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一種大容量多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):11040369閱讀:1345來源:國知局
一種大容量多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)的制造方法與工藝

本實(shí)用新型涉及一種鑄錠爐,特別涉及一種大容量多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)。



背景技術(shù):

目前,多晶硅鑄錠爐主要用于太陽能級(jí)多晶硅錠的大生產(chǎn),它采用先進(jìn)的多晶硅定向凝固技術(shù),將硅料高溫熔融后通過特殊工藝定向冷凝結(jié)晶,但是傳統(tǒng)的鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)不夠完善,會(huì)導(dǎo)致晶體生長溫度梯度的不穩(wěn)定。為此,我們提出一種大容量多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種大容量多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu),通過在坩堝周圍增設(shè)隔熱籠和加熱器,可以有效解決背景技術(shù)中的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案為:

一種大容量多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu),包括保溫腔體、支撐柱、下加熱器、側(cè)隔熱籠、上加熱器、升降絲杠、坩堝和支撐板,所述保溫腔體下端設(shè)置有支撐柱,所述支撐柱頂端連接有支撐板以及設(shè)置在支撐板上側(cè)的下隔熱籠,所述下隔熱籠上側(cè)設(shè)置有下加熱器,所述下加熱器底端與下加熱棒連接,所述支撐板兩端上側(cè)設(shè)置有側(cè)隔熱籠,所述側(cè)隔熱籠一側(cè)設(shè)置有側(cè)加熱器,所述所述下加熱器上側(cè)設(shè)置有坩堝,所述坩堝上側(cè)設(shè)置有上加熱器,所述上加熱器上側(cè)設(shè)置有上隔熱籠,所述上加熱器兩側(cè)頂端連接有上加熱棒,所述加熱器頂端設(shè)置有觀察管,所述上隔熱籠兩側(cè)頂端連接有升降絲杠。

進(jìn)一步地,所述觀察管頂端設(shè)置有觀察孔。

進(jìn)一步地,所述保溫腔體頂端設(shè)置有頂蓋。

進(jìn)一步地,所述側(cè)加熱器和側(cè)隔熱籠通過固定螺絲與支撐板連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型具有如下有益效果:通過在坩堝周圍設(shè)設(shè)置的上隔熱籠、下隔熱籠和側(cè)隔熱籠能夠保持溫度,避免溫度向外界傳遞,通過設(shè)置的上加熱器、下加熱器和側(cè)加熱器使得晶體生長溫度梯度更加穩(wěn)定,實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定定向凝固,生產(chǎn)的多晶硅硅錠質(zhì)量高,規(guī)格大,通過設(shè)置的升降絲杠可以控制上隔熱籠的向上開啟,以便于調(diào)節(jié)溫度,通過設(shè)置的觀察孔便于工作人員從外部觀察多晶硅的生長狀態(tài),通過設(shè)置的固定螺絲能夠使固定方式更加簡(jiǎn)易牢固。

【附圖說明】

圖1為本實(shí)用新型大容量多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)的整體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型大容量多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)的俯視圖。

圖中:1、保溫腔體;2、支撐柱;3、下加熱棒;4、下隔熱籠;5、下加熱器;6、固定螺絲;7、側(cè)隔熱籠;8、上加熱器;9、上隔熱籠;10、觀察管;11、頂蓋;12、觀察孔;13、上加熱棒;14、升降絲杠;15、側(cè)加熱器;16、坩堝;17、支撐板。

【具體實(shí)施方式】

為使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解,下面結(jié)合具體實(shí)施方式,進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。

如圖1-2所示,一種大容量多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu),包括保溫腔體1、支撐柱2、下加熱器5、側(cè)隔熱籠7、上加熱器8、升降絲杠14、坩堝16和支撐板17,所述保溫腔體1下端設(shè)置有支撐柱2,所述支撐柱2頂端連接有支撐板17以及設(shè)置在支撐板17上側(cè)的下隔熱籠4,所述下隔熱籠4上側(cè)設(shè)置有下加熱器5,所述下加熱器5底端與下加熱棒3連接,所述支撐板17兩端上側(cè)設(shè)置有側(cè)隔熱籠7,所述側(cè)隔熱籠7一側(cè)設(shè)置有側(cè)加熱器15,所述所述下加熱器5上側(cè)設(shè)置有坩堝16,所述坩堝16上側(cè)設(shè)置有上加熱器8,所述上加熱器8上側(cè)設(shè)置有上隔熱籠9,所述上加熱器8兩側(cè)頂端連接有上加熱棒13,所述加熱器8頂端設(shè)置有觀察管10,所述上隔熱籠9兩側(cè)頂端連接有升降絲杠14。

本實(shí)用新型大容量多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu),通過在坩堝16周圍設(shè)設(shè)置的上隔熱籠9、下隔熱籠4和側(cè)隔熱籠7能夠保持溫度,避免溫度向外界傳遞,通過設(shè)置的上加熱器8、下加熱器5和側(cè)加熱器15使得晶體生長溫度梯度更加穩(wěn)定,實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定定向凝固,生產(chǎn)的多晶硅硅錠質(zhì)量高,規(guī)格大,通過設(shè)置的升降絲杠14可以控制上隔熱籠9的向上開啟,以便于調(diào)節(jié)溫度,通過設(shè)置的觀察孔12便于工作人員從外部觀察多晶硅的生長狀態(tài),通過設(shè)置的固定螺絲6能夠使固定方式更加簡(jiǎn)易牢固。

其中,所述觀察管10頂端設(shè)置有觀察孔12,便于工作人員從外部觀察多晶硅的生長狀態(tài)。

其中,所述保溫腔體1頂端設(shè)置有頂蓋11,便于緊急情況下的開蓋操作。

其中,所述側(cè)加熱器15和側(cè)隔熱籠7通過固定螺絲6與支撐板17連接,能夠使固定方式更加簡(jiǎn)易牢固。

需要說明的是,本實(shí)用新型為一種大容量多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu),工作時(shí),通過升降絲杠14將上隔熱籠9關(guān)閉,再通過上加熱棒13和下加熱棒3對(duì)上加熱器8、下加熱器5和側(cè)加熱器15進(jìn)行加熱,使溫度保持在工藝要求范圍內(nèi),當(dāng)需要調(diào)節(jié)溫度時(shí)通過升降絲杠14將上隔熱籠9開啟,上隔熱籠9與下隔熱籠4之間形成間隙,可將溫度釋放,從而形成溫度梯度,繼而可通過升降絲杠14控制溫度,形成一個(gè)穩(wěn)定的溫度梯度。

以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解,本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制,上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理,在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下,本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn),這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。

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