芯片生產(chǎn)線的廢水處理系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及廢水處理的技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種芯片生產(chǎn)線的廢水處理系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造技術(shù)中，通過(guò)一系列的光刻、刻蝕、沉積、離子注入、研磨、清洗等工藝形成具有各種功能的半導(dǎo)體芯片，然后將所述半導(dǎo)體芯片進(jìn)行封裝和電性測(cè)試，并最終形成終端產(chǎn)品。目前，在半導(dǎo)體芯片的制造過(guò)程中，會(huì)產(chǎn)生大量的工業(yè)廢水。
[0003]在現(xiàn)有的廢水處理過(guò)程中，通常單獨(dú)使用序列間歇式活性污泥法(SBR)或生物接觸氧化法或曝氣生物濾池(BAF)，均只能對(duì)廢水進(jìn)行單一的處理，例如為過(guò)濾或微生物反應(yīng)或去除毒性等，由于處理方式過(guò)于單一，這常常導(dǎo)致過(guò)濾物質(zhì)很快堵塞的問(wèn)題。因此，廢水處理仍有改善的空間。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種芯片生產(chǎn)線的廢水處理系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的處理方式過(guò)于單一，這常常導(dǎo)致過(guò)濾物質(zhì)很快堵塞的問(wèn)題。
[0005]為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種芯片生產(chǎn)線的廢水處理系統(tǒng)，包括廢水接收管道、廢水處理池及凈水輸出管道，其中，所述廢水接收管道接收來(lái)自芯片生產(chǎn)線的廢水，所述廢水中包含納米級(jí)懸浮顆粒物，所述廢水處理池連接所述廢水處理池，所述廢水處理池具有懸浮物污泥物質(zhì)以及過(guò)濾膜，以吸附廢水中的納米級(jí)顆粒物，形成微米級(jí)以上的懸浮顆粒物以及去除廢水中的懸浮顆粒物，所述凈水輸出管道連接所述廢水處理池，以輸出所述過(guò)濾膜過(guò)濾后的凈水。
[0006]其中，所述廢水處理系統(tǒng)還包括:所述廢水處理池進(jìn)一步包括檢測(cè)器及排放裝置，其中，所述檢測(cè)器設(shè)于所述廢水處理池中，以檢測(cè)所述懸浮物污泥物質(zhì)的濃度，所述排放裝置連接所述檢測(cè)器與廢水處理池，以排放超過(guò)預(yù)設(shè)濃度的懸浮物污泥物質(zhì)。
[0007]其中，所述過(guò)濾膜包括膜生物反應(yīng)器。
[0008]其中，所述膜生物反應(yīng)器包括中空纖維膜。
[0009]其中，所述廢水接收管道中包括PH值調(diào)節(jié)物質(zhì)和過(guò)濾器，其中所述PH值調(diào)節(jié)物質(zhì)與廢水混合，所述過(guò)濾器與所述廢水處理池連接，且濾除廢水中的顆粒物體。
[0010]其中，所述過(guò)濾器的目數(shù)為60-100目。
[0011]其中，所述PH值調(diào)節(jié)物質(zhì)包括堿性物質(zhì)。
[0012]其中，所述堿性物質(zhì)包括氫氧化鈉。
[0013]其中，所述凈水輸出管道中包括細(xì)菌抑制劑，抑制凈水中的細(xì)菌滋生。
[0014]其中，所述細(xì)菌抑制劑包括次氯酸鈉。
[0015]根據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)方案，通過(guò)對(duì)所述廢水進(jìn)行膜生物反應(yīng)器處理，并于膜生物反應(yīng)器處理前，加入懸浮物污泥物質(zhì)。如此一來(lái)，可達(dá)到水資源的回收再利用的效果，并可避免膜生物反應(yīng)器堵塞的情況發(fā)生。
【附圖說(shuō)明】
[0016]此處所說(shuō)明的附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0017]圖1是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的芯片生產(chǎn)線的廢水處理方法的流程圖；
[0018]圖2是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的芯片生產(chǎn)線的廢水處理方法的流程圖；
