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膜的制作方法

文檔序號:11108107閱讀:736來源:國知局
本發(fā)明涉及膜。
背景技術
:對于柔性顯示屏或柔性觸控面板中使用的透明導電性膜及基材來說,除了要求具有透明性及耐撓曲性以外,還要求可耐受制造工序中的高溫的耐熱性。聚酰亞胺具有高耐熱性,因而是可用于這些用途的材料,正在對其進行各種研究。在專利文獻1中,雖然不是用于柔性電子器件的聚酰亞胺膜,但作為用于液晶顯示裝置的光學補償用的相位差板,提出了下述包含雙折射層和透明膜的光學膜,該透明膜的厚度方向雙折射率高,由能夠溶解于非極性的甲基異丁基酮的聚酰亞胺形成。現(xiàn)有技術文獻專利文獻專利文獻1:日本特開2005-208676號公報技術實現(xiàn)要素:發(fā)明所要解決的課題然而,現(xiàn)有的聚酰亞胺膜雖然耐熱性優(yōu)異,但透明性、尤其是總霧度值與黃色指數(shù)(YI)大,需要改善。鑒于上述現(xiàn)狀,本發(fā)明的目的在于提供一種耐熱性高、總霧度值和黃色指數(shù)小的膜。用于解決課題的方案即,本發(fā)明涉及一種膜,其特征在于,其包含總霧度值為4以下、黃色指數(shù)為3以下、全光線透過率為90%以上的氟化聚酰亞胺層。氟化聚酰亞胺層優(yōu)選由包含基于氟化二胺的聚合單元(A)和基于氟化酸酐的聚合單元(B)的氟化聚酰亞胺構成。其中,上述氟化二胺為下述式(1):(式中,和表示芳香環(huán)的取代基,表示每1個芳香環(huán)中4個可取代部位中的任意1個部位被該取代基所取代。和相同或不同,表示氟原子、碳原子數(shù)為1~8的含氟烷基。)所表示的氟化二胺和/或下述式(2):【化2】(式中,表示芳香環(huán)的取代基,表示芳香環(huán)的4個可取代部位中的任意1個部位被該取代基所取代。表示氟原子、碳原子數(shù)為1~8的含氟烷基。)所表示的氟化二胺,上述氟化酸酐為下述式(3):【化3】(式中,和相同或不同,表示氟原子、碳原子數(shù)為1~8的含氟烷基。)所表示的氟化酸酐。本發(fā)明的膜優(yōu)選直徑為0.15mm以上的光學缺陷為10個/m2以下。氟化聚酰亞胺層中,銨離子的含量相對于氟化聚酰亞胺層優(yōu)選為100ppm以下。氟化聚酰亞胺中,聚合單元(A)和(B)優(yōu)選為全部聚合單元的60摩爾%以上。氟化聚酰亞胺中,聚合單元(B)優(yōu)選為全部聚合單元的30摩爾%以上。氟化聚酰亞胺優(yōu)選進一步包含基于非氟化二胺的聚合單元(C)。氟化聚酰亞胺優(yōu)選進一步包含基于其它種類酸酐的聚合單元(D)。本發(fā)明的膜優(yōu)選進一步包含玻璃、或透明樹脂基材(但是,由氟化聚酰亞胺構成的基材除外)。本發(fā)明的膜優(yōu)選用于透明導電性基材或柔性顯示屏用基材。本發(fā)明的膜優(yōu)選為光學膜。發(fā)明的效果本發(fā)明的膜的耐熱性高,總霧度值和黃色指數(shù)小。具體實施方式下面,具體說明本發(fā)明。本發(fā)明的膜的特征在于,包含總霧度值為4以下、黃色指數(shù)為3以下、全光線透過率為90%以上的氟化聚酰亞胺層。上述氟化聚酰亞胺層的總霧度值優(yōu)選為2以下,對下限沒有特別限定,可以為0.1。內部霧度值優(yōu)選為2以下、更優(yōu)選為1以下。對下限沒有特別規(guī)定,可以為0.1??傡F度值基于ASTMD1003、通過使用霧度計NDH7000SPCU2II(產品名)(日本電色工業(yè)株式會社制造)的透光性試驗來測定。內部霧度值使用霧度計NDH7000SPCU2II(產品名)(日本電色工業(yè)株式會社制造)來測定。具體地說,首先將水加入玻璃比色皿中測定參比,之后向該水中放入膜并測定霧度,與參比相減,由此來進行測定。上述氟化聚酰亞胺層的黃色指數(shù)(YI)更優(yōu)選為2.5以下,對下限沒有特別限定,可以為0.1。黃色指數(shù)(YI)如下算出:使用SUGATESTINSTRUMENTS社制造的SM彩色計算機SM-7型,將白色標準板作為色彩標準,將與試樣樣品的YI值之差作為dYI值而算出。dYI值的數(shù)值越大,表示黃色度越大。上述氟化聚酰亞胺層的全光線透過率更優(yōu)選為92%以上,對上限沒有特別限定,可以為99%。全光線透過率基于ASTMD1003、通過使用霧度計NDH7000SPCU2II(產品名)(日本電色工業(yè)株式會社制造)的透光性試驗來測定。上述氟化聚酰亞胺層的玻璃化轉變溫度優(yōu)選為260℃以上。玻璃化轉變溫度更優(yōu)選為270℃以上、進一步優(yōu)選為280℃以上、優(yōu)選為380℃以下、更優(yōu)選為360℃以下。本說明書中,使用DSC(差示掃描量熱計:SEIKO社制造、RTG220),以10℃/分鐘的條件從-50℃至200℃的溫度范圍對試樣樣品進行升溫(首輪)-降溫-升溫(第二輪),將第二輪中的吸熱曲線的中間點作為玻璃化轉變溫度(℃)。上述氟化聚酰亞胺層中,銨離子的含量相對于氟化聚酰亞胺層優(yōu)選為100ppm以下。銨離子的含量更優(yōu)選為80ppm以下、進一步優(yōu)選為50ppm以下,對下限沒有特別限定,可以為0.01ppm。若銨離子的含量在上述范圍內,則氟化聚酰亞胺層的總霧度值和黃色指數(shù)小,全光線透過率升高。銨離子的含量可以通過離子色譜法來測定。具體地說,可以將聚合物(或聚合物膜)放入水中,利用超聲波進行2小時左右處理后,過濾聚合物(或聚合物膜),通過離子色譜法測定溶解于濾液中的銨離子。