用于cvd或pvd裝置的由固體或液體原料產(chǎn)生蒸汽的設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于CVD (化學(xué)氣相沉積)或PVD (物理氣相沉積)裝置的用來(lái)產(chǎn)生蒸汽的設(shè)備，所述設(shè)備具有至少兩個(gè)沿運(yùn)載氣體的流動(dòng)方向依次布置的、具有傳熱面的傳熱體，所述傳熱體能夠被分別加熱至傳熱溫度，所述設(shè)備具有輸入管，用于將氣溶膠輸入至所述傳熱體中的一個(gè)，以便通過(guò)氣溶膠顆粒與傳熱面形成接觸而使氣溶膠汽化。
[0002]此外，本發(fā)明還涉及一種用于CVD或PVD裝置的用來(lái)產(chǎn)生蒸汽的設(shè)備，所述設(shè)備具有至少一個(gè)具有傳熱面的傳熱體，所述傳熱體能夠被分別加熱至傳熱溫度，并且所述設(shè)備還具有輸入管，用于將氣溶膠導(dǎo)入所述傳熱體中，以便通過(guò)氣溶膠顆粒與傳熱面形成接觸而使氣溶膠汽化。
【背景技術(shù)】
[0003]文獻(xiàn)DE 10 2011 051 260 A1描述了一種用來(lái)產(chǎn)生蒸汽的設(shè)備。多個(gè)分別具有不同橫截面的傳熱體沿流動(dòng)方向依次布置在殼體中。用于通過(guò)流體上游的傳熱體供應(yīng)氣溶膠的輸入管穿過(guò)殼體端面伸出，并且通向設(shè)備的中央空腔。
[0004]在文獻(xiàn)W0 2012/175128 A1所述的設(shè)備中，CVD或PVD裝置、汽化裝置插入殼體中，該汽化裝置具有兩個(gè)在氣溶膠的流動(dòng)方向上依次布置的傳熱體。兩個(gè)傳熱體由可導(dǎo)電的固體泡沫構(gòu)成，固體泡沫通過(guò)導(dǎo)通電流而被加熱。通過(guò)導(dǎo)管使得氣溶膠輸入汽化器中。氣溶膠顆粒與傳熱體的傳熱面形成接觸，從而使顆粒被汽化。類似的裝置在文獻(xiàn)W0 2012/175124AUW0 2010/175126 以及 DE 10 2011 051 261 A1 中也有所描述。
[0005]由文獻(xiàn)US 4，769，296和US 4，885，211已知由有機(jī)原材料制造發(fā)光二級(jí)管(有機(jī)發(fā)光二級(jí)管0LED)。為了制造這種0LED必須將固體或液體的原材料轉(zhuǎn)化為氣態(tài)形式。這通過(guò)汽化器完成。氣態(tài)化的原材料作為蒸汽被導(dǎo)入CVD或PVD反應(yīng)器的處理室中，蒸汽在該處凝集在基板上。
[0006]文獻(xiàn)US 2，447，789和EP 0 982 411描述了在低壓范圍內(nèi)沉積層的方法。
[0007]為沉積0LED所使用的原材料應(yīng)該僅承受最大汽化溫度，因?yàn)樵牧显谙鄬?duì)較低的溫度下就已經(jīng)分解了。應(yīng)該不達(dá)到或者僅在極短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到該化學(xué)分解溫度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于，在工藝技術(shù)方面對(duì)這種類型的汽化器進(jìn)行改進(jìn)。