[0019]圖3是根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的芯片生產(chǎn)線的廢水處理方法的流程圖；
[0020]圖4是根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的芯片生產(chǎn)線的廢水處理系統(tǒng)的示意圖；
[0021]圖5是根據(jù)本發(fā)明第五實(shí)施例的芯片生產(chǎn)線的廢水處理系統(tǒng)的示意圖；
[0022]圖6是根據(jù)本發(fā)明第六實(shí)施例的芯片生產(chǎn)線的廢水處理系統(tǒng)的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]本實(shí)用新型的主要思想在于，基于通過(guò)對(duì)所述廢水進(jìn)行膜生物反應(yīng)器處理，并于膜生物反應(yīng)器處理前，加入懸浮物污泥物質(zhì)。如此一來(lái)，可達(dá)到水資源的回收再利用的效果，并可避免膜生物反應(yīng)器堵塞的情況發(fā)生。
[0024]為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，以下結(jié)合附圖及具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步地詳細(xì)說(shuō)明。
[0025]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，提供了一種芯片生產(chǎn)線的廢水處理方法。
[0026]圖1是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的芯片生產(chǎn)線的廢水處理方法的流程圖。
[0027]在步驟S102中，接收來(lái)自于芯片生產(chǎn)線的廢水，所述廢水中包含納米級(jí)懸浮顆粒物。所述納米級(jí)懸浮顆粒物例如為二氧化硅、硅粉、金屬物質(zhì)等。
[0028]在步驟S104中，在廢水中加入懸浮物污泥物質(zhì)，以吸附廢水中的納米級(jí)顆粒物，形成微米級(jí)以上的懸浮顆粒物。由于芯片生產(chǎn)線所排出的廢水的懸浮顆粒物(SS)會(huì)含有非常細(xì)小的顆粒和金屬離子(例如SS〈30)，若是直接對(duì)所述廢水進(jìn)行膜生物反應(yīng)器(MBR)處理，會(huì)使得膜生物反應(yīng)器容易堵塞。因此，通過(guò)添加懸浮物污泥物質(zhì)，可以讓大顆粒的懸浮物污泥物質(zhì)吸附廢水中的細(xì)小顆粒的懸浮顆粒物，使得膜生物反應(yīng)器不會(huì)堵塞。其中，懸浮物污泥物質(zhì)的濃度例如為500-1200PPM。較佳地，懸浮物污泥物質(zhì)的濃度可為800-1000PPM，以增進(jìn)懸浮物污泥物質(zhì)吸附廢水中的細(xì)小顆粒的懸浮物的效果。并且，懸浮物污泥物質(zhì)可為污水活性污泥。
[0029]在步驟S106中，對(duì)所述廢水進(jìn)行膜生物反應(yīng)器處理，以去除廢水中懸浮顆粒物。也就是說(shuō)，對(duì)廢水中的活性污泥和大分子物質(zhì)進(jìn)行截留的處理以有效去除廢水中的化學(xué)需氧量(COD)以及懸浮物(SS)等。其中，膜生物反應(yīng)器處理可包括中空纖維膜，且中空纖維膜的材料可為聚偏氟乙烯(PVDF)、聚乙烯(PE)或其復(fù)合材料。
[0030]芯片生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量的納米級(jí)非常細(xì)微的懸浮顆粒物，例如二氧化硅、硅粉、金屬物質(zhì)等，這些納米級(jí)的懸浮顆粒物質(zhì)會(huì)全部進(jìn)入廢水中。由于這種含有大量納米級(jí)的懸浮顆粒物的廢水，若僅使用膜生物反應(yīng)器(MBR)對(duì)廢水進(jìn)行處理，納米級(jí)的微小懸浮顆粒物極容易堵塞中空纖維膜的孔徑和透過(guò)中空纖維膜，會(huì)影響產(chǎn)水水質(zhì)，且一些納米級(jí)的微小顆粒會(huì)堵塞在中空纖維膜的內(nèi)部產(chǎn)水側(cè)，從而使中空纖維膜徹底堵死，不能化學(xué)清洗再生利用，導(dǎo)致中空纖維膜報(bào)廢。因此，本實(shí)施例采用在膜生物反應(yīng)器處理前添加懸浮物污泥物質(zhì)，以吸附前述納米級(jí)的微小懸浮顆粒物以長(zhǎng)大成微米級(jí)以上，從而讓這些微米級(jí)以上的懸浮顆粒物不能進(jìn)入中空纖維膜的孔徑和內(nèi)部，只停留在中空纖維膜的表面，而不會(huì)透過(guò)中空纖維膜。然后，可進(jìn)一步通過(guò)對(duì)膜生物反應(yīng)器表面(即中空纖維膜的表面)進(jìn)行空氣沖刷，使前述微米級(jí)以上的懸浮顆粒物沉淀在膜生物反應(yīng)器處理的膜池底部，這樣保證了產(chǎn)水水質(zhì)，且同時(shí)有效的解決中空纖維膜堵塞問(wèn)題，從而保護(hù)好中空纖維膜。