上述氟化聚酰亞胺層中,銨離子以外的著色離子的含量相對于氟化聚酰亞胺層優(yōu)選為200ppm以下、更優(yōu)選為50ppm以下、進一步優(yōu)選為10ppm以下。若上述著色離子的含量在上述范圍內,則氟化聚酰亞胺層的總霧度值和黃色指數(shù)小,全光線透過率升高。作為上述著色離子,可以舉出Fe2+、Fe3+、Ni2+等過渡金屬陽離子、Cl-、SO42-等強酸的陰離子等。著色離子的含量是利用下述方法測定的值:將一定量的氟化聚酰亞胺(或氟化聚酰亞胺層)溶解于NMP等溶劑中,滴加至攪拌的水中,通過離子色譜法測定溶解于水中的著色離子,對其濃度進行轉換。上述著色離子的含量并非上述溶劑所含有的著色離子的含量,而是氟化聚酰亞胺(或氟化聚酰亞胺層)本身所含有的著色離子的含量。具體地說,可以采取下述方法:將10g的氟化聚酰亞胺溶解于50ml的NMP中,并滴加至150ml的水中。上述氟化聚酰亞胺層優(yōu)選膜厚公差為±20%以內。若膜厚公差在上述范圍內,則氟化聚酰亞胺層的總霧度值和黃色指數(shù)小,全光線透過率升高。作為上述氟化聚酰亞胺層的膜厚公差,更優(yōu)選為±15%以內、進一步優(yōu)選為±10%以內。關于上述膜厚公差,可以連續(xù)測定上述氟化聚酰亞胺層的膜厚,由其平均值與上下限值之差算出。上述氟化聚酰亞胺層的膜厚優(yōu)選為500μm以下、更優(yōu)選為200μm以下、進一步優(yōu)選為100μm以下、更進一步優(yōu)選為50μm以下、特別優(yōu)選為30μm以下,優(yōu)選為0.05μm以上、更優(yōu)選為0.1μm以上。即,在使氟化聚酰亞胺層具有強度的情況下,優(yōu)選增加膜厚,在非該情況下時,優(yōu)選減薄膜厚。在使其它部件具有強度而使用的情況下,優(yōu)選制成與玻璃、環(huán)烯烴(共聚物)聚合物(COP、COC)、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)樹脂、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)樹脂、聚碳酸酯(PC)樹脂等的膜的層積體而使用。上述氟化聚酰亞胺層的膜厚可以利用接觸式膜厚測定機、光學式膜厚測定機、或它們的組合來測定。上述氟化聚酰亞胺層的拉伸斷裂強度優(yōu)選為1MPa以上、更優(yōu)選為5MPa以上、對上限沒有特別限定,可以為100MPa。關于拉伸斷裂強度,使用拉伸試驗機(A&D公司制造TensilonRTG-1310),依照JISK6251(1993年)在500mm/分鐘的條件下利用啞鈴5號測定23℃的值。本發(fā)明的膜包含氟化聚酰亞胺層。上述氟化聚酰亞胺層優(yōu)選由下述氟化聚酰亞胺構成,該氟化聚酰亞胺包含基于下述式(1)所表示的氟化二胺和/或下述式(2)所表示的氟化二胺的聚合單元(A)、與基于下述式(3)所表示的氟化酸酐的聚合單元(B)?!净?】(式(1)中,和表示芳香環(huán)的取代基,表示每1個芳香環(huán)中4個可取代部位中的任意1個部位被該取代基所取代。和相同或不同,表示氟原子、碳原子數(shù)為1~8的含氟烷基。)【化5】(式(2)中,表示芳香環(huán)的取代基,表示芳香環(huán)的4個可取代部位中的任意1個部位被該取代基所取代。表示氟原子、碳原子數(shù)為1~8的含氟烷基。)【化6】(式(3)中,和相同或不同,表示氟原子、碳原子數(shù)為1~8的含氟烷基。)上述式(1)中,和相同或不同,表示氟原子、碳原子數(shù)為1~8的含氟烷基,優(yōu)選氟原子、碳原子數(shù)為1~4的含氟烷基,更優(yōu)選氟原子、碳原子數(shù)為1~3的含氟烷基。具體地說,優(yōu)選氟原子、氟甲基、二氟甲基、三氟甲基、HCF2CF2-、CF3CF2-、CF3CH2-、CF3CF2CF2CF2-、CF3CF2CF2CH2-,更優(yōu)選氟原子、氟甲基、二氟甲基、三氟甲基、CF3CF2-、HCF2CF2-。特別優(yōu)選為三氟甲基。作為上述式(1)所表示的氟化二胺,具體地說,可以舉出氟化的聯(lián)苯二胺作為優(yōu)選例。這些之中,更優(yōu)選2,2’-雙(三氟甲基)-4,4’-二氨基聯(lián)苯、2,2’-雙(六氟乙基)-4,4’-二氨基聯(lián)苯,特別優(yōu)選2,2’-雙(三氟甲基)-4,4’-二氨基聯(lián)苯。上述式(2)中,表示氟原子、碳原子數(shù)為1~8的含氟烷基,優(yōu)選氟原子、碳原子數(shù)為1~4的含氟烷基,更優(yōu)選氟原子、碳原子數(shù)為1~3的含氟烷基。具體地說,優(yōu)選氟原子、氟甲基、二氟甲基、三氟甲基、HCF2CF2-、CF3CF2-、CF3CH2-、CF3CF2CF2CF2-、CF3CF2CF2CH2-,更優(yōu)選氟原子、氟甲基、二氟甲基、三氟甲基、HCF2CF2-、CF3CF2-。特別優(yōu)選為三氟甲基。作為上述式(2)所表示的氟化二胺,具體地說,可以舉出2-三氟甲基二胺、2-六氟乙基二胺作為優(yōu)選例。這些之中特別優(yōu)選2-三氟甲基二胺。上述式(3)中,和相同或不同,表示氟原子、碳原子數(shù)為1~8的含氟烷基,優(yōu)選氟原子、碳原子數(shù)為1~4的含氟烷基,更優(yōu)選氟原子、碳原子數(shù)為1~3的含氟烷基。