本發(fā)明涉及一種mo源罐裝鋼瓶的自動清洗裝置及其方法。

背景技術(shù)：

mo源是伴隨著mocvd技術(shù)而發(fā)展起來的。6n(6n＝99.9999％)純度的mo源是制造半導(dǎo)體薄膜材料的主要金屬源，常作為如gan、gaas、inp、a1gaas等半導(dǎo)體超薄型膜材料的基礎(chǔ)源。這些新型光電材料廣泛應(yīng)用于激光器、紅外探測器、太陽能電池等高技術(shù)行業(yè)領(lǐng)域。

mo源的儲存和運輸是使用一種特殊設(shè)計的鋼瓶，此鋼瓶可以和mocvd設(shè)備相吻合，專利公開號為cn201512580u和cn203797323u的專利公開了鋼瓶的結(jié)構(gòu)。該鋼瓶在保證堅固的同時，還需要有超高的純度，防止高純mo源產(chǎn)品被污染。如何清洗鋼瓶則成為需要研究的問題。

目前鋼瓶清洗主要靠人工灌堿、灌酸，操作人員存在被酸堿灼傷的危險，同時還要忍受超聲波的噪音污染，并且需要耗費大量的時間和人力，對環(huán)境亦有影響。

如何需要設(shè)計一種可減輕操作人員勞力、減少酸堿灼傷的危險、省時省力的清洗設(shè)備。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供一種mo源罐裝鋼瓶的自動清洗裝置及其方法。

本發(fā)明的目的通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)：

mo源罐裝鋼瓶的自動清洗裝置，其特征在于：包含超聲波前清洗槽、超聲波后清洗槽、第一泵以及第二泵，堿液池、酸液池、自來水管網(wǎng)和超純水管網(wǎng)的出口分別通過管路與超聲波前清洗槽相連通，其每一連接管路上設(shè)有閥門，于超聲波前清洗槽與超聲波后清洗槽之間連接mo源罐裝鋼瓶，mo源罐裝鋼瓶的插底管通過軟管經(jīng)閥門與超聲波前清洗槽相連通，mo源罐裝鋼瓶的氣管通過軟管經(jīng)閥門與超聲波后清洗槽相連通，中和池通過管路經(jīng)閥門與超聲波后清洗槽相連通，第一泵的進(jìn)口通過管路經(jīng)閥門與超聲波后清洗槽相連通，第一泵的出口分別通過管路與堿液池、酸液池相連通，其每一連接支路上設(shè)有閥門，第二泵的進(jìn)口通過管路經(jīng)閥門與超聲波前清洗槽相連通，第二泵的出口分別通過管路與堿液池、酸液池、中和池相連通，其每一連接支路上設(shè)有閥門。

