拋光機的制作方法
【技術領域】
[0001 ] 本實用新型涉及發(fā)光二極管(LightEmitting D1de，簡稱LED)制造領域，尤其涉及一種利用金剛石拋光液對LED芯片藍寶石襯底進行拋光的拋光機。
【背景技術】
[0002]研磨、拋光作為LED制作的一個工序，是將在外延生長時的襯底減薄到一定的程度。襯底的組成成分為AL2O3,此種成分對光有一定的吸收，且導熱極差。在利用LED照明的過程中，如果量子阱發(fā)光區(qū)產(chǎn)生的溫度得不到及時的釋放，就會造成溫度過高，在過高的溫度下會加速燈具的老化和損壞。而研磨就是將藍寶石基板減薄到一定的程度，使其能夠有效的將熱量及時的散發(fā)到基座上，并能提高光的透光效率。在利用研磨設備將基板減薄時，由于AL2O3的材料非常的堅硬，要使其能夠有效的減薄必須用金剛石拋光液。
[0003]具體地:一般先使用研磨機對芯片背面即藍寶石襯底的一面進行初步減薄，再使用拋光機對芯片背面進行精密拋光。其中，拋光機利用拋盤和芯片接觸進行摩擦，摩擦過程中滴入金剛石拋光液進行拋光。由于金剛石拋光液中的金剛石小顆粒硬度比藍寶石大，而且一般顆粒較小，所以不僅可以將藍寶石襯底部分減薄而且背面較光滑，粗糙度達到標準。
[0004]但是，現(xiàn)有技術中，在使用上述拋光機對芯片進行拋光時，使用后的金剛石拋光液直接流出成為廢液，造成拋光液的浪費，同時金剛石拋光液價格較高，導致芯片的成本增加。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]本實用新型實施例提供一種拋光機，可以節(jié)省拋光液，進而降低芯片的成本。
[0006]第一方面，本實用新型提供一種拋光機，所述拋光機包括:拋盤和拋光液循環(huán)系統(tǒng);所述拋光液循環(huán)系統(tǒng)包括:依次順序連接的過濾容器組件、反應容器組件和回收容器組件;所述過濾容器組件具有位于所述拋盤下方的入液口，以使所述拋盤上的拋光尾液經(jīng)由所述入液口流入所述過濾容器組件中，所述過濾容器組件的出液口與所述反應容器組件的入液口相連接，所述反應容器組件的出液口與所述回收容器組件的入液口相連接;所述過濾容器組件用于過濾所述拋光尾液中的固體雜質;所述反應容器組件用于去除所述拋光尾液中的可溶雜質;所述回收容器組件用于使去除雜質后的拋光尾液與拋光液機油混合，并重新生成拋光液。
[0007]結合第一方面，在第一方面的第一種可能實施方式中，所述過濾容器組件包括:至少一個過濾容器，每個所述過濾容器中包含有過濾芯或過濾網(wǎng)；當所述過濾容器為至少兩個時，至少兩個所述過濾容器由高至低依次擺放在不同高度，且高度較低的過濾容器的過濾精度高于高度較高的過濾容器的過濾精度，相鄰過濾容器之間通過管道連接。
[0008]結合第一方面的第一種可能實施方式，在第一方面的第二種可能實施方式中，所述過濾容器為至少兩個時，相鄰過濾容器之間的管道上設置有第一閥門。
[0009]結合第一方面的第二種可能實施方式，在第一方面的第三種可能實施方式中，所述第一閥門上設置有第一計時器和第一控制器，所述第一計時器和所述第一控制器電連接，所述第一控制器與所述第一閥門的受控端相連，所述第一控制器用于根據(jù)所述第一計時器的計時時間控制所述第一閥門的開閉狀態(tài)。
[0010]結合第一方面至第一方面的第三種可能實施方式中的任一項，在第一方面的第四種可能實施方式中，所述反應容器組件包括反應容器和結晶容器;所述反應容器中盛放有反應溶液，所述反應溶液用于與所述拋盤尾液中氧化物進行反應，所述氧化物為所述拋盤在拋光過程中所分離出的金屬氧化物;所述結晶容器用于對所述反應溶液與所述氧化物反應后生成的所述可溶雜質進行冷卻結晶，以生成所述可溶雜質的結晶物與所述去除雜質后的拋光尾液;所述反應容器和所述結晶容器由高至低依次擺放，所述反應容器和所述結晶容器之間通過管道連接。
[0011]結合第一方面的第四種可能實施方式，在第一方面的第五種可能實施方式中，所述反應容器和所述結晶容器之間的管道上設置有第二閥門。