具體地說,優(yōu)選氟原子、氟甲基、二氟甲基、三氟甲基、HCF2CF2-、CF3CF2-、CF3CH2-、CF3CF2CF2CF2-、CF3CF2CF2CH2-,更優(yōu)選氟原子、氟甲基、二氟甲基、三氟甲基、HCF2CF2-、CF3CF2-。特別優(yōu)選為三氟甲基。在上述式(3)所表示的氟化酸酐中,特別優(yōu)選2,2-雙(3,4-二羧基苯基)六氟丙烷二酸酐。上述聚合單元(A)為基于上述式(1)所表示的氟化二胺和/或上述式(2)所表示的氟化二胺的聚合單元,也可以為基于上述式(1)所表示的氟化二胺中的1種或2種以上的聚合單元,也可以為基于上述式(2)所表示的氟化二胺中的1種或2種以上的聚合單元,還可以為基于上述式(1)所表示的氟化二胺中的1種或2種以上以及上述式(2)所表示的氟化二胺中的1種或2種以上的聚合單元。這些之中,從耐熱性、溶劑溶解性的方面出發(fā),上述聚合單元(A)優(yōu)選為基于上述式(1)所表示的氟化二胺的聚合單元。另外,上述聚合單元(B)為基于上述式(3)所表示的氟化酸酐的聚合單元,也可以為基于上述式(3)所表示的氟化酸酐中的1種或2種以上的聚合單元。上述氟化聚酰亞胺中,聚合單元(A)和(B)的構成比例((A):(B)(摩爾比))優(yōu)選為70:30~30:70、更優(yōu)選為60:40~40:60。若聚合單元(A)和(B)的構成比例為這種范圍,則氟化聚酰亞胺層的總霧度值和黃色指數(shù)低,全光線透過率高。作為聚合單元(A)和(B)的構成比例((A):(B)(摩爾比)),進一步優(yōu)選為52:48~48:52、特別優(yōu)選為51:49~49:51。上述氟化聚酰亞胺只要包含聚合單元(A)和(B)即可,也可以包含其它聚合單元,優(yōu)選聚合單元(A)和(B)為全部聚合單元的60摩爾%以上。通過上述氟化聚酰亞胺中的全部聚合單元中的聚合單元(A)和(B)的總比例為60摩爾%以上,氟化聚酰亞胺層的總霧度值和黃色指數(shù)低,全光線透過率高。作為該聚合單元(A)和(B)的總比例,更優(yōu)選為65摩爾%以上、進一步優(yōu)選為70摩爾%以上、特別優(yōu)選為80摩爾%以上。上限可以為100摩爾%。上述氟化聚酰亞胺優(yōu)選聚合單元(A)為全部聚合單元的30摩爾%以上。通過氟化聚酰亞胺的全部聚合單元中的聚合單元(A)的比例為這樣的范圍,氟化聚酰亞胺層的總霧度值和黃色指數(shù)低,全光線透過率高。更優(yōu)選聚合單元(A)為全部聚合單元的40摩爾%以上,進一步優(yōu)選為50摩爾%以上。上述氟化聚酰亞胺優(yōu)選聚合單元(B)為全部聚合單元的30摩爾%以上。通過氟化聚酰亞胺的全部聚合單元中的聚合單元(B)的比例為這樣的范圍,氟化聚酰亞胺層的總霧度值和黃色指數(shù)低,全光線透過率高。更優(yōu)選聚合單元(B)為全部聚合單元的40摩爾%以上,進一步優(yōu)選為50摩爾%以上。作為上述其它聚合單元,可以舉出基于非氟化二胺、非氟化酸酐、氟化酸酐(其中,上述式(3)所表示的氟化酸酐除外)等的聚合單元。其中,上述氟化聚酰亞胺進一步包含基于非氟化二胺的聚合單元(C)也是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式之一。另外,上述氟化聚酰亞胺進一步包含基于非氟化酸酐、或除上述式(3)所表示的氟化酸酐外的氟化酸酐等其它種類酸酐的聚合單元(D)也是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式之一。上述氟化聚酰亞胺可以含有任意量的聚合單元(C)和(D),作為該聚合單元(C)和(D)的總比例,優(yōu)選為40摩爾%以下。該聚合單元(C)和(D)的總比例超過40摩爾%的情況下,溶劑溶解性變差,難以發(fā)揮出所期望的光學特性。此外,優(yōu)選聚合單元(D)為全部聚合單元的20摩爾%以下。若聚合單元(D)超過20摩爾%,則溶劑溶解性降低,難以發(fā)揮出所期望的光學特性。作為上述非氟化二胺,可以舉出例如二氨基二苯基醚、二氨基二苯基甲烷、二氨基二苯基丙烷、二氨基二苯基砜、二氨基聯(lián)苯等。另外,作為上述其它種類酸酐,可以舉出例如均苯四酸二酐、聯(lián)苯四羧酸二酐、二苯甲酮四羧酸二酐、亞苯基雙(偏苯三酸單酯酸酐)、2,2’-雙(3,4-二羧基苯基)丙烷二酸酐等非氟化酸酐;在2,2’-雙(3,4-二羧基環(huán)己基)六氟丙烷二酸酐、均苯四酸二酐或聯(lián)苯四羧酸二酐的芳香環(huán)上取代有三氟甲基或氟基的酸酐等氟化酸酐;等。上述氟化聚酰亞胺的酰亞胺化率越高越好,上限為100%。酰亞胺化率低時,介電常數(shù)有可能降低,因而下限優(yōu)選為70%。酰亞胺化率通過IR分析來測定。上述氟化聚酰亞胺的銨離子的含量優(yōu)選為100ppm以下。銨離子的含量更優(yōu)選為80ppm以下、進一步優(yōu)選為50ppm以下,對下限沒有特別限定,可以為0.01ppm。若銨離子的含量在上述范圍內,則氟化聚酰亞胺層的總霧度值和黃色指數(shù)小,全光線透過率升高。本發(fā)明的膜可以為僅包含上述氟化聚酰亞胺層的單層膜,也可以為除了上述氟化聚酰亞胺層外還包括玻璃、或透明樹脂基材(但是,由氟化聚酰亞胺構成的基材除外)的多層膜。