進(jìn)一步地，上述的mo源罐裝鋼瓶的自動清洗裝置，其中，所述超聲波前清洗槽與超聲波后清洗槽之間并聯(lián)有多只mo源罐裝鋼瓶。

進(jìn)一步地，上述的mo源罐裝鋼瓶的自動清洗裝置，其中，所述軟管為1/4vcr編織軟管。

進(jìn)一步地，上述的mo源罐裝鋼瓶的自動清洗裝置，其中，所述第一泵和第二泵為耐酸堿液體循環(huán)泵。

進(jìn)一步地，上述的mo源罐裝鋼瓶的自動清洗裝置，其中，所述閥門均為氣動閥。

進(jìn)一步地，上述的mo源罐裝鋼瓶的自動清洗裝置，其中，所述第一泵與堿液池、酸液池之間的連接管路采用ptfe管。

進(jìn)一步地，上述的mo源罐裝鋼瓶的自動清洗裝置，其中，所述第二泵與堿液池、酸液池之間的連接管路采用ptfe管。

本發(fā)明mo源罐裝鋼瓶的自動清洗方法，首先進(jìn)行堿超聲清洗，打開堿液池與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門、mo源罐裝鋼瓶與超聲波前清洗槽和超聲波后清洗槽之間管路上的閥門、第一泵的進(jìn)口與超聲波后清洗槽之間管路上的閥門、第一泵的出口與堿液池之間管路上的閥門，開啟第一泵，堿液自動分流到mo源罐裝鋼瓶中，流出的堿液經(jīng)第一泵回流到堿液池中，堿液在鋼瓶中不停循環(huán)，進(jìn)行超聲清洗，然后關(guān)閉第一泵，關(guān)閉堿液池與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門、mo源罐裝鋼瓶與超聲波前清洗槽和超聲波后清洗槽之間管路上的閥門、第一泵的進(jìn)口與超聲波后清洗槽之間管路上的閥門、第一泵的出口與堿液池之間管路上的閥門；此過程中酸液池與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門、第一泵的出口與酸液池之間管路上的閥門處于關(guān)閉狀態(tài)；

回收mo源罐裝鋼瓶中堿液，打開超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門、第二泵的進(jìn)口與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門、第二泵的出口與堿液池之間管路上的閥門，第二泵啟動，mo源罐裝鋼瓶中的堿液被泵抽回到堿液池中，關(guān)閉第二泵，關(guān)閉超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門、第二泵的進(jìn)口與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門、第二泵的出口與堿液池之間管路上的閥門；

mo源罐裝鋼瓶中殘留少量堿液，采用自來水沖洗，開啟mo源罐裝鋼瓶與超聲波前清洗槽和超聲波后清洗槽之間管路上的閥門、超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門，再開啟自來水管網(wǎng)與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門，自來水沖洗mo源罐裝鋼瓶，廢水自動流入中和池，沖洗后，依次關(guān)閉自來水管網(wǎng)與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門、mo源罐裝鋼瓶與超聲波前清洗槽和超聲波后清洗槽之間管路上的閥門、超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門；

自來水沖洗后將自來水泵出，打開超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門、第二泵的進(jìn)口與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門、第二泵的出口與中和池之間管路上的閥門，第二泵啟動，mo源罐裝鋼瓶中的自來水被泵抽回到中和池中，關(guān)閉第二泵，關(guān)閉超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門、第二泵的進(jìn)口與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門、第二泵的出口與中和池之間管路上的閥門；

然后進(jìn)行酸超聲清洗，打開酸液池與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門、mo源罐裝鋼瓶與超聲波前清洗槽和超聲波后清洗槽之間管路上的閥門、第一泵的進(jìn)口與超聲波后清洗槽之間管路上的閥門、第一泵的出口與酸液池之間管路上的閥門，開啟第一泵，酸液自動分流到mo源罐裝鋼瓶中，流出的酸液經(jīng)第一泵回流到酸液池中，酸液在鋼瓶中不停循環(huán)，進(jìn)行超聲清洗，然后關(guān)閉第一泵，關(guān)閉酸液池與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門、mo源罐裝鋼瓶與超聲波前清洗槽和超聲波后清洗槽之間管路上的閥門、第一泵的進(jìn)口與超聲波后清洗槽之間管路上的閥門、第一泵的出口與酸液池之間管路上的閥門；此過程中堿液池與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門、第一泵的出口與堿液池之間管路上的閥門處于關(guān)閉狀態(tài)；

回收mo源罐裝鋼瓶中酸液，打開超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門、第二泵的進(jìn)口與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門、第二泵的出口與酸液池之間管路上的閥門，第二泵啟動，mo源罐裝鋼瓶中的酸液被泵抽回到酸液池中，關(guān)閉第二泵，關(guān)閉超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門、第二泵的進(jìn)口與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門、第二泵的出口與酸液池之間管路上的閥門；

mo源罐裝鋼瓶中殘留少量酸液，采用自來水沖洗，開啟mo源罐裝鋼瓶與超聲波前清洗槽和超聲波后清洗槽之間管路上的閥門、超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門，再開啟自來水管網(wǎng)與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門，自來水沖洗mo源罐裝鋼瓶，廢水自動流入中和池，沖洗后，依次關(guān)閉自來水管網(wǎng)與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門、mo源罐裝鋼瓶與超聲波前清洗槽和超聲波后清洗槽之間管路上的閥門、超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門；

