸鍍源為點蒸鍍源、線蒸鍍源或平面蒸鍍源。
[0026]在其中的一實施例，所述對位方法還包括:在所述蒸鍍源對所述第一精細金屬遮罩群組或所述第二精細金屬遮罩群組進行蒸鍍時，提供一遮擋層以覆蓋所述OLED基板中的未蒸鍍區(qū)域。
[0027]采用本發(fā)明的用于OLED蒸鍍的金屬遮罩的對位方法，首先提供一磁鐵板，然后形成多個OLED基板于磁鐵板的上方，接著形成一精細金屬遮罩于OLED基板的上方，并根據(jù)OLED基板的數(shù)量及每個OLED基板的尺寸，將精細金屬遮罩至少分割為第一直排群組和第二直排群組，最后提供一蒸鍍源依次對第一直排群組和第二直排群組進行蒸鍍，以定義單一顏色的子像素圖案。相比于現(xiàn)有技術，本發(fā)明使用直排群組方式的精細金屬遮罩與OLED基板進行對位，藉由不同的直排群組遮罩分次蒸鍍定義單一顏色的子像素圖案，由于直排群組遮罩的尺寸較小，在制作上相較于整塊遮罩的制作容易，因此可提高直排群組遮罩的像素坐標精度，進而提高直排群組遮罩和OLED基板的對位容忍度，從而降低或消除因對位精度所引起的相鄰像素間的混色風險，增加整體基板的產(chǎn)品良率。
【附圖說明】
[0028]讀者在參照附圖閱讀了本發(fā)明的【具體實施方式】以后，將會更清楚地了解本發(fā)明的各個方面。其中，
[0029]圖1示出現(xiàn)有技術中的一種采用精細金屬遮罩(Fine Metal Mask)來蒸鍍定義OLED的子像素圖案的原理不意圖；
[0030]圖2A示出在同一 OLED基板上排布有多個單元(cell)的排布示意圖；
[0031]圖2B示出與圖2A的OLED基板進行高精準對位的一種現(xiàn)有精細金屬遮罩的結構示意圖；
[0032]圖2C示出與圖2A的OLED基板進行高精準對位的另一種現(xiàn)有精細金屬遮罩的結構示意圖；
[0033]圖3示出依據(jù)本發(fā)明的一實施方式，用于OLED蒸鍍的金屬遮罩的對位方法的流程框圖；
[0034]圖4示出圖3的對位方法中所使用的金屬遮罩的結構示意圖；
[0035]圖5(a)至圖5(c)分別示出在圖3的對位方法中，將金屬遮罩分割為多個直排群組的狀態(tài)示意圖；
[0036]圖6(a)至圖6(c)示出采用圖5(a)至圖5(c)的多個直排群組依次與OLED基板進行對位和蒸鍍以定義單一顏色的子像素圖案的狀態(tài)示意圖；
[0037]圖7示出依據(jù)本發(fā)明的另一實施方式，用于OLED蒸鍍的金屬遮罩的對位方法的流程框圖；
[0038]圖8(a)至圖8(c)分別示出在圖7的對位方法中，與OLED基板進行對位的多個精細金屬遮罩群組的狀態(tài)示意圖；以及
[0039]圖9(a)至圖9(c)示出采用圖8(a)至圖8(c)的多個精細金屬遮罩群組依次與OLED基板進行對位和蒸鍍以定義單一顏色的子像素圖案的狀態(tài)示意圖。
【具體實施方式】
[0040]為了使本申請所揭示的技術內容更加詳盡與完備，可參照附圖以及本發(fā)明的下述各種具體實施例，附圖中相同的標記代表相同或相似的組件。然而，本領域的普通技術人員應當理解，下文中所提供的實施例并非用來限制本發(fā)明所涵蓋的范圍。此外，附圖僅僅用于示意性地加以說明，并未依照其原尺寸進行繪制。
[0041]下面參照附圖，對本發(fā)明各個方面的【具體實施方式】作進一步的詳細描述。
[0042]圖1示出現(xiàn)有技術中的一種采用精細金屬遮罩(Fine Metal Mask)來蒸鍍定義OLED的子像素圖案的原理示意圖。圖2A示出在同一 OLED基板上排布有多個單元(cell)的排布示意圖，圖2B示出與圖2A的OLED基板進行高精準對位的一種現(xiàn)有精細金屬遮罩的結構示意圖，圖2C示出與圖2A的OLED基板進行高精準對位的另一種現(xiàn)有精細金屬遮罩的結構示意圖。
[0043]參照圖1，數(shù)字標記100表示精細金屬遮罩，102表示OLED基板，104表示磁鐵板(magnetic plate)，106表示蒸鍍源。如前所述，將OLED基板102朝向下安裝其蒸鍍面，當蒸鍍用的金屬遮罩100位于OLED基板102的蒸鍍面與蒸鍍源106之間時，將蒸鍍源106加熱以使蒸鍍材料蒸發(fā)，并經(jīng)由金屬遮罩100的開孔使其附著于OLED基板102的表面而進行蒸鍍。
[0044]在圖2A中，現(xiàn)有的OLED基板200包括多個單元(cell) 202，諸如九個單元，每個單元均采用基板與精細金屬遮罩的高精準對位來定義子像素圖案。如圖2B所示，其在精細金屬遮罩模具(model FMM) 204上形成整張一體成型的金屬遮罩(full mask sheet)206，該金屬遮罩206具有多個狹縫(slot)或狹條間隙(slit aperture)，利用這些狹縫或狹條間隙來定義子像素的圖案。然而，這種遮罩結構必須考量所有單元的坐標誤差，混色風險高，且降低了像素發(fā)光開口率。此外，大尺寸的整張金屬遮罩較難制作，且其中心區(qū)域容易出現(xiàn)下垂現(xiàn)象，這也影響了金屬遮罩與基板的對位精度，導致混色情形的產(chǎn)生。
[0045]如圖2C所示，雖然其將整張金屬遮罩分割為多個較小尺寸的金屬遮罩208、210和212，但是該遮罩結構在與基板進行對位時，仍然需要整體考慮每個金屬遮罩與基板的對位容忍度。一旦遮罩與基板的對位精度控制不好，也容易造成不同像素間的混色現(xiàn)象，進而降低了整個OLED基板的產(chǎn)品良率。
[0046]為了解決現(xiàn)有技術中的上述缺陷或不足，本發(fā)明提供了一種新的用于OLED蒸鍍的金屬遮罩的對位方法。圖3示出依據(jù)本發(fā)明的一實施方式，用于OLED蒸鍍的金屬遮罩的對位方法的流程框圖。圖4示出圖3的對位方法中所使用的金屬遮罩的結構示意圖。圖5(a)至圖5(c)分別示出在圖3的對位方法中，將金屬遮罩分割為多個直排群組的狀態(tài)示意圖。圖6(a)至圖6(c)示出采用圖5(a)至圖5(c)的多個直排群組依次與OLED基板進行對位和蒸鍍以定義單一顏色的子像素圖案的狀態(tài)示意圖。