一種真空清掃系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及清掃系統(tǒng)設(shè)計(jì)的技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于半導(dǎo)體及LED液晶面板及光能元件生產(chǎn)的過(guò)程中的生產(chǎn)車間衛(wèi)生清潔的真空清掃系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的大型半導(dǎo)體及LED液晶面板及光能元件生產(chǎn)制造型工廠，生產(chǎn)芯片及元件，對(duì)生產(chǎn)的周圍環(huán)境要求非常嚴(yán)格，灰塵等級(jí)要求有I萬(wàn)級(jí)、I千級(jí)、I百級(jí)，甚至有的生產(chǎn)企業(yè)要求10級(jí)。每天必須通過(guò)清潔人員對(duì)周圍環(huán)境用無(wú)塵布或吸塵器進(jìn)行清潔。人員使用量較大，導(dǎo)致進(jìn)入無(wú)塵室次數(shù)增加，并且在清潔時(shí)因拖著清潔機(jī)器到處清理，無(wú)形當(dāng)中會(huì)影響工作人員的操作。因無(wú)塵室面積較大，清理使用的一些器具無(wú)法在短時(shí)間內(nèi)處理，甚至可能采生二次污染。
[0003]原有的清潔方式完全靠人力或簡(jiǎn)單的器具對(duì)環(huán)境衛(wèi)生進(jìn)行清潔，人力消耗大，使用清潔器具時(shí)有可能對(duì)生產(chǎn)操作有一定的影響，并且可能帶來(lái)二次污染，也無(wú)法使整個(gè)無(wú)塵車間得到完全的清理，并且無(wú)法滿足在清理時(shí)將清理物分成多個(gè)類型，多次處理的需要。
[0004]本次申請(qǐng)前對(duì)清掃系統(tǒng)進(jìn)行了檢索，發(fā)現(xiàn)了相關(guān)在先專利申請(qǐng):申請(qǐng)?zhí)枮?01210502029.0，專利名稱為一種真空清掃吸塵裝置，包括袋式除塵器、旋風(fēng)分離器、真空管道，所述的旋風(fēng)分離器焊接在袋式除塵器上，所述的旋風(fēng)分離器通過(guò)真空管道與袋式除塵器的進(jìn)風(fēng)口相連。其中，還包括羅茨真空泵，所述的羅茨真空泵的進(jìn)風(fēng)口通過(guò)真空管道與袋式除塵器的出風(fēng)口相連通，所述的羅茨真空泵的出風(fēng)口安裝有消聲器，所述的消聲器上端安裝出風(fēng)帽。
[0005]申請(qǐng)?zhí)枮?00710012143.4，專利名稱為碳素連續(xù)、集中清掃系統(tǒng)。該專利公開(kāi)了一種碳素連續(xù)、集中清掃系統(tǒng)，其結(jié)構(gòu)為:吸塵系統(tǒng)與灰塵輸送管路連接，灰塵輸送管路與收塵器連接，收塵器與儲(chǔ)灰槽連接，收塵器與動(dòng)力系統(tǒng)連接；它包括設(shè)置在各層樓面的多個(gè)吸塵罩、每隔吸塵罩經(jīng)吸塵軟管和管路與各自樓層的吸塵輸送管連接，在吸塵軟管和各自樓層的吸塵輸送管之間的管路上設(shè)有調(diào)節(jié)閥，收塵器是由與灰塵輸送管路連接的旋風(fēng)收藏起和旋風(fēng)收塵器通過(guò)管路連接的布袋收塵器構(gòu)成。
[0006]通過(guò)上述檢索發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有的清掃方式大多依靠人工清潔或利用家用型吸塵器拖動(dòng)式進(jìn)行環(huán)境衛(wèi)生清潔，存在人工消耗量大，不好管理，效率低，無(wú)法短時(shí)間完成環(huán)境衛(wèi)生清理的缺陷和垃圾處理分類難度大、二次污染可能性高的缺陷。而同時(shí)也發(fā)現(xiàn)了在先專利申請(qǐng):所述真空清掃吸塵裝置和所述碳素連續(xù)、集中清掃系統(tǒng)，所述真空清掃吸塵裝置無(wú)法滿足大范圍清掃吸塵的需求，所述碳素連續(xù)、集中清掃系統(tǒng)雖然能夠連續(xù)集中進(jìn)行清掃吸塵，但是無(wú)法進(jìn)行自清潔，在現(xiàn)場(chǎng)清掃吸塵完成時(shí)，設(shè)備停止運(yùn)行，管道內(nèi)的余灰沒(méi)有及時(shí)吸出，容易造成積灰，影響設(shè)備的再次運(yùn)行和清掃效果。此外，現(xiàn)有的清掃系統(tǒng)的自動(dòng)化程度均較低，運(yùn)行穩(wěn)定性和便捷性較差，需要進(jìn)一步改進(jìn)。
[0007]因此，本申請(qǐng)人致力于開(kāi)發(fā)一種清掃效率高，自動(dòng)化程度均較高，運(yùn)行穩(wěn)定性和便捷性較好，且可以自動(dòng)清潔管道內(nèi)余灰的真空清掃系統(tǒng)。【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0008]本實(shí)用新型的目的，就是提出一種清掃效率高，自動(dòng)化程度均較高，運(yùn)行穩(wěn)定性和便捷性較好，且可以自動(dòng)清潔管道內(nèi)余灰的真空清掃系統(tǒng)。