自來水沖洗后將自來水泵出，打開超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門、第二泵的進(jìn)口與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門、第二泵的出口與中和池之間管路上的閥門，第二泵啟動，mo源罐裝鋼瓶中的自來水被泵抽回到中和池中，關(guān)閉第二泵，關(guān)閉超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門、第二泵的進(jìn)口與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門、第二泵的出口與中和池之間管路上的閥門；清空mo源罐裝鋼瓶內(nèi)部的液體；

最后進(jìn)行超純水超聲清洗，開啟mo源罐裝鋼瓶與超聲波前清洗槽和超聲波后清洗槽之間管路上的閥門、超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門，再開啟超純水管網(wǎng)與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門，超純水沖洗mo源罐裝鋼瓶，廢水自動流入中和池，沖洗后，依次關(guān)閉超純水管網(wǎng)與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門、mo源罐裝鋼瓶與超聲波前清洗槽和超聲波后清洗槽之間管路上的閥門、超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門；此過程中自來水管網(wǎng)與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門處于關(guān)閉狀態(tài)；

超純水沖洗后將超純水泵出，打開超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門、第二泵的進(jìn)口與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門、第二泵的出口與中和池之間管路上的閥門，第二泵啟動，mo源罐裝鋼瓶中的超純水被泵抽回到中和池中，關(guān)閉第二泵，關(guān)閉超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門、第二泵的進(jìn)口與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門、第二泵的出口與中和池之間管路上的閥門；清空mo源罐裝鋼瓶內(nèi)部的液體。

再進(jìn)一步地，上述的mo源罐裝鋼瓶的自動清洗方法，堿液池中裝有10％氫氧化鈉與2％洗潔精混合水溶液，酸液池中裝有10％硝酸溶液。

再進(jìn)一步地，上述的mo源罐裝鋼瓶的自動清洗方法，超純水管網(wǎng)提供18mω超純水。

再進(jìn)一步地，上述的mo源罐裝鋼瓶的自動清洗方法，超聲波后清洗槽與中和池連接的管路連接于中和池的上端，保持與大氣連通。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有顯著的優(yōu)點和有益效果，具體體現(xiàn)在以下方面：

①利用該自動清洗裝置，連接mo源罐裝鋼瓶的氣管和插底管，可以對已進(jìn)行安全處理的鋼瓶進(jìn)行堿超聲沖洗、酸超聲沖洗、自來水超聲沖洗和高純水超聲沖洗。堿超聲沖洗可以去除有機物和油狀憎水性物質(zhì)；酸超聲沖洗可以去除mo源安全處理后殘留的氧化物；自來水沖洗可以去除殘留的酸、堿物質(zhì)；高純水超聲可以使鋼瓶達(dá)到罐裝要求。使用該裝置可以代替人工清洗，制程簡單，可以標(biāo)準(zhǔn)化，降低企業(yè)的清洗成本；

②mo源罐裝鋼瓶經(jīng)過堿超聲洗、酸超聲洗、自來水沖洗和高純水沖洗后，清洗非常干凈，無金屬雜質(zhì)和有機物殘留，較好滿足mo源罐裝的要求；

③可用于半導(dǎo)體工業(yè)中，mocvd配套使用的mo源鋼瓶的清洗工作，工藝和設(shè)備簡潔合理，省去了大量人力，可操控性強；該裝置的尺寸可根據(jù)現(xiàn)場要求定制，功能的增減需求可根據(jù)使用單位實際情況而定。