[0012]結合第一方面的第五種可能實施方式，在第一方面的第六種可能實施方式中，所述第二閥門上設置有第二計時器和第二控制器，所述第二計時器和所述第二控制器電連接，所述第二控制器與所述第二閥門的受控端相連，所述第二控制器用于根據(jù)所述第二計時器的計時時間控制所述第二閥門的開閉狀態(tài)。
[0013]本實用新型提供一種拋光機，包括:拋盤和拋光液循環(huán)系統(tǒng);該拋光液循環(huán)系統(tǒng)包括:依次順序連接的過濾容器組件、反應容器組件和回收容器組件;過濾容器組件具有位于拋盤下方的入液口，以使拋盤上的拋光尾液經(jīng)由入液口流入過濾容器組件中，過濾容器組件的出液口與反應容器組件的入液口相連接，反應容器組件的出液口與回收容器組件的入液口相連接;過濾容器組件用于過濾拋光尾液中的固體雜質；反應容器組件用于去除拋光尾液中的可溶雜質；回收容器組件用于使去除雜質后的拋光尾液與拋光液機油混合，并重新生成拋光液。從而可以節(jié)省拋光液，進而降低芯片的成本。
【附圖說明】
[0014]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖做一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0015]圖1為本實用新型一實施例提供的拋光機10的示意圖；
[0016]圖2為本實用新型一實施例提供的拋光液循環(huán)系統(tǒng)12的示意圖。
【具體實施方式】
[0017]為使本實用新型實施例的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0018]為了解決現(xiàn)有技術中造成拋光液浪費，并且金剛石拋光液價格較高，導致芯片的成本增加的技術問題，本實用新型提供一種拋光機。
[0019]圖1為本實用新型一實施例提供的拋光機10的示意圖，如圖1所示，該拋光機10包括拋盤11和拋光液循環(huán)系統(tǒng)12;可選地，還包括:真空壓重系統(tǒng)，修刀系統(tǒng)和工作盤轉動系統(tǒng)等，該拋光液循環(huán)系統(tǒng)12包括:依次順序連接的過濾容器組件121、反應容器組件122和回收容器組件123;該過濾容器組件121具有位于拋盤11下方的入液口，以使拋盤11上的拋光尾液經(jīng)由入液口流入過濾容器組件121中，該過濾容器組件121的出液口與反應容器組件122的入液口相連接，該反應容器組件122的出液口與回收容器組件123的入液口相連接?？蛇x地，拋盤11可以是銅盤，拋光液為金剛石拋光液，這種情況下，上述的拋光尾液中包括銅元素和碳元素。本實用新型對拋盤的材質以及拋光液的成分不做限制。
[0020]進一步地，該過濾容器組件121用于過濾拋光尾液中的固體雜質；其中，通常這種固體雜質的直徑要大于拋光尾液中碳元素的直徑，通過對過濾容器組件121中的過濾網(wǎng)或者過濾芯中網(wǎng)格大小的設置，可以實現(xiàn)將固體雜質過濾掉。該反應容器組件122用于去除拋光尾液中的可溶雜質；回收容器組件123用于使去除雜質后的拋光尾液與拋光液機油混合，并重新生成拋光液。
[0021]可選地，上述拋盤11、過濾容器組件121、反應容器組件122和回收容器組件123可以由高至低依次擺放在不同高度。進一步地，通常結晶容器1222和回收容器組件123下方設置有載物臺，其中結晶容器1222的載物臺高于回收容器組件123的載物臺。
[0022]本實用新型提供一種拋光機，包括:拋盤和拋光液循環(huán)系統(tǒng);該拋光液循環(huán)系統(tǒng)包括:依次順序連接的過濾容器組件、反應容器組件和回收容器組件;過濾容器組件具有位于拋盤下方的入液口，以使拋盤上的拋光尾液經(jīng)由入液口流入過濾容器組件中，過濾容器組件的出液口與反應容器組件的入液口相連接，反應容器組件的出液口與回收容器組件的入液口相連接;過濾容器組件用于過濾拋光尾液中的固體雜質；反應容器組件用于去除拋光尾液中的可溶雜質；回收容器組件用于使去除雜質后的拋光尾液與拋光液機油混合，并重新生成拋光液。從而可以節(jié)省拋光液，進而降低芯片的成本。
[0023]圖2為本實用新型一實施例提供的拋光液循環(huán)系統(tǒng)1