[0009]本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問(wèn)題，提供了一種真空清掃系統(tǒng)，包括:用于產(chǎn)生負(fù)壓動(dòng)力的真空泵組，用于氣塵分離的分離器，用于控制整個(gè)系統(tǒng)自動(dòng)運(yùn)行的電氣控制柜，以及用于傳送負(fù)壓動(dòng)力和進(jìn)行真空清掃的吸塵管道系統(tǒng)。
[0010]所述真空泵組通過(guò)所述分離器與所述吸塵管道系統(tǒng)進(jìn)行連接，所述電氣控制柜控制連接所述真空泵組、所述分離器和所述吸塵管道系統(tǒng)。
[0011]所述吸塵管道系統(tǒng)包括一用于連接至所述分離器上的主管道和多根設(shè)置在車間各位置上的分支管道，每一所述分支管道的一端頭導(dǎo)通連接在所述主管道上，所述分支管道的另一端頭設(shè)置有一用于管道自清潔的管道吹掃閥，并在所述分支管道兩端頭之間的不同管段位置上設(shè)置有用于外接清掃吸塵工具的連接閥。
[0012]較佳的，所述管道吹掃閥為電磁閥，所述電氣控制柜控制連接每一所述管道吹掃閥。
[0013]較佳的，所述主管道上設(shè)置有用于調(diào)整真空及保護(hù)設(shè)備的呼吸閥，所述電氣控制柜控制連接所述呼吸閥。
[0014]較佳的，所述主管道上設(shè)置有用于監(jiān)測(cè)系統(tǒng)壓力的壓力變送器，所述電氣控制柜控制連所述壓力變送器。
[0015]較佳的，所述分離器包括殼體、樹(shù)脂濾芯和垃圾桶，所述樹(shù)脂濾芯設(shè)置在所述殼體內(nèi)，所述垃圾桶設(shè)置在所述殼體的下部，用于承接過(guò)濾出的固態(tài)垃圾，在所述殼體上還設(shè)置有一用于外接清洗設(shè)備對(duì)所述樹(shù)脂濾芯進(jìn)行清洗的噴洗閥。
[0016]較佳的，所述殼體上還設(shè)置有用于判斷所述樹(shù)脂濾芯堵塞的壓差表。
[0017]較佳的，所述噴洗閥為電磁閥，所述電氣控制柜分別控制連接所述噴洗閥和所述壓差表。
[0018]較佳的，所述真空泵組上設(shè)置有破壞閥。
[0019]綜上所述，本實(shí)用新型真空清掃系統(tǒng)具有如下有益效果:
[0020]1、本實(shí)用新型克服了原有完全依靠人工清潔或利家家用型吸塵器拖動(dòng)式進(jìn)行環(huán)境衛(wèi)生清潔的處理方法所存在的缺陷，有效的降低了人工消耗量，提高了工作效率，且沒(méi)有二次污染問(wèn)題，清掃過(guò)程也不影響其他工作人員的正常作業(yè)。
[0021]2、本實(shí)用新型克服了現(xiàn)有清掃系統(tǒng)無(wú)法自清潔的缺陷，實(shí)現(xiàn)了在現(xiàn)場(chǎng)清掃吸塵完成時(shí)，只需打開(kāi)相應(yīng)的管道吹掃閥，與外界大氣導(dǎo)通，即可利用負(fù)壓作用，將管道內(nèi)沒(méi)有及時(shí)吸出的余灰進(jìn)行徹底的清掃。
[0022]3、本實(shí)用新型的自動(dòng)化程度較高，穩(wěn)定性和安全性能較高，本實(shí)用新型通過(guò)利用電氣控制柜和各部件進(jìn)行控制連接，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的運(yùn)行情況，并進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)節(jié)，可以有效的根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)需求進(jìn)行調(diào)節(jié)，并有效的降低設(shè)備實(shí)際運(yùn)行功率。
[0023]4、本實(shí)用新型可自動(dòng)連續(xù)運(yùn)行，并有自我恢復(fù)能力，使用壽命較長(zhǎng)，且無(wú)需垃圾分類，可一次性處理。
[0024]5、本實(shí)用新型尤其適合應(yīng)用在半導(dǎo)體及光能元件生產(chǎn)制造型工廠的無(wú)塵車間中，可將分支管道鋪設(shè)在無(wú)塵車間各清潔位置上，清潔操作人員在相近的連接閥連接上清掃吸塵工具即可，而無(wú)需拖動(dòng)清潔機(jī)器或多次進(jìn)出無(wú)塵車間，也不會(huì)影響他人操作。
【附圖說(shuō)明】
[0025]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明:
[0026]圖1為具體實(shí)施例真空清掃系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0027]圖2為具體實(shí)施例分離器的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0028]附圖標(biāo)號(hào)說(shuō)明:
[0029]真空泵組100，破壞閥110，分離器200，殼體210，樹(shù)脂濾芯220，垃圾桶230，噴洗閥240，壓差表250，電氣控制柜300，吸塵管道系統(tǒng)400，主管道410，分支管道420，管道吹掃閥430，連接閥440，呼吸閥450，壓力變送器460。
【具體實(shí)施方式】
[0030]本實(shí)施例公開(kāi)了一種真空清掃系統(tǒng)，包括:用于產(chǎn)生負(fù)壓