作為上述透明樹脂基材,可以舉出聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)樹脂、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、環(huán)烯烴(共聚物)聚合物(COP、COC)、聚碳酸酯(PC)樹脂、聚酰亞胺(PI)樹脂、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、和聚苯乙烯樹脂等,由于吸濕性低而優(yōu)選PET樹脂、PEN樹脂、COP、COC、PC樹脂,特別是,由于雙折射低而更優(yōu)選COC、COP。本發(fā)明的膜為多層膜的情況下,總霧度值優(yōu)選為8以下、更優(yōu)選為6以下,對下限沒有特別限定,可以為0.2。本發(fā)明的膜為多層膜的情況下,黃色指數(shù)(YI)優(yōu)選為6以下、更優(yōu)選為4以下,對下限沒有特別限定,可以為0.7。本發(fā)明的膜為多層膜的情況下,全光線透過率優(yōu)選為80%以上、更優(yōu)選為85%以上,對上限沒有特別限定,可以為98%。本發(fā)明的膜為多層膜的情況下,構成膜的全部材料的玻璃化轉變溫度優(yōu)選為60℃以上。玻璃化轉變溫度更優(yōu)選為70℃以上、進一步優(yōu)選為85℃以上、優(yōu)選為350℃以下、更優(yōu)選為340℃以下。另外,作為膜,還需要光學缺陷數(shù)少。膜的光學缺陷是指膜表面的缺陷或膜內部的缺陷。作為膜表面的缺陷,可以舉出表面的瑕疵、污垢、灰塵等。另外,作為膜內部的缺陷,可以舉出膜內部的毛刺、空隙、裂紋等。對于本發(fā)明的膜來說,利用缺陷檢測儀觀察到的直徑0.15mm以上的光學缺陷優(yōu)選為10個/m2以下、更優(yōu)選為5個/m2以下、進一步優(yōu)選為1個/m2以下。本發(fā)明的膜可以適當?shù)乩孟旅嬲f明的制造方法來制造。本發(fā)明的膜可以適當?shù)乩孟率鲋圃旆椒▉碇圃欤撝圃旆椒ǖ奶卣髟谟诎ㄏ率龉ば颍菏狗放c氟化酸酐進行加聚反應而得到聚酰胺酸的溶液的工序(1);通過脫水環(huán)化反應由所得到的聚酰胺酸的溶液得到氟化聚酰亞胺的溶液的工序(2);將所得到的溶液滴加至不良溶劑中而使上述氟化聚酰亞胺沉淀,將粉末狀的氟化聚酰亞胺回收的工序(3);將上述粉末狀的氟化聚酰亞胺溶解于良溶劑中后,將所得到的溶液滴加至不良溶劑中使上述氟化聚酰亞胺沉淀,回收精制的粉末狀的氟化聚酰亞胺的精制工序(4);將上述氟化聚酰亞胺溶解于溶劑中而得到清漆的工序(5);以及將上述清漆涂布至基材上后使其干燥而得到膜的工序(6)。工序(1)中的加聚反應可以利用通常進行的方法來進行,例如,可以舉出在溶劑中攪拌上述原料單體來進行反應的方法等。關于氟化二胺和氟化酸酐,如上所述。除了氟化二胺和氟化酸酐以外,還可以聚合上述的其它二胺或酸酐。上述加聚反應在反應中可以一邊用惰性氣體、優(yōu)選用氮氣進行置換一邊進行。另外,反應溫度和反應時間可以適當設定,例如可以設為0℃~150℃、優(yōu)選室溫(25℃)~100℃、以及2小時~24小時、優(yōu)選2小時~12小時。上述加聚反應可以在溶劑中實施。作為上述加聚反應中使用的溶劑,可以使用例如N-甲基-2-吡咯烷酮、二甲基乙酰胺、二甲基甲酰胺等酰胺類;二甲基亞砜等亞砜類;甲苯、二甲苯等芳香族溶劑、二甘醇二甲醚、三甘醇二甲醚等醚類或它們的混合溶劑。在工序(1)中,得到聚酰胺酸溶解于上述加聚反應中使用的溶劑中而成的溶液。所得到的聚酰胺酸包含基于氟化二胺的聚合單元(A)和基于氟化酸酐的聚合單元(B)。在工序(1)中得到的聚酰胺酸中,聚合單元(A)和(B)的構成比例((A):(B)(摩爾比))優(yōu)選為55:45~45:55。若聚合單元(A)和(B)的構成比例為這樣的范圍,則將聚酰胺酸酰亞胺化而得到的氟化聚酰亞胺的介電常數(shù)降低。作為聚合單元(A)和(B)的構成比例((A):(B)(摩爾比)),更優(yōu)選為52:48~48:52、進一步優(yōu)選為51:49~49:51。上述聚酰胺酸只要包含聚合單元(A)和(B)即可,也可以包含其它聚合單元,優(yōu)選聚合單元(A)和(B)為全部聚合單元的60摩爾%以上。通過上述聚酰胺酸中的全部聚合單元中的聚合單元(A)和(B)的總比例為60摩爾%以上,將上述聚酰胺酸酰亞胺化而得到的氟化聚酰亞胺容易溶解于溶劑中。因此,可以通過涂布形成氟化聚酰亞胺層,涂布后不需要在高溫下進行燒制以進行酰亞胺化,因而能夠形成介電常數(shù)低的氟化聚酰亞胺層,作為該聚合單元(A)和(B)的總比例,優(yōu)選為65摩爾%以上、更優(yōu)選為70摩爾%以上、進一步優(yōu)選為80摩爾%以上。上限可以為100摩爾%。上述聚酰胺酸優(yōu)選聚合單元(A)為全部聚合單元的30摩爾%以上。通過上述聚酰胺酸中的全部聚合單元中的聚合單元(A)的比例為這樣的范圍,將上述聚酰胺酸酰亞胺化而得到的氟化聚酰亞胺容易溶解于溶劑中。因此,可以通過涂布形成氟化聚酰亞胺層,涂布后不需要在高溫下進行燒制以進行酰亞胺化,因而能夠形成介電常數(shù)低的氟化聚酰亞胺層,更優(yōu)選聚合單元(A)為全部聚合單元的40摩爾%以上、進一步優(yōu)選為50摩爾%以上。上述聚酰胺酸優(yōu)選聚合單元(B)為全部聚合單元的30摩爾%以上。通過上述聚酰胺酸中的全部聚合單元中的聚合單元(B)的比例為這樣的范圍,將上述聚酰胺酸酰亞胺化而得到的氟化聚酰亞胺容易溶解于溶劑中。因此,可以通過涂布形成氟化聚酰亞胺層,涂布后不需要在高溫下進行燒制以進行酰亞胺化,因而能夠形成介電常數(shù)低的氟化聚酰亞胺層,更優(yōu)選聚合單元(B)為全部聚合單元的40摩爾%以上、進一步優(yōu)選為50摩爾%以上。