一種用于硅片的噴砂器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種用于硅片的噴砂器。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片在生產(chǎn)過程中，將硅錠切割成硅片后部分硅片可能需要進(jìn)行噴砂處理，以利于硅片的后續(xù)處理。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中沒有專門針對(duì)硅片進(jìn)行噴砂處理的裝置，由于硅片生產(chǎn)過程中可能并不需要對(duì)所有硅片進(jìn)行噴砂，因此，現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)硅片進(jìn)行噴砂時(shí)均在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)直接進(jìn)行，硅片噴砂處理過程中砂料回收率低，并且，由于噴砂時(shí)沒有防護(hù)措施，硅片的噴砂過程對(duì)環(huán)境影響大?，F(xiàn)有技術(shù)中有采用其它材料的噴砂裝置對(duì)硅片進(jìn)行噴砂處理，但是現(xiàn)有技術(shù)中的噴砂裝置需要手工打開門體將硅片放入裝置內(nèi)進(jìn)行噴砂，操作十分不方便。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明提供的一種用于硅片的噴砂器，旨在克服現(xiàn)有技術(shù)中噴砂裝置操作不方便的不足。
[0005]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:一種用于硅片的噴砂器，包括箱體，所述箱體內(nèi)設(shè)有將箱體分為上腔和下腔的隔板，所述隔板上開設(shè)有排砂口，所述箱體上開設(shè)有取放窗口，所述箱體上還開設(shè)有觀察窗口，所述取放窗口和觀察窗口均與上腔相通，所述箱體上還固定有封閉觀察窗口的亞克力板，所述亞克力板通過固定螺釘固定在箱體上，所述箱體上設(shè)有封閉取放窗口的密封板，所述密封板滑動(dòng)連接在箱體上，所述箱體上固定有滑軌，所述滑軌上開設(shè)有與密封板配合的滑槽，所述滑槽內(nèi)填充有潤滑脂，所述箱體上還固定有驅(qū)動(dòng)密封板滑動(dòng)的絲杠，所述密封板上固定有與絲杠配合的螺母，所述箱體上還固定有驅(qū)動(dòng)絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述箱體上還固定有控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)的控制器，所述箱體上在取放窗口處還固定有檢測(cè)是否需要打開密封板的光線檢測(cè)器，所述光線檢測(cè)器包括發(fā)光器和接收器，所述發(fā)光器位于取放窗口的上端，所述接收器位于取放窗口的下端，所述接收器與控制器相互通訊，所述箱體上還固定有一對(duì)限制密封板極限位置的限位開關(guān)，所述限位開關(guān)與控制器相互通訊；該用于硅片的噴砂器還包括噴槍，所述噴槍位于上腔內(nèi)，所述下腔內(nèi)固定有噴砂器，所述上腔內(nèi)還固定有控制噴砂器的控制裝置，所述控制裝置與控制器相互通訊，所述排砂口與噴砂器之間通過排砂管連接，所述噴砂器通過噴砂管與噴槍連接，所述隔板上開設(shè)有穿設(shè)噴砂管的通孔，所述箱體上還開設(shè)有檢修口，所述檢修口與下腔相通，所述箱體上固定有封閉檢修口的檢修門，所述箱體上還開設(shè)有兩個(gè)便于操作人員手持產(chǎn)品的手持窗口，所述手持窗口上固定有封閉手持窗口的手套，所述手套位于上腔內(nèi)。
[0006]上述構(gòu)成中，密封板滑動(dòng)連接在箱體上，并且在箱體上固定有驅(qū)動(dòng)密封板滑動(dòng)的絲杠，絲杠由固定在箱體上的驅(qū)動(dòng)電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，箱體上固定有控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)的控制器，光線檢測(cè)器用于檢測(cè)是否需要打開取放窗口，當(dāng)需要打開取放窗口時(shí)，操作人員遮擋光線檢測(cè)器的發(fā)光器，此時(shí)接收器得到該信號(hào)并將該信號(hào)傳輸給控制器，控制器控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)工作，從而打開取放窗口，操作人員操作完畢后取消對(duì)發(fā)光器的遮擋，從而使得取放窗口自動(dòng)恢復(fù)關(guān)閉狀態(tài)，操作十分方便；另外，控制裝置與控制器互相通訊，噴砂器與驅(qū)動(dòng)電機(jī)可以形成互鎖效果，大大提高了噴砂器的安全性能。