附圖說明

圖1：本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

為了對本發(fā)明的技術(shù)特征、目的和效果有更加清楚的理解，現(xiàn)對照附圖詳細(xì)說明具體實施方案。

如圖1所示，mo源罐裝鋼瓶的自動清洗裝置，包含超聲波前清洗槽108、超聲波后清洗槽109、第一泵106以及第二泵107，堿液池101、酸液池102、自來水管網(wǎng)103和超純水管網(wǎng)104的出口分別通過管路與超聲波前清洗槽108相連通，其每一連接管路上設(shè)有閥門(即閥門1、閥門2、閥門3、閥門4)，于超聲波前清洗槽108與超聲波后清洗槽109之間并列連接多只mo源罐裝鋼瓶，mo源罐裝鋼瓶的插底管分別通過軟管經(jīng)對應(yīng)閥門(閥門5、閥門6、閥門7、閥門8、閥門9)與超聲波前清洗槽108相連通，mo源罐裝鋼瓶的氣管分別通過軟管經(jīng)對應(yīng)閥門(閥門10、閥門11、閥門12、閥門13、閥門14)與超聲波后清洗槽109相連通，中和池105通過管路經(jīng)閥門16與超聲波后清洗槽109相連通，閥門16和中和池的連接點位于中和池的上端，時刻保持和大氣連通；第一泵106的進(jìn)口通過管路經(jīng)閥門15與超聲波后清洗槽109相連通，第一泵106的出口分別通過管路與堿液池、酸液池相連通，其堿液連接支路上設(shè)有閥門17，其酸液連接支路上設(shè)有閥門18，第二泵107的進(jìn)口通過管路經(jīng)閥門19與超聲波前清洗槽108相連通，第二泵107的出口分別通過管路與堿液池101、酸液池102、中和池105相連通，其堿液池連接支路上設(shè)有閥門21，其酸液池連接支路上設(shè)有閥門20，中和池連接支路上設(shè)有閥門22。

其中，軟管均采用1/4vcr編織軟管。第一泵106和第二泵107均采用耐酸堿液體循環(huán)泵。所有閥門均采用氣動閥。第一泵106與堿液池101、酸液池102之間的連接管路采用ptfe管。第二泵107與堿液池101、酸液池102之間的連接管路采用ptfe管。

上述裝置對mo源罐裝鋼瓶進(jìn)行自動清洗時，首先進(jìn)行堿超聲清洗，打開堿液池與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門1、mo源罐裝鋼瓶與超聲波前清洗槽和超聲波后清洗槽之間管路上的閥門(閥門5、閥門6、閥門7、閥門8、閥門9、閥門10、閥門11、閥門12、閥門13、閥門14)、第一泵的進(jìn)口與超聲波后清洗槽之間管路上的閥門15、第一泵的出口與堿液池之間管路上的閥門17，開啟第一泵106，堿液自動分流到mo源罐裝鋼瓶中，流出的堿液經(jīng)第一泵106回流到堿液池101中，堿液在鋼瓶中不停循環(huán)，進(jìn)行超聲清洗，然后關(guān)閉第一泵106，關(guān)閉堿液池與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門1、mo源罐裝鋼瓶與超聲波前清洗槽和超聲波后清洗槽之間管路上的閥門(閥門5、閥門6、閥門7、閥門8、閥門9、閥門10、閥門11、閥門12、閥門13、閥門14)、第一泵的進(jìn)口與超聲波后清洗槽之間管路上的閥門15、第一泵的出口與堿液池之間管路上的閥門17；此過程中酸液池與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門2、第一泵的出口與酸液池之間管路上的閥門18處于關(guān)閉狀態(tài)；