[0031]圖2是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的芯片生產(chǎn)線的廢水處理方法的流程圖。
[0032]在步驟S202中，接收來(lái)自于芯片生產(chǎn)線的廢水，所述廢水中包含納米級(jí)懸浮顆粒物。在步驟S204中，在廢水中加入懸浮物污泥物質(zhì)，以吸附廢水中的納米級(jí)顆粒物，形成微米級(jí)以上的懸浮顆粒物。在步驟S206中，對(duì)所述廢水進(jìn)行膜生物反應(yīng)器處理，以去除廢水中的懸浮顆粒物。其中，圖2的步驟S202、S204、S210與圖1的步驟S102、S104、S106相同或相似，可參考圖1的實(shí)施例的說(shuō)明，故在此不再贅述。
[0033]在步驟S206中，檢測(cè)所述懸浮物污泥物質(zhì)的濃度。由于懸浮物污泥物質(zhì)的加入可能是大量且持續(xù)性的，并且若是懸浮物污泥物質(zhì)的濃度過(guò)高，可能會(huì)影響懸浮物污泥物質(zhì)吸附小顆粒的懸浮顆粒物的效果，因此進(jìn)一步檢測(cè)懸浮物污泥物質(zhì)的濃度是否超過(guò)預(yù)設(shè)濃度。其中，由于懸浮物污泥物質(zhì)的濃度較佳為800-1000PPM，因此所述預(yù)設(shè)濃度可設(shè)定為ΙΟΟΟΡΡΜο
[0034]在步驟S208中，若檢測(cè)懸浮物污泥物質(zhì)的濃度超過(guò)預(yù)設(shè)濃度，則對(duì)懸浮物污泥物質(zhì)進(jìn)行排放。也就是說(shuō)，通過(guò)排放懸浮物污泥物質(zhì)，以降低懸浮物污泥物質(zhì)的濃度。并且，在排放過(guò)程中，仍會(huì)持續(xù)檢測(cè)懸浮物污泥物質(zhì)的濃度，若是檢測(cè)懸浮物污泥物質(zhì)的濃度沒(méi)有超過(guò)預(yù)設(shè)濃度，則停止對(duì)懸浮物污泥物質(zhì)進(jìn)行排放。如此一來(lái)，使得懸浮物污泥物質(zhì)的濃度可始終保持在500-1200PPM之間，且較佳為800-1000PPM。
[0035]圖3是根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的芯片生產(chǎn)線的廢水處理方法的流程圖。在本實(shí)施例中，步驟S302、S308、S310與圖1的步驟S102、S104、S106、相同或相似，可參考圖1的實(shí)施例的說(shuō)明，故在此不再贅述。
[0036]在步驟S302中，接收來(lái)自于芯片生產(chǎn)線的廢水，所述廢水中包含納米級(jí)懸浮顆粒物。
[0037]在步驟S304中，在廢水中加入PH值調(diào)節(jié)物質(zhì)，以使得所述廢水的PH值呈弱酸性、中性或弱堿性。也就是說(shuō)，通過(guò)在廢水中加入PH值調(diào)節(jié)物質(zhì)，并進(jìn)行充分的混合后，使得廢水的PH值為中性或接近中性，可利于微生物或細(xì)菌的生長(zhǎng)。由于芯片生產(chǎn)線所排放的廢水呈酸性，因此所述PH值調(diào)節(jié)物質(zhì)可包括堿性物質(zhì)，例如氫氧化鈉(NaOH)，使廢水的PH值調(diào)整至6.5-8.5之間。
[0038]在步驟S306中，對(duì)所述廢水進(jìn)行過(guò)濾，以濾除廢水中的顆粒物體。也就是說(shuō)，可采用過(guò)濾器對(duì)前述加入PH調(diào)節(jié)物質(zhì)的廢水進(jìn)行過(guò)濾，且此過(guò)濾器的目數(shù)可為60-100目，用于將廢水中的大顆粒物體濾除，例如尖銳物、毛發(fā)、碎肩等，以避免大顆粒物體進(jìn)入后續(xù)的處理。
[0039]在步驟S308中，在廢水中加入懸浮物污泥物質(zhì)，以吸附廢水中的納米級(jí)顆粒物，形成微米級(jí)以上的懸浮顆粒物。在步驟S31