[0009]所述技術(shù)問(wèn)題按照本發(fā)明通過(guò)一種用于CVD或PVD裝置的用來(lái)產(chǎn)生蒸汽的設(shè)備解決，所述設(shè)備具有至少兩個(gè)沿運(yùn)載氣體的流動(dòng)方向依次布置在殼體中的、具有傳熱面的傳熱體，所述傳熱體能夠被分別加熱至傳熱溫度，所述設(shè)備具有輸入管，用于將氣溶膠輸入至所述傳熱體中的一個(gè)，以便通過(guò)氣溶膠顆粒與傳熱面形成接觸而使氣溶膠汽化，其中，所述傳熱體中的至少一個(gè)具有開(kāi)口，輸入管插入所述開(kāi)口中，其中規(guī)定，所述傳熱體能夠被加熱至彼此不同的溫度，其中，沿流動(dòng)方向位于上游的第一傳熱體是用于運(yùn)載氣體的預(yù)熱體，所述運(yùn)載氣體通過(guò)位于第一傳熱體上游的運(yùn)載氣體輸入管路能夠輸入到所述殼體中，所述傳熱體在所述殼體中沿流動(dòng)方向依次布置，從而使運(yùn)載氣體穿流過(guò)所有傳熱體，并且要么所述輸入管被導(dǎo)引穿過(guò)所述傳熱體的開(kāi)口并且通向第一與第二傳熱體之間的間隙，要么所述輸入管的通口布置在傳熱體中。所述技術(shù)問(wèn)題按照本發(fā)明還通過(guò)一種用于CVD或PVD裝置的用來(lái)產(chǎn)生蒸汽的設(shè)備解決，所述設(shè)備具有至少一個(gè)具有傳熱面的傳熱體，所述傳熱體能夠被分別加熱至傳熱溫度，并且所述設(shè)備還具有輸入管，用于將氣溶膠導(dǎo)入所述傳熱體中，以便通過(guò)氣溶膠顆粒與傳熱面形成接觸而使氣溶膠汽化，其中規(guī)定，所述輸入管具有器件，以便使沿流動(dòng)方向穿過(guò)所述輸入管的氣溶膠流體擴(kuò)散地從通口排出。所述技術(shù)問(wèn)題按照本發(fā)明還通過(guò)一種用于CVD或PVD裝置的用來(lái)產(chǎn)生蒸汽的設(shè)備解決，所述設(shè)備具有至少一個(gè)能夠被加熱至傳熱溫度的傳熱體，所述傳熱體具有開(kāi)口，輸入管插入所述開(kāi)口中，以便導(dǎo)入氣溶膠，其中，在傳熱體上游設(shè)有運(yùn)載氣體輸入管路，以便導(dǎo)入運(yùn)載氣體，其中規(guī)定，沿流動(dòng)方向在傳熱體之前布置有回流阻遏，所述回流阻遏尤其由兩個(gè)在整個(gè)流動(dòng)橫截面上延伸的、緊密相鄰的板件構(gòu)成，所述板件具有開(kāi)口，其中，彼此不同的板件的開(kāi)口橫向于流動(dòng)方向相互位錯(cuò)地布置。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的第一方面首先并且主要規(guī)定，傳熱體中的一個(gè)具有開(kāi)口，輸入管插入所述開(kāi)口中。輸入管具有通口，氣溶膠這樣通過(guò)所述通口輸入殼體中，從而使氣溶膠顆粒通過(guò)與傳熱面形成接觸而汽化。輸入管的通口這樣布置在殼體中的運(yùn)載氣體輸入管路的通口的下游，從而使運(yùn)載氣體首先在預(yù)熱體中被預(yù)熱，之后運(yùn)載氣體與汽化的氣溶膠混合。因此輸入管的通口位于預(yù)熱體的上游區(qū)域的下游，運(yùn)載氣體穿過(guò)所述預(yù)熱體流動(dòng)。根據(jù)這種設(shè)計(jì)方式還可能的是，輸入管逆向于運(yùn)載氣體的流動(dòng)方向插入傳熱體的開(kāi)口中。這樣，輸入管的通口則位于傳熱體的上游區(qū)域或位于具有開(kāi)口的傳熱體與相對(duì)于該傳熱體在上游布置的傳熱體之間。根據(jù)本發(fā)明，優(yōu)選地規(guī)定，為上游的傳熱體配置了開(kāi)口，并且輸入管的通口沿流動(dòng)方向布置在前方或布置在該傳熱體的下游。優(yōu)選地，然而一個(gè)或多個(gè)輸入管通入兩個(gè)傳熱體之間的間隙中，從而使由至少一個(gè)輸入管的通口排出的氣溶膠能通過(guò)盡可能大的面積進(jìn)入傳熱體的下游。沿流動(dòng)方向上第一、也即上游的傳熱體可以用作運(yùn)載氣體的預(yù)熱體。所述第一傳熱體可以具有開(kāi)口，用于輸入氣溶膠的輸入管插入所述開(kāi)口中。輸入管要么通入下游的傳熱體，要么通入緊鄰下游的傳熱體的上游的間隙中。根據(jù)這種設(shè)計(jì)方式所能確保的是，運(yùn)載氣體僅流經(jīng)沿流動(dòng)方向位于上游的傳熱體，所述運(yùn)載氣體被加熱。