一種過濾器預(yù)濕系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制程領(lǐng)域，特別是涉及一種過濾器預(yù)濕系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002] 在半導(dǎo)體制程中，通常包括多道工序，其中晶圓的布圖需要采用光阻，并對(duì)光阻進(jìn) 行受控的曝光。光阻是一種具有特定分子結(jié)構(gòu)的光敏物質(zhì)，它在入射光的作用下會(huì)發(fā)生變 化，是半導(dǎo)體制造工藝中非常重要的材料，大部分光阻為液體，在晶圓表面鋪光阻時(shí)需要將 光阻由一存儲(chǔ)器推送至噴嘴以進(jìn)行涂布，而且還需要通過一過濾器，去除光阻中的雜質(zhì)。過 濾器在使用前需要經(jīng)過預(yù)濕處理，以減少過濾器內(nèi)的氣泡，節(jié)省光阻，減少制程缺陷。
[0003] 隨著黃光制程從0.13um發(fā)展為28nm，過濾器的尺寸也從50nm降至5nm，并且對(duì)于過 濾器的過濾質(zhì)量和潔凈度也有了更高的要求，所以相應(yīng)的過濾器的預(yù)濕效果也變得更加重 要。
[0004]傳統(tǒng)的過濾器預(yù)濕包括兩種方法，一種方法是將預(yù)濕液體裝入滴瓶中，再用滴瓶 將預(yù)濕液體擠到過濾器中，然后放置一段時(shí)間，這樣處理后過濾器中會(huì)有氣泡，而且膜的浸 潤效果不好，潔凈度也不高；另一種方法是將過濾器安裝到一條空置的光阻管路上，然后通 過手動(dòng)方式不斷地清潔過濾器，這樣的操作比較麻煩，而且浪費(fèi)人力，有人為不可控因素影 響，效果也不好。
[0005]由于傳統(tǒng)的過濾器預(yù)濕程序浪費(fèi)人力、浪費(fèi)預(yù)濕液體，而且效果不是很好，因此無 法滿足黃光制程的要求，如何提高過濾器的預(yù)濕效果、節(jié)省成本已成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟 待解決的問題之一。 【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種過濾器預(yù)濕系 統(tǒng)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中過濾器預(yù)濕效果差、制程缺陷多、成本高等問題。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種過濾器預(yù)濕系統(tǒng)，所述過 濾器預(yù)濕系統(tǒng)至少包括：
[0008] -連接于廠務(wù)供液端，用于輸送預(yù)濕液體的送液裝置；
[0009] 若干待預(yù)濕的過濾器，各過濾器包括進(jìn)液口、出液口以及出氣口，各過濾器通過進(jìn) 液口和出液口串聯(lián)于所述送液裝置的輸出端和輸入端之間的回路中，各過濾器之間設(shè)置有 控制閥，各過濾器的出氣口經(jīng)控制閥后連接廠務(wù)廢液端；
[0010] 一控制所述預(yù)濕液體流速的壓力控制裝置。
[0011]更優(yōu)選地，所述送液裝置與所述廠務(wù)供液端之間設(shè)置有流量調(diào)節(jié)閥、流量顯示器。 [0012]更優(yōu)選地，所述送液裝置為輸液栗。
[0013]優(yōu)選地，各過濾器出氣口的控制閥后還連接有流量計(jì)。
[0014] 優(yōu)選地，所述送液裝置的輸出端和輸入端之間的回路中設(shè)置有流量計(jì)。
[0015]優(yōu)選地，所述控制閥為電磁流量閥。
[0016] 優(yōu)選地，各過濾器的尺寸沿著液體的流向逐漸減小。
[0017] 優(yōu)選地，最后一級(jí)過濾器的出液口還連接至所述廠務(wù)廢液端。
[0018] 優(yōu)選地，所述預(yù)濕液體為酒精或異丙醇。
[0019] 如上所述，本實(shí)用新型的過濾器預(yù)濕系統(tǒng)，具有以下有益效果：