在工序(2)中,利用脫水環(huán)化反應,由工序(1)中得到的聚酰胺酸的溶液得到氟化聚酰亞胺的溶液??梢允褂霉ば?1)中得到的聚酰胺酸的溶液來實施脫水環(huán)化反應,也可以由工序(1)中得到的聚酰胺酸的溶液分離出聚酰胺酸,將分離出的聚酰胺酸供至脫水環(huán)化反應,從生產率優(yōu)異的方面出發(fā),優(yōu)選將工序(1)中得到的聚酰胺酸的溶液供至脫水環(huán)化反應。上述脫水環(huán)化反應可以利用通常進行的方法來進行,例如可以舉出:對由上述加聚反應得到的聚酰胺酸進行加熱處理的方法;或以化學方式對由上述加聚反應得到的聚酰胺酸進行脫水處理的方法;等。作為對上述聚酰胺酸進行加熱處理的方法,具體地說,可以舉出在惰性氣體的氣氛下、于20℃~300℃、優(yōu)選50℃~200℃的反應溫度下將聚酰胺酸加熱1小時~48小時、優(yōu)選2小時~24小時的方法等。作為上述惰性氣體,可以舉出例如氬氣、氦氣、氮氣等。此時可以使用磷酸等脫水劑。作為以化學方式對上述聚酰胺酸進行脫水處理的方法,具體地說,可以舉出用脫水劑、酰亞胺化劑對聚酰胺酸進行處理的方法等。利用該酰亞胺化劑所進行的處理的方法可以利用通常所進行的方法來進行。作為上述處理方法,可以舉出例如使用乙酸酐、丙酸酐、三氟乙酸酐等酸酐作為脫水劑、并使用吡啶、三甲基吡啶、二甲基吡啶、三乙胺等叔胺類作為脫水催化劑的方法等。另外,也可以為使用磷酸等脫水劑與聚酰胺酸一同加熱的方法。磷酸可以與酸酐、酰亞胺化劑進行合用。上述以化學方式進行脫水處理的方法中的反應溫度可以為10℃~200℃左右。上述脫水環(huán)化反應可以得到總霧度值和黃色指數(shù)小的氟化聚酰亞胺層,因而優(yōu)選通過以化學方式進行脫水處理的方法來進行。為了通過對聚酰胺酸進行加熱處理而生成聚酰亞胺,需要以比較高的溫度長時間進行加熱,但通過高溫下的長時間的加熱處理,會增大所得到的氟化聚酰亞胺層的總霧度值和黃色指數(shù)。即,工序(2)優(yōu)選為下述工序:不將聚酰胺酸加熱至超過150℃,而通過以化學方式進行脫水處理的方法來得到氟化聚酰亞胺。酰亞胺化率越高越優(yōu)選,上限為100%。酰亞胺化率低時,透明性有可能降低,因而下限優(yōu)選為70%。酰亞胺化率通過IR分析來測定。在工序(3)中,將工序(2)中得到的溶液滴加至不良溶劑中,使上述氟化聚酰亞胺沉淀,回收粉末狀的氟化聚酰亞胺。作為上述不良溶劑,可以舉出例如水、甲醇、乙醇、異丙醇、環(huán)己醇、甲苯等。在工序(4)中,將工序(3)中得到的粉末狀的氟化聚酰亞胺溶解于良溶劑中后,將所得到的溶液滴加至不良溶劑中,使上述氟化聚酰亞胺沉淀,回收精制的粉末狀的氟化聚酰亞胺。作為上述良溶劑,可以舉出例如N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、二甲基乙酰胺、二甲基甲酰胺等酰胺類;二甲基亞砜等亞砜類;γ-丁內酯、乙酸丁酯、乙酸乙酯、乳酸乙酯等酯類;甲基乙基酮、甲基異丁基酮、丙酮、環(huán)己酮等酮類;等。這些之中,優(yōu)選酮類和/或酯類的合計占全部溶劑的40質量%以上的溶劑,更優(yōu)選酮類和/或酯類的合計占全部溶劑的50質量%以上的溶劑,進一步優(yōu)選酮類和/或酯類的合計占全部溶劑的75質量%以上的溶劑。作為上述不良溶劑,可以舉出例如水、甲醇、乙醇、異丙醇、環(huán)己醇、甲苯等。工序(4)是上述制造方法中重要的工序之一。上述制造方法包括用于精制氟化聚酰亞胺的工序(4),因而,可以將最終得到的氟化聚酰亞胺層中的銨離子調整為所期望的含量,可以得到包含耐熱性高、總霧度值和黃色指數(shù)小的氟化聚酰亞胺層的膜。工序(4)可以重復任意的次數(shù),優(yōu)選重復至能夠將銨離子降低至所期望的量為止,更優(yōu)選重復3次以上,進一步優(yōu)選重復5次以上??梢允顾玫降姆勰畹姆埘啺犯稍?。對于上述粉末狀的氟化聚酰亞胺來說,銨離子的含量相對于氟化聚酰亞胺優(yōu)選為100ppm以下。銨離子的含量更優(yōu)選為80ppm以下、進一步優(yōu)選為50ppm以下,對下限沒有特別限定,可以為0.01ppm。若銨離子的含量在上述范圍內,則氟化聚酰亞胺層的總霧度值和黃色指數(shù)小,全光線透過率升高。銨離子的含量可以通過離子色譜法來測定。具體地說,可以將聚合物(或聚合物膜)放入水中,利用超聲波進行2小時左右處理后,過濾聚合物(或聚合物膜),通過離子色譜法測定溶解于濾液中的銨離子。上述粉末狀的氟化聚酰亞胺中,銨離子以外的著色離子的含量優(yōu)選為200ppm以下、更優(yōu)選為50ppm以下、進一步優(yōu)選為10ppm以下。若上述著色離子的含量在上述范圍內,則氟化聚酰亞胺層的總霧度值和黃色指數(shù)小,全光線透過率升高。作為上述著色離子,可以舉出Fe2+、Fe3+、Ni2+等過渡金屬陽離子、Cl-、SO42-等強酸的陰離子等。上述著色離子的含量是利用下述方法測定的值:將一定量的粉末狀的氟化聚酰亞胺溶解于NMP等溶劑中,滴加至攪拌的水中,通過離子色譜法測定溶解于水中的著色離子,對其濃度進行轉換。具體地說,可以采取下述方法:將10g的粉末狀的氟化聚酰亞胺溶解于50ml的NMP中,并滴加至150ml的水中。在工序(5)中,將工序(4)中得到的氟化聚酰亞胺溶解于溶劑中,得到清漆。作為用于得到上述清漆的溶劑,可以使用例如N-甲基-2-吡咯烷酮、二甲基乙酰胺、二甲基甲酰胺等酰胺類;二甲基亞砜等亞砜類;γ-丁內酯、乙酸丁酯、乙酸乙酯、乳酸乙酯等酯類;甲基乙基酮、甲基異丁基酮、丙酮、環(huán)己酮等酮類;等。