回收mo源罐裝鋼瓶中堿液，打開超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門16、第二泵的進(jìn)口與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門19、第二泵的出口與堿液池之間管路上的閥門21，第二泵107啟動，采用一對一的方式單獨對每個鋼瓶逐步泵液，mo源罐裝鋼瓶中的堿液被泵抽回到堿液池中，關(guān)閉第二泵107，關(guān)閉超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門16、第二泵的進(jìn)口與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門19、第二泵的出口與堿液池之間管路上的閥門21；

mo源罐裝鋼瓶中殘留少量堿液，采用自來水沖洗，開啟mo源罐裝鋼瓶與超聲波前清洗槽和超聲波后清洗槽之間管路上的閥門(閥門5、閥門6、閥門7、閥門8、閥門9、閥門10、閥門11、閥門12、閥門13、閥門14)、超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門16，再開啟自來水管網(wǎng)與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門3，自來水沖洗mo源罐裝鋼瓶，廢水自動流入中和池，沖洗后，依次關(guān)閉自來水管網(wǎng)與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門3、mo源罐裝鋼瓶與超聲波前清洗槽和超聲波后清洗槽之間管路上的閥門(閥門5、閥門6、閥門7、閥門8、閥門9、閥門10、閥門11、閥門12、閥門13、閥門14)、超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門16；

自來水沖洗后將自來水泵出，打開超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門16、第二泵的進(jìn)口與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門19、第二泵的出口與中和池22之間管路上的閥門，第二泵107啟動，采用一對一的方式單獨對每個鋼瓶逐步泵液，mo源罐裝鋼瓶中的自來水被泵抽回到中和池中，關(guān)閉第二泵107，關(guān)閉超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門16、第二泵的進(jìn)口與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門19、第二泵的出口與中和池之間管路上的閥門22；

然后進(jìn)行酸超聲清洗，打開酸液池與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門2、mo源罐裝鋼瓶與超聲波前清洗槽和超聲波后清洗槽之間管路上的閥門(閥門5、閥門6、閥門7、閥門8、閥門9、閥門10、閥門11、閥門12、閥門13、閥門14)、第一泵的進(jìn)口與超聲波后清洗槽之間管路上的閥門15、第一泵的出口與酸液池之間管路上的閥門18，開啟第一泵106，酸液自動分流到mo源罐裝鋼瓶中，流出的酸液經(jīng)第一泵回流到酸液池中，酸液在鋼瓶中不停循環(huán)，進(jìn)行超聲清洗，然后關(guān)閉第一泵106，關(guān)閉酸液池與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門2、mo源罐裝鋼瓶與超聲波前清洗槽和超聲波后清洗槽之間管路上的閥門(閥門5、閥門6、閥門7、閥門8、閥門9、閥門10、閥門11、閥門12、閥門13、閥門14)、第一泵的進(jìn)口與超聲波后清洗槽之間管路上的閥門15、第一泵的出口與酸液池之間管路上的閥門18；此過程中堿液池與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門1、第一泵的出口與堿液池之間管路上的閥門17處于關(guān)閉狀態(tài)；

回收mo源罐裝鋼瓶中酸液，打開超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門16、第二泵的進(jìn)口與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門19、第二泵的出口與酸液池之間管路上的閥門20，第二泵107啟動，采用一對一的方式單獨對每個鋼瓶逐步泵液，mo源罐裝鋼瓶中的酸液被泵抽回到酸液池中，關(guān)閉第二泵，關(guān)閉超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門16、第二泵的進(jìn)口與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門19、第二泵的出口與酸液池之間管路上的閥門20；

mo源罐裝鋼瓶中殘留少量酸液，采用自來水沖洗，開啟mo源罐裝鋼瓶與超聲波前清洗槽和超聲波后清洗槽之間管路上的閥門(閥門5、閥門6、閥門7、閥門8、閥門9、閥門10、閥門11、閥門12、閥門13、閥門14)、超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門16，再開啟自來水管網(wǎng)與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門3，自來水沖洗mo源罐裝鋼瓶，廢水自動流入中和池，沖洗后，依次關(guān)閉自來水管網(wǎng)與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門3、mo源罐裝鋼瓶與超聲波前清洗槽和超聲波后清洗槽之間管路上的閥門(閥門5、閥門6、閥門7、閥門8、閥門9、閥門10、閥門11、閥門12、閥門13、閥門14)、超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門16；