相反，在下游的傳熱體中除了運(yùn)載氣體之外還輸入氣溶膠，從而氣溶膠顆粒能與傳熱體的傳熱面形成接觸。汽化熱在該處傳遞給顆粒，從而使固體或液體的氣溶膠顆粒轉(zhuǎn)化為氣態(tài)形式。尤其規(guī)定，鏈?zhǔn)降匾来尾贾糜卸鄠€(gè)傳熱體，所述傳熱體分別發(fā)揮汽化作用。在這種布置中規(guī)定，其中一個(gè)下游的傳熱體具有汽化體的功能，該傳熱體還具有一個(gè)或多個(gè)開(kāi)口，輸入管插入所述開(kāi)口，所述輸入管通入相對(duì)于該傳熱體位于下游的間隙中或通入下游的傳熱體中。根據(jù)這種設(shè)計(jì)方式，第一氣溶膠在上游的汽化體中汽化，并且第二氣溶膠在下游的汽化體中汽化。所述兩種氣溶膠可以在不同的汽化溫度下汽化。優(yōu)選地，具有較低汽化溫度的氣溶膠被輸入上游的汽化體中，并且具有較高汽化溫度的氣溶膠被輸入下游的汽化體中。下游的汽化體則具有比上游的汽化體的傳熱溫度更高的傳熱溫度。由此，還可以沿流動(dòng)方向依次布置三個(gè)或更多傳熱體，其中，在流動(dòng)方向上的第一傳熱體僅用于加熱運(yùn)載氣體，而多個(gè)下游的傳熱體分別用于氣溶膠的加熱和氣溶膠的汽化。在上游的汽化體中汽化的氣溶膠作為蒸汽流經(jīng)下游的汽化體，其他氣溶膠通過(guò)輸入管被輸入所述下游的汽化體中。所述汽化體優(yōu)選由如在文獻(xiàn)W0 2012/175128 A1中所述的材料。所述材料是具有每英寸400至100孔的孔隙率的微孔開(kāi)放的固體泡沫。汽化體的是可導(dǎo)電的，從而使汽化體能通過(guò)電流的導(dǎo)通而被加熱至其汽化溫度。為此優(yōu)選地，具有矩形輪廓的汽化體在兩個(gè)相互對(duì)置的窄邊上具有電接觸件，電流能通過(guò)所述電接觸件導(dǎo)入汽化體中。輸入管可以由電絕緣的材料或由金屬制成。如果輸入管由金屬制成，則輸入管在開(kāi)口的區(qū)域內(nèi)被電絕緣套管包圍。導(dǎo)熱體位于殼體中，所述導(dǎo)熱體中的至少一個(gè)構(gòu)成汽化體。導(dǎo)熱體在整個(gè)殼體橫截面上延伸，從而使在殼體的上游輸入的運(yùn)載氣體必須流經(jīng)所有依次布置的傳熱體。氣溶膠或由氣溶膠形成的蒸汽流經(jīng)至少沿流動(dòng)方向位于最后的傳熱體。最后的傳熱體的蒸汽排放面可以是排氣面，運(yùn)載氣體和借助運(yùn)載氣體被輸送的汽化的氣溶膠通過(guò)所述排氣面導(dǎo)向處理室。CVD或PVD反應(yīng)器的處理室由此在流動(dòng)方向上位于緊鄰沿流動(dòng)方向位于最后的傳熱體的下方。大體上均勻的氣流通過(guò)該傳熱體的排氣面進(jìn)入處理室?；逦挥谔幚硎业牡撞浚羝麘?yīng)凝集在所述基板上。承載基板的基座優(yōu)選通過(guò)冷卻裝置被冷卻。
[0011]本發(fā)明的第二方面涉及一種回流阻遏，所述回流阻遏沿流動(dòng)方向布置在第一傳熱體之前?；亓髯瓒粲纱宋挥谶\(yùn)載氣體輸入管路與第一傳熱體之間。回流阻遏優(yōu)選由兩個(gè)板狀的結(jié)構(gòu)體組成，所述結(jié)構(gòu)體在汽化器的殼體的整個(gè)橫截面上延伸。兩個(gè)板具有開(kāi)口，運(yùn)載氣體可以穿過(guò)所述開(kāi)口流動(dòng)。所述兩個(gè)板的開(kāi)口相互位錯(cuò)地設(shè)置，從而使運(yùn)載氣體必須首先穿過(guò)上游的回流阻遏板的開(kāi)口，然后偏轉(zhuǎn)向間隙中，以便隨后流動(dòng)穿過(guò)第二回流阻遏板的開(kāi)口。
[0012]此外，本發(fā)明還涉及一種輸入管的改進(jìn)方式。根據(jù)本發(fā)明的輸入管具有器件，由輸入管的通口排出的氣流借助所述器件擴(kuò)