這些之中,優(yōu)選酮類和/或酯類的合計占全部溶劑的40質量%以上的溶劑,更優(yōu)選酮類和/或酯類的合計占全部溶劑的50質量%以上的溶劑,進一步優(yōu)選酮類和/或酯類的合計占全部溶劑的75質量%以上的溶劑。通常,聚酰亞胺在閉環(huán)后不溶于溶劑,另外,閉環(huán)后可溶于溶劑的溶劑可溶聚酰亞胺也以酰胺類作為主溶劑。但是,在涂布包含酰胺類的清漆時,需要在高溫下使涂膜干燥。通過將氟化聚酰亞胺溶解于大量包含酮類和/或酯類的溶劑中,能夠在低溫下干燥,因而可以形成包含總霧度值和黃色指數(shù)小的氟化聚酰亞胺層的膜。作為上述清漆的濃度,只要是上述氟化聚酰亞胺均勻分散于溶劑中的濃度即可,沒有特別限制,作為固體成分濃度,優(yōu)選為1摩爾%~40摩爾%、更優(yōu)選為5摩爾%~30摩爾%。上述清漆只要包含上述氟化聚酰亞胺和溶劑即可,也可以包含其它成分,可以包含例如顏料、染料、無機填料、有機填料、潤滑劑、密合提高劑等添加劑、反應性低分子、增容劑等。此外,還可以在不損害本發(fā)明的效果的范圍內包含其它樹脂。對于上述清漆來說,銨離子的含量相對于氟化聚酰亞胺優(yōu)選為100ppm以下。銨離子的含量更優(yōu)選為80ppm以下、進一步優(yōu)選為50ppm以下,對下限沒有特別限定,可以為0.01ppm。若銨離子的含量在上述范圍內,則氟化聚酰亞胺層的總霧度值和黃色指數(shù)小,全光線透過率升高。清漆中的銨離子的含量是利用下述方法測定的值,即,將一定量的清漆滴加至攪拌的水中,通過離子色譜法測定溶解于水中的銨離子,對其濃度進行轉換。具體地說,可以采用下述方法:將清漆的氟化聚酰亞胺的濃度調整為20質量%后,將100ml的清漆添加至150ml的水中。對于上述清漆來說,銨離子以外的著色離子的含量相對于氟化聚酰亞胺優(yōu)選為200ppm以下、更優(yōu)選為50ppm以下、進一步優(yōu)選為10ppm以下。若上述著色離子的含量在上述范圍內,則氟化聚酰亞胺層的總霧度值和黃色指數(shù)小,全光線透過率升高。作為上述著色離子,可以舉出Fe2+、Fe3+、Ni2+等過渡金屬陽離子、Cl-、SO42-等強酸的陰離子等。清漆中的著色離子的含量是利用下述方法測定的值,即,將一定量的清漆滴加至攪拌的水中,通過離子色譜法測定溶解于水中的著色離子,對其濃度進行轉換。具體地說,可以采用下述方法:將清漆的氟化聚酰亞胺的濃度調整為20質量%后,將100ml的清漆添加至150ml的水中。在工序(6)中,將包含氟化聚酰亞胺的清漆涂布至基材后,使其干燥,得到包含氟化聚酰亞胺層的膜。在工序(6)中,與以往不同,涂布包含氟化聚酰亞胺的清漆而形成氟化聚酰亞胺層,因而涂布后不需要將聚酰胺酸酰亞胺化而制成聚酰亞胺。因此,對于上述干燥溫度來說,不需要為進行酰亞胺化那樣的高溫,可以為250℃以下,下限可以為80℃。由于上述干燥溫度為上述范圍,因而上述制造方法可以形成包含特別是總霧度值和黃色指數(shù)小的氟化聚酰亞胺層的膜。從能夠在低溫下進行干燥的方面考慮,清漆的溶劑優(yōu)選酮類和/或酯類的合計占全部溶劑的40質量%以上的溶劑,更優(yōu)選酮類和/或酯類的合計占全部溶劑的50質量%以上的溶劑,進一步優(yōu)選酮類和/或酯類的合計占全部溶劑的75質量%以上的溶劑。作為清漆的溶劑,具體地說,可以舉出N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)等。工序(6)中的干燥溫度優(yōu)選為200℃以下,下限優(yōu)選超過60℃,更優(yōu)選的下限為100℃。由于可以形成包含總霧度值和黃色指數(shù)小的氟化聚酰亞胺層的膜,因而在200℃以下進行干燥是特別有利的。關于工序(6)中的干燥,優(yōu)選通過使涂布有清漆的基材以每1路程(パス)2秒~240秒通過使設定溫度為上述范圍的溫度的爐內來進行。另外,優(yōu)選使其通過按照從低溫至高溫緩慢升溫的方式而設定的爐內來進行。更優(yōu)選于40℃~80℃開始干燥,并升溫至100℃~250℃。到達最高干燥溫度為止的時間優(yōu)選為180秒以下、更優(yōu)選為150秒以下,優(yōu)選為5秒以上、更優(yōu)選為10秒以上、進一步優(yōu)選為30秒以上。通過這樣多級、緩慢地升溫,可以形成包含總霧度值和黃色指數(shù)小的氟化聚酰亞胺層的膜??偢稍飼r間優(yōu)選為240秒以下、更優(yōu)選為150秒以下、進一步優(yōu)選為120秒以下,優(yōu)選為2秒以上、更優(yōu)選為5秒以上、進一步優(yōu)選為30秒以上。工序(6)中的干燥優(yōu)選通過3路程以上、更優(yōu)選通過4路程以上、進一步優(yōu)選通過5路程以上。上述制造方法中,優(yōu)選不在超過200℃的溫度加熱30分鐘以上而制造包含氟化聚酰亞胺層的膜。上述制造方法可以包括從上述基材剝離上述膜并回收氟化聚酰亞胺膜的工序(7)。包括工序(7)的制造方法作為制造僅包含氟化聚酰亞胺膜的單層膜的方法是合適的。上述制造方法包括工序(7)的情況下,工序(6)中使用的基材不需要為上述透明樹脂基材,可以使用澆注制膜法中通常所用的基材。上述制造方法還可以在回收氟化聚酰亞胺膜的工序(7)后包括通過層積將所得到的氟化聚酰亞胺膜與上述透明樹脂基材(但是,由氟化聚酰亞胺膜構成的基材除外)貼合的工序(8),在包括該工序的情況下,可以制造多層膜。層積時,希望將光學用的粘著片以粘著層的形式使用。另外,也可以直接涂布至基材并干燥。