[0007]—種可選的方案，所述箱體上開設(shè)有容納亞克力板的容納槽，所述容納槽與觀察窗口相通，所述亞克力板與容納槽之間固定有密封墊片，所述密封墊片粘接在容納槽內(nèi)。箱體上開設(shè)容納槽并將亞克力板固定在容納槽內(nèi)，亞克力板與容納槽之間粘接有密封墊片，亞克力板可以良好地將觀察窗口密封，減少了噴砂過程中對(duì)環(huán)境的污染。
[0008]—種可選的方案，所述檢修門通過連接螺釘固定在箱體上，所述檢修門上粘接有密封圈，所述檢修門上開設(shè)有容納密封圈的裝配槽。檢修門與箱體之間粘接密封圈，可以避免灰塵進(jìn)入下腔內(nèi)影響噴砂器的工作環(huán)境，提高了噴砂器工作時(shí)的穩(wěn)定性能。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的一種用于硅片的噴砂器，具有如下優(yōu)點(diǎn):在箱體上固定有封閉取放窗口的密封板，該密封板滑動(dòng)連接在箱體上，箱體上還固定有驅(qū)動(dòng)密封板滑動(dòng)的絲杠，該絲杠由驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，箱體上固定有控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)的控制器，該控制器與光線檢測(cè)器相互通訊，需要將產(chǎn)品放入上腔時(shí)，操作人員遮擋光線檢測(cè)器的發(fā)光器，光線檢測(cè)器的接收器得到信號(hào)并將該信號(hào)傳至控制器，驅(qū)動(dòng)電機(jī)動(dòng)作打開取放窗口，操作人員操作完畢后取消遮擋發(fā)光器的動(dòng)作，接收器得到信號(hào)后控制器控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)動(dòng)作，將取放窗口關(guān)閉，操作人員在取放產(chǎn)品時(shí)，取放窗口自動(dòng)打開或關(guān)閉，操作十分方便；另外，控制器與控制裝置相互通訊，可以將控制裝置、控制器組成互鎖結(jié)構(gòu)，大大提高了噴砂操作的安全性會(huì)泛。
【附圖說明】
[0010]附圖1是本發(fā)明一種用于硅片的噴砂器的主視圖；
[0011]附圖2是本發(fā)明一種用于硅片的噴砂器的左視圖；
[0012]附圖3是附圖2中B-B處剖視圖；
[0013]附圖4是附圖1中A-A處剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的一種用于硅片的噴砂器作進(jìn)一步說明。如圖1、圖2、圖3、圖4所示，一種用于硅片的噴砂器，包括箱體1，所述箱體1內(nèi)設(shè)有將箱體1分為上腔2和下腔3的隔板4，所述隔板4上開設(shè)有排砂口 5，該用于硅片的噴砂器還包括噴槍19，所述噴槍19位于上腔2內(nèi)，所述下腔3內(nèi)固定有噴砂器20，所述上腔2內(nèi)還固定有控制噴砂器20的控制裝置21，所述排砂口 5與噴砂器20之間通過排砂管22連接，所述噴砂器20通過噴砂管23與噴槍19連接，所述隔板4上開設(shè)有穿設(shè)噴砂管23的通孔；
[0015]參見圖1、圖4，所述箱體1上還開設(shè)有檢修口 24，所述檢修口 24與下腔3相通，所述箱體1上固定有封閉檢修口 24的檢修門25，所述檢修門25通過連接螺釘固定在箱體1上，所述檢修門25上粘接有密封圈，所述檢修門25上開設(shè)有容納密封圈的裝配槽；
[0016]參見圖2，所述箱體1上還開設(shè)有兩個(gè)便于操作人員手持產(chǎn)品的手持窗口 26，所述手持窗口 26上固定有封閉手持窗口 26的手套，所述手套位于上腔2內(nèi)；
[0017]參見圖2，所述箱體1上開設(shè)有取放窗口 6，所述箱體1上還開設(shè)有觀察窗口 7，所述取放窗口 6和觀察窗口 7均與上腔2相通，所述箱體1上還固定有封閉觀察窗