[0020] 本實(shí)用新型的過濾器預(yù)濕系統(tǒng)通過壓力控制來調(diào)節(jié)預(yù)濕液體的流速，進(jìn)而對(duì)過濾 器進(jìn)行氣泡排放和過濾膜浸潤的操作，實(shí)現(xiàn)較高的預(yù)濕效果;本實(shí)用新型的過濾器預(yù)濕系 統(tǒng)可同時(shí)處理多個(gè)過濾器的預(yù)濕處理，通過回路對(duì)預(yù)濕液體進(jìn)行過濾、循環(huán)利用，節(jié)省了預(yù) 濕液體，且由于預(yù)濕效果好進(jìn)而可減少光阻的使用量，大大節(jié)省了生產(chǎn)成本。
【附圖說明】
[0021] 圖1顯示為本實(shí)用新型的過濾器預(yù)濕系統(tǒng)示意圖。
[0022]圖2顯示為過濾器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖3顯示為過濾器內(nèi)氣泡量與壓力的關(guān)系示意圖。
[0024]圖4~圖7顯示為本實(shí)用新型的過濾器預(yù)濕系統(tǒng)工作原理示意圖。
[0025] 元件標(biāo)號(hào)說明
[0026] 1 過濾器預(yù)濕系統(tǒng)
[0027] 11 廠務(wù)供液端
[0028] 111 第一電磁閥
[0029] 112 流量調(diào)節(jié)閥
[0030] 113 流量顯示器
[0031] 114 第二電磁閥
[0032] 115 第三電磁閥
[0033] 12 送液裝置
[0034] 13 壓力控制裝置
[0035] 141~143 第一~第三過濾器
[0036] 151~157 第一~第七控制閥
[0037] 161~164 第一~第四流量計(jì)
[0038] 17 廠務(wù)廢液端
【具體實(shí)施方式】
[0039]以下通過特定的具體實(shí)例說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說 明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型還可以通過另外 不同的【具體實(shí)施方式】加以實(shí)施或應(yīng)用，本說明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng) 用，在沒有背離本實(shí)用新型的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。
[0040] 請(qǐng)參閱圖1~圖7。需要說明的是，本實(shí)施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本 實(shí)用新型的基本構(gòu)想，遂圖式中僅顯示與本實(shí)用新型中有關(guān)的組件而非按照實(shí)際實(shí)施時(shí)的 組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實(shí)際實(shí)施時(shí)各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改 變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。
[0041] 如圖1所示，本實(shí)用新型提供一種過濾器預(yù)濕系統(tǒng)1，所述過濾器預(yù)濕系統(tǒng)1包括：
[0042]廠務(wù)供液端11、送液裝置12、壓力控制裝置13、若干待預(yù)濕的過濾器14、若干控制 閥15、若干流量計(jì)16以及廠務(wù)廢液端17。
[0043]具體地，如圖1所示，所述送液裝置12為所述過濾器預(yù)濕系統(tǒng)1輸送預(yù)濕液體。在本 實(shí)施例中，所述預(yù)濕液體為酒精或異丙醇，工藝、目的不同，預(yù)濕液體的選擇也不相同，不以 本實(shí)施例為限。在本實(shí)施例中，所述送液裝置12為輸液栗，包括2個(gè)輸入端、1個(gè)輸出端以及1 個(gè)控制端。