上述制造方法中,作為工序(6)中使用的基材,可以使用上述透明樹脂基材(但是,由氟化聚酰亞胺膜構成的基材除外),該情況下,可以不實施上述的工序(7)和(8)而制造多層膜。本發(fā)明的膜由于包含耐熱性高、總霧度值和黃色指數(shù)小的氟化聚酰亞胺層,因而可以適合作為透明導電性基材或柔性顯示屏用基材使用。另外,為了制成透明導電性基材,需要通過蒸鍍成膜在膜上形成氧化銦錫(ITO)層等透明導電層,因而要求膜具有耐受蒸鍍成膜的機械強度,本發(fā)明的膜具有可耐受蒸鍍成膜的機械強度。在將本發(fā)明的膜以透明導電性基材的形式使用的情況下,優(yōu)選為僅包含氟化聚酰亞胺層的單層膜,優(yōu)選的膜的膜厚為25μm~50μm。另外,在將本發(fā)明的膜以柔性顯示屏用基材的形式使用的情況下,為了即便彎折也不發(fā)生破損而要求具有耐撓曲性,本發(fā)明的膜具有充分的耐撓曲性。在將本發(fā)明的膜以柔性顯示屏用基材的形式使用的情況下,優(yōu)選為僅包含氟化聚酰亞胺層的單層膜,優(yōu)選的膜的膜厚為0.1μm~500μm。即,在使氟化聚酰亞胺層具有強度的情況下,優(yōu)選厚;在不使氟化聚酰亞胺層具有強度的情況下,優(yōu)選薄。在使其它部件具有強度而使用的情況下,優(yōu)選以與玻璃、環(huán)烯烴聚合物、PET樹脂、PEN樹脂、PC樹脂等的膜的層積體的形式使用。本發(fā)明的膜由于包含耐熱性高、總霧度值和黃色指數(shù)小的氟化聚酰亞胺層,因而可以適合作為光學膜使用。作為光學膜,可以舉出偏振片、相位差膜、光漫射膜、濾光器、鏡片、防反射膜、透明電磁波屏蔽膜、玻璃替代膜等。另外,光學膜也可以用于藍光光盤的保護層。實施例接下來,舉出實施例對本發(fā)明進行說明,但本發(fā)明并不僅限定于所述實施例。實施例的各數(shù)值通過以下的方法進行測定。(全光線透過率)全光線透過率基于ASTMD1003、通過使用霧度計NDH7000SPCU2II(產品名)(日本電色工業(yè)株式會社制造)的透光性試驗來測定。(總霧度值和內部霧度值)總霧度值基于ASTMD1003、通過使用霧度計NDH7000SPCU2II(產品名)(日本電色工業(yè)株式會社制造)的透光性試驗來測定。內部霧度值使用霧度計NDH7000SPCU2II(產品名)(日本電色工業(yè)株式會社制造)來測定。具體地說,首先將水加入玻璃比色皿中測定參比,之后向該水中放入膜并測定霧度,與參比相減,由此來進行測定。(膜厚)膜厚使用Filmetrics社制造的F-20來測定。(銨離子的含量)銨離子的含量通過離子色譜法來測定。具體地說,將聚合物(或聚合物膜)放入水中,利用超聲波進行2小時左右處理后,過濾聚合物(或聚合物膜),通過離子色譜法測定溶解于濾液中的銨離子。離子色譜使用Dionex株式會社制造的DX500。(黃色指數(shù)(YI))使用SUGATESTINSTRUMENTS社制造的SM彩色計算機SM-7型,將白色標準板作為色彩標準,將與試樣樣品的YI值之差作為dYI值而算出。合成例1在氮氣氣流下,向帶有回流管、溫度計的500ml三口燒瓶中加入N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)300ml,加入2,2’-雙(3,4-二羧基苯基)六氟丙烷二酸酐(6FDA)50g和2,2’-雙(三氟甲基)-4,4’-二氨基聯(lián)苯(PFMB)37.4g。接著,加熱至120℃并加入吡啶40g。接著,加入三氟乙酸酐50g,在150℃下攪拌8小時。最后,為了壓蓋而加入苯甲酸酐3g,攪拌1小時,得到包含聚合物1的溶液。關于使用后述精制法1對所得到的包含聚合物1的溶液進行精制而成的聚合物1,通過IR分析可知,為基于6FDA的聚合單元/基于PFMB的聚合單元=50/50(摩爾比)的共聚物。精制后的聚合物1含有表1所示的量的銨離子。另外,由IR分析可知全部閉環(huán),酰亞胺化率為100%。合成例2利用與合成例1相同的方法,以摩爾比50/40/10加入6FDA、PFMB和4,4’-二氨基聯(lián)苯,進行聚合和脫水環(huán)化反應,得到包含聚合物2的溶液。合成例3利用與合成例1相同的方法,以摩爾比40/10/40/10加入6FDA、2,2’-雙(3,4-二羧基苯基)丙烷二酸酐、PFMB和4,4’-二氨基聯(lián)苯,進行聚合和脫水環(huán)化反應,得到包含聚合物3的溶液。合成例4利用與合成例1相同的方法,以摩爾比40/10/40/10加入6FDA、2,2’-雙(3,4-二羧基環(huán)己基)六氟丙烷二酸酐、PFMB和4,4’-二氨基聯(lián)苯,進行聚合和脫水環(huán)化反應,得到包含聚合物4的溶液。精制法1將各合成例中得到的溶液滴加至正在攪拌的2L水中,進行再沉淀操作。滴加后,聚合物沉淀出來。通過過濾取出聚合物的粉末。進而將所取出的粉末溶解于100g的NMP中,進行5次再沉淀操作。精制法2將各合成例中得到的溶液滴加至正在攪拌的2L水中,進行再沉淀操作。滴加后,聚合物沉淀出來。通過過濾取出聚合物的粉末。實施例1使用精制法1對合成例1中得到的溶液進行精制,將所得到的聚合物以固體成分15質量%溶解于NMP/MEK=2/8的溶液中,得到涂料。接著,利用孔徑3μm的深褶型的過濾器對所得到的涂料進行過濾,利用模涂機將經過濾的涂料流延(澆注)至鋼帶上,進行干燥,制備出膜厚25μm的聚合物膜。此時,將干燥裝置以1區(qū)域2m的方式分割成4區(qū)域,從入口側起將各自的干燥溫度設定為80℃、120℃、150℃以及180℃,將各區(qū)域的通過速度設定為圓周速度8m/min,使膜(或流延的涂料)通過,由此來實施干燥。