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一種全方位寬帶減反膜的制備方法與流程

文檔序號:11095581閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種全方位寬帶減反膜的制備方法,其特征在于:所述的制備方法為,

采用溶膠-凝膠法,以正硅酸四乙酯為硅源、無水乙醇為溶劑、氨水為催化劑,制備得到實(shí)心SiO2粒子溶膠;以正硅酸四乙酯為原料、聚丙烯酸為模板劑、無水乙醇為溶劑、氨水為催化劑,制備得到粒子大小均一、以聚丙烯酸為模板且壁厚不等的各種SiO2粒子溶膠;以無水乙醇、H2O、質(zhì)量濃度為37%的濃鹽酸,正硅酸乙酯,制備得到粘合劑SiO2溶膠;將上述所得溶膠分類混合后,通過浸漬-提拉法層層鍍膜并高溫固化,最后焙燒脫除模板劑。

2.如權(quán)利要求1所述的全方位寬帶減反膜的制備方法,其特征在于:

(1)將所述的粘合劑SiO2溶膠和所述的實(shí)心SiO2粒子溶膠混合均勻,得到底層薄膜的鍍膜溶膠;

(2)將所述的粒子大小均一、以聚丙烯酸為模板且壁厚不等的各種SiO2粒子溶膠分別與所述的粘合劑SiO2溶膠混合均勻,得到各種上層薄膜的鍍膜溶膠;

(3)在基片表面利用提拉法先鍍制一層步驟(1)中得到的底層薄膜的鍍膜溶膠,烘干固化后再于其上按照SiO2粒子壁厚逐漸減小的順序,利用提拉法逐層鍍制步驟(2)中得到的上層薄膜的鍍膜溶膠并逐一烘干固化,最后通過高溫焙燒脫除模板劑,得到全方位寬帶減反膜。

3.如權(quán)利要求2所述的全方位寬帶減反膜的制備方法,其特征在于:步驟(3)中所述的基底為高硼酸硅玻璃。

4.如權(quán)利要求2所述的全方位寬帶減反膜的制備方法,其特征在于:步驟(3)中,鍍制步驟(1)中得到的底層薄膜的鍍膜溶膠時(shí),提拉速率為160mm/min;烘干操作為100℃下固化2h。

5.如權(quán)利要求2所述的全方位寬帶減反膜的制備方法,其特征在于:步驟(3)中,逐層鍍制步驟(2)中得到的上層薄膜的鍍膜溶膠時(shí),提拉速率均為160mm/min;每層烘干操作均為100℃下固化2h。

6.如權(quán)利要求2所述的全方位寬帶減反膜的制備方法,其特征在于:步驟(3)中,焙燒操作為,550℃馬弗爐中煅燒2h。

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