[0044]所述送液裝置12的第一輸入端連接于所述廠務(wù)供液端11，在本實(shí)施例中，所述送 液裝置12與所述廠務(wù)供液端11之間設(shè)置有第一電磁閥111、流量調(diào)節(jié)閥112、流量顯示器113 以及第二電磁閥114。所述送液裝置12從所述廠務(wù)供液端11抽取預(yù)濕液體，所述第一電磁閥 111、流量調(diào)節(jié)閥112以及第二電磁閥113對(duì)預(yù)濕液體的流向及流量進(jìn)行控制，同時(shí)從所述流 量顯示器113上直觀讀取預(yù)濕液體的流量，便于調(diào)節(jié)。
[0045]所述送液裝置12的控制端連接于所述壓力控制裝置13,藉由所述壓力控制裝置13 對(duì)所述送液裝置12中輸出的預(yù)濕液體的流速進(jìn)行控制。在本實(shí)施例中，所述壓力裝置13排 出犯(氮?dú)猓?，通過N2對(duì)預(yù)濕液體施加不同的壓力，進(jìn)而控制預(yù)濕液體的流速。所述壓力控制 裝置13可通過其他不同的方式或氣體來實(shí)現(xiàn)預(yù)濕液體流速的控制，不以本實(shí)施例為限。
[0046]所述送液裝置12的輸出端及第二輸入端之間形成串聯(lián)回路，包括若干待預(yù)濕的過 濾器14，如圖2所示，過濾器包括外殼、過濾膜、進(jìn)液口、出液口以及出氣口。液體從進(jìn)液口進(jìn) 入過濾器，若從出氣口排出，則液體不經(jīng)過過濾膜;若從出液口排出，則液體經(jīng)過過濾膜。在 本實(shí)施例中，優(yōu)選為3個(gè)過濾器，分別為第一過濾器141、第二過濾器142以及第三過濾器 143。在本實(shí)施例中，所述第一過濾器141的尺寸大于所述第二過濾器142的尺寸，所述第二 過濾器142的尺寸大于所述第三過濾器143的尺寸。其中，所述第一過濾器141的進(jìn)液口通過 第三電磁閥115連接至所述送液裝置12的輸出端，所述第一過濾器141的出液口通過第一控 制閥151連接至所述第二過濾器142的進(jìn)液口，所述第二過濾器142的出液口通過第二控制 閥152連接至所述第三過濾器143的進(jìn)液口，所述第三過濾器143的出液口通過第三控制閥 153連接至所述送液裝置12的第二輸入端，形成串聯(lián)回路。所述送液裝置12的輸出端和第二 輸入端之間的回路中設(shè)置有第一流量計(jì)161，在本實(shí)施例中，所述第一流量計(jì)161連接于所 述第三過濾器143及所述第三控制閥153之間。所述第一過濾器141的出氣口通過第四控制 閥154連接至所述廠務(wù)廢液端17,所述第二過濾器142的出氣口通過第五控制閥155連接至 所述廠務(wù)廢液端17，所述第三過濾器143的出氣口通過第六控制閥156連接至所述廠務(wù)廢液 端17,在本實(shí)施例中，所述第四控制閥154、所述第五控制閥155、所述第六控制閥156與所述 廠務(wù)廢液端17之間設(shè)置有流量計(jì)，分別為第二流量計(jì)162、第三流量計(jì)163以及第四流量計(jì) 164,通過各流量計(jì)可對(duì)各管路的預(yù)濕液體的流量進(jìn)行實(shí)施監(jiān)測(cè)。在本實(shí)施例中，各控制閥 15為電磁流量閥。
[0047]如圖1所示，所述第一流量計(jì)161的輸出端還通過第七控制閥157連接至所述廠務(wù) 廢液端17,以便排出所述過濾器預(yù)濕系統(tǒng)1中的預(yù)濕液體。在本實(shí)施例中，所述第七控制閥 157為電磁流量閥。
[0048]如圖3所示，壓力與過濾器中的氣泡量有關(guān)，在某一壓力時(shí)，過濾器中的氣泡量會(huì) 達(dá)到最小，在本實(shí)施例中為2.5psi(約為0.017Mpa)。因此，本實(shí)用新型的過濾器預(yù)濕系統(tǒng)通 過壓力控制來調(diào)節(jié)預(yù)濕液體的流速，，一開始?jí)毫π∫稽c(diǎn)，將過濾器中的大量空氣慢慢置換 出并慢慢浸潤過濾膜，然后壓力再逐漸加大，使預(yù)濕液體快速通過過濾膜達(dá)到過濾器中過 濾膜的平衡，實(shí)現(xiàn)較高的預(yù)濕效果。本實(shí)用新型的過濾器預(yù)濕系統(tǒng)可同時(shí)處理多個(gè)過濾器 的預(yù)濕處理，通過回路對(duì)預(yù)濕液體進(jìn)行過濾、循環(huán)利用，節(jié)省了預(yù)濕液體，且由于預(yù)濕效果 好進(jìn)而可減少光阻的使用量，大大節(jié)省了生產(chǎn)成本。