關于所得到的聚合物膜,測定了銨離子的含量、全光線透過率、總霧度值、內部霧度值和dYI。結果列于表1。實施例2~4和比較例1~3將所使用的聚合物的種類和精制法變更為表1所示的聚合物的種類和精制法,除此以外,利用與實施例1相同的方法制備了聚合物膜。關于所得到的聚合物膜,測定了銨離子的含量、全光線透過率、總霧度值、內部霧度值和dYI。結果列于表1。如此可知,在銨離子的含量多的情況下,透明性(全光線透過率)降低,總霧度值和內部霧度值上升,dYI變大。實施例5使用精制法1對合成例1中得到的溶液進行精制,將所得到的聚合物以固體成分15質量%溶解于NMP/MEK=2/8的溶液中,得到涂料。接著,利用孔徑3μm的深褶型的過濾器對所得到的涂料進行過濾,利用模涂機將經過濾的涂料流延(澆注)至鋼帶上,進行干燥,制備出膜厚25μm的聚合物膜。此時,將干燥裝置以1區(qū)域2m的方式分割成4區(qū)域,從入口側起將各自的干燥溫度設定為60℃、90℃、120℃以及150℃,將各區(qū)域的通過速度設定為圓周速度8m/min,使膜(或流延的涂料)通過,由此來實施干燥。關于所得到的聚合物膜,測定了銨離子的含量、全光線透過率、總霧度值、內部霧度值和dYI。結果列于表2。實施例6分別變更干燥裝置的溫度,使其恒定為110℃,除此以外利用與實施例5相同的方法制備出聚合物膜。關于所得到的聚合物膜,測定了銨離子的含量、全光線透過率、總霧度值、內部霧度值和dYI。結果列于表2。比較例4~6分別變更干燥裝置的溫度,比較例4中恒定為120℃,比較例5中恒定為150℃,比較例6中恒定為90℃,除此以外利用與實施例5相同的方法制備出聚合物膜。關于所得到的聚合物膜,測定了銨離子的含量、全光線透過率、總霧度值、內部霧度值和dYI。結果列于表2。比較例6中,聚合物膜中殘存有NMP,因而作為膜是不成立的,沒有進行測定。如此可知,在干燥溫度不合適的情況下,總霧度值和內部霧度值大幅上升,因而作為需要透明性的光學膜是不合適的。實施例7除了將聚合物膜的膜厚變更為50μm以外,利用與實施例1相同的方法制備出聚合物膜。關于所得到的聚合物膜,測定了銨離子的含量、全光線透過率、總霧度值、內部霧度值和dYI。結果列于表3。實施例8將所使用的精制法變更為后述的精制法3,除此以外利用與實施例1相同的方法制備出聚合物膜。關于所得到的聚合物膜,測定了銨離子的含量、全光線透過率、總霧度值、內部霧度值和dYI。結果列于表3。比較例7將所使用的精制法變更為后述的精制法3,將聚合物膜的膜厚變更為50μm,除此以外利用與實施例1相同的方法制備出聚合物膜。關于所得到的聚合物膜,測定了銨離子的含量、全光線透過率、總霧度值、內部霧度值和dYI。結果列于表3。精制法3將各合成例中得到的溶液滴加至正在攪拌的2L水中,進行再沉淀操作。滴加后,聚合物沉淀出來。通過過濾取出聚合物的粉末。進而將所取出的粉末溶解于100g的NMP中,進行2次再沉淀操作。如此可知,在銨離子的含量超過100ppm的膜的情況下,若膜厚發(fā)生變化,則透明性大幅降低。(膜的缺點檢查)對實施例1、2、5和比較例1、4、5中得到的聚合物膜進行了缺點檢查。使用缺點檢查計(Maxeye.impactFUTEC株式會社制造),進行了基于圖像電路的缺點檢查。對直徑為0.15mm以上的缺點(由圖像電路和差分電路這兩者檢測出)進行了統(tǒng)計。結果列于表4?!颈?】缺陷數(shù)(個/m2)實施例10.9實施例20.8比較例138實施例51.1比較例488比較例5287由上述結果可知,在雜質多或干燥條件不合適的情況下,缺陷數(shù)增多。實施例9~12隔著粘著層將玻璃、PC膜、PET膜、COC膜與實施例1中得到的聚合物膜貼合,得到層積體。關于所得到的層積體,測定了內部霧度值。結果列于表5。具體通過下述步驟進行了貼合。首先,一邊剝下粘著層的單面的保護膜,一邊將粘著層用輥貼附至作為基材的玻璃、PC膜、PET膜、COC膜上。接著,將粘著層的與貼附至基材的面相反的面的保護膜剝下,用輥在該面貼附實施例1中得到的聚合物膜,得到層積體?!颈?】這樣,在通過隔著粘著層的貼合來制作層積體的情況下,層積體的厚度/內部霧度值均為所貼合的層各自的厚度/內部霧度值的相加值。實施例13使用精制法1對合成例1中得到的溶液進行精制,將所得到的聚合物以固體成分15質量%溶解于NMP/MEK=2/8的溶液中,得到涂料。接著,利用孔徑3μm的深褶型的過濾器對所得到的涂料進行過濾,利用模涂機將經過濾的涂料流延(澆注)至厚度540μm的玻璃上,進行干燥,制備出具有膜厚25μm的聚合物膜的層積體。此時,將干燥裝置以1區(qū)域2m的方式分割成4區(qū)域,從入口側起將各自的干燥溫度設定為60℃、90℃、120℃以及150℃,將各區(qū)域的通過速度設定為圓周速度8m/min,使膜(或流延的涂料)通過,由此來實施干燥。關于所得到的層積體,測定了內部霧度值。結果列于表6。實施例14~16將厚度540μm的玻璃分別變更為厚度80μm的PC膜、厚度50μm的PET膜、厚度100μm的COC膜,除此以外利用與實施例13相同的方法制備出層積體。關于所得到的層積體,測定了內部霧度值。結果列于表6?!颈?】這樣,在通過涂布制作層積體的情況下,由于不需要粘著層,因而可以減薄層積體的厚度,可以減小內部霧度值。當前第1頁1 2 3 
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