自來水沖洗后將自來水泵出，打開超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門16、第二泵的進(jìn)口與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門19、第二泵的出口與中和池之間管路上的閥門22，第二泵107啟動，采用一對一的方式單獨對每個鋼瓶逐步泵液，mo源罐裝鋼瓶中的自來水被泵抽回到中和池中，關(guān)閉第二泵，關(guān)閉超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門16、第二泵的進(jìn)口與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門19、第二泵的出口與中和池之間管路上的閥門22；清空mo源罐裝鋼瓶內(nèi)部的液體；

最后進(jìn)行超純水超聲清洗，開啟mo源罐裝鋼瓶與超聲波前清洗槽和超聲波后清洗槽之間管路上的閥門(閥門5、閥門6、閥門7、閥門8、閥門9、閥門10、閥門11、閥門12、閥門13、閥門14)、超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門16，再開啟超純水管網(wǎng)與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門4，超純水沖洗mo源罐裝鋼瓶，廢水自動流入中和池，沖洗后，依次關(guān)閉超純水管網(wǎng)與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門4、mo源罐裝鋼瓶與超聲波前清洗槽和超聲波后清洗槽之間管路上的閥門(閥門5、閥門6、閥門7、閥門8、閥門9、閥門10、閥門11、閥門12、閥門13、閥門14)、超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門16；此過程中自來水管網(wǎng)與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門3處于關(guān)閉狀態(tài)；

超純水沖洗后將超純水泵出，打開超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門16、第二泵的進(jìn)口與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門19、第二泵的出口與中和池之間管路上的閥門22，第二泵107啟動，采用“一對一”的方式單獨對每個鋼瓶逐步泵液，mo源罐裝鋼瓶中的超純水被泵抽回到中和池中，關(guān)閉第二泵，關(guān)閉超聲波后清洗槽與中和池之間管路上的閥門16、第二泵的進(jìn)口與超聲波前清洗槽之間管路上的閥門19、第二泵的出口與中和池之間管路上的閥門22；清空mo源罐裝鋼瓶內(nèi)部的液體。

手動關(guān)閉鋼瓶上的閥門，拆下鋼瓶，送檢查看是否洗凈。

中和池中的廢液作無害化處理。

其中，堿液池中裝有10％氫氧化鈉與2％洗潔精混合水溶液，酸液池中裝有10％硝酸溶液。超純水管網(wǎng)提供18mω超純水。后清洗槽與中和池連接的管路連接于中和池的上端，時刻保持和大氣連通。

通過實踐檢驗，mo源罐裝鋼瓶經(jīng)過堿超聲洗、酸超聲洗、自來水沖洗和高純水沖洗后，清洗非常干凈，無金屬雜質(zhì)和有機物殘留，滿足mo源罐裝的要求。

綜上所述，利用該自動清洗裝置，連接mo源罐裝鋼瓶的氣管和插底管，可以對已進(jìn)行安全處理的鋼瓶進(jìn)行堿超聲沖洗、酸超聲沖洗、自來水超聲沖洗和高純水超聲沖洗。堿超聲沖洗可以去除有機物和油狀憎水性物質(zhì)；酸超聲沖洗可以去除mo源安全處理后殘留的氧化物；自來水沖洗可以去除殘留的酸、堿物質(zhì)；高純水超聲可以使鋼瓶達(dá)到罐裝要求。使用該裝置可以代替人工清洗，制程簡單，可以標(biāo)準(zhǔn)化，降低企業(yè)的清洗成本。

可用于半導(dǎo)體工業(yè)中，mocvd配套使用的mo源鋼瓶的清洗工作，工藝和設(shè)備簡潔合理，省去了大量人力，可操控性強。該裝置的尺寸可根據(jù)現(xiàn)場要求定制，功能的增減需求可根據(jù)使用單位實際情況而定。

需要說明的是：以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，并非用以限定本發(fā)明的權(quán)利范圍；同時以上的描述，對于相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的專門人士應(yīng)可明了及實施，因此其它未脫離本發(fā)明所揭示的精神下所完成的等效改變或修飾，均應(yīng)包含在申請專利范圍中。