真空泵以及真空泵的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是有關(guān)于一種真空栗(pump)以及真空栗的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，在半導(dǎo)體制造裝置或液晶制造裝置等的腔室(chamber)排氣時，使用有渦輪分子栗(turbo-molecular pump)等真空栗。在半導(dǎo)體制造裝置或液晶制造裝置的刻蝕制造過程(etching process)中，會產(chǎn)生反應(yīng)產(chǎn)物堆積在真空栗的問題。因此，已知有利用加熱單元使栗溫度上升來抑制反應(yīng)產(chǎn)物的堆積。例如，在專利文獻1中所記載的真空栗中，因為反應(yīng)產(chǎn)物容易堆積在包含圓筒狀轉(zhuǎn)子(rotor)與定子(stator)(螺紋定子)的排氣部，所以將加熱器(heater)埋入定子內(nèi)以直接進行加熱而升溫。
[0003][現(xiàn)有技術(shù)文獻]
[0004][專利文獻]
[0005][專利文獻1]日本專利特開2011-80407號公報
[0006]另外，在相對于定子以微小的間隙(gap)進行轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)的真空栗中，需要將轉(zhuǎn)子與定子配置成同心狀態(tài)。因此，當將定子固定于基座(base)時，在固定部，將定子側(cè)的軸部與基座側(cè)的孔部設(shè)為空隙(c 1 earance)為0.1mm左右的嵌合關(guān)系而進行定子的定位。
[0007]然而，如果如上所述般在定子設(shè)置加熱器進行加熱，會有如下問題:因熱膨脹而空隙變小，軸部的整周會接觸于孔部，作為高溫部的定子的熱會逸散到作為低溫部的基座，從而定子溫度下降。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的優(yōu)選的實施方式的真空栗包括:圓筒狀的轉(zhuǎn)子；圓筒狀的定子，與所述轉(zhuǎn)子協(xié)動而排出氣體；以及筒狀的基座，固定有所述定子；且所述定子與所述基座之間不具有嵌合構(gòu)造，且以與所述基座同心狀態(tài)固定于該基座。
[0009]更優(yōu)選的實施方式中，在所述定子及所述基座分別形成有銷孔(pinhole)，所述銷孔供定位銷嵌入，所述定位銷用于將所述定子及所述基座設(shè)為所述同心狀態(tài)。
[0010]更優(yōu)選的實施方式中，所述定子及所述基座分別具有抵接部，所述抵接部在所述同心狀態(tài)下形成有徑向間隙，且當所述定子的徑向位置偏移時相互接觸而阻止所述定子與所述轉(zhuǎn)子的接觸。
[0011]本發(fā)明的優(yōu)選的實施方式的真空栗包括:圓筒狀的轉(zhuǎn)子；圓筒狀的定子，與所述轉(zhuǎn)子協(xié)動而排出氣體；以及基座，與所述定子以同心狀態(tài)固定；且在所述定子及所述基座分別設(shè)置有抵接部，所述抵接部在所述同心狀態(tài)下形成有徑向間隙，且當所述定子的徑向位置偏移時相互接觸而阻止所述定子與所述轉(zhuǎn)子的接觸。
[0012]本發(fā)明的優(yōu)選的實施方式的真空栗的制造方法中，所述真空栗包括:圓筒狀的轉(zhuǎn)子；圓筒狀的定子，與所述轉(zhuǎn)子協(xié)動而排出氣體；以及筒狀的基座，固定有所述定子；所述真空栗的制造方法的特征在于:使用定位治具(jig)，將所述定子相對于所述基座定位成同心狀態(tài)，在所述同心狀態(tài)下將所述定子固定于所述基座，且在將所述定子固定于所述基座之后去除所述定位治具。
[0013][發(fā)明的效果]
[0014]根據(jù)本發(fā)明，可確實地避免作為高溫部的定子與作為低溫部的基座的接觸。
【附圖說明】
[0015]圖1是表示本發(fā)明的真空栗的一種實施方式的圖，且表示渦輪分子栗的剖面。
[0016]圖2是從底面?zhèn)扔^察渦輪分子栗所得的圖。
[0017]圖3是圖1的設(shè)置有定子加熱部28的部分的放大圖。
[0018]圖4是圖1的圖示左側(cè)的定子22與基座20的固定部的放大圖。
[0019]圖5是表示變形例1的圖。
[0020]圖6是表示變形例2的圖。
[0021 ]圖7是表示變形例3的圖。
[0022]圖8是表示變形例4的圖。
[0023]圖9是表示變形例5的圖。
[0024]圖10是表示可適用間隙G2的定位構(gòu)造的另一例的圖。
[0025]圖11是對間隙G2的效果進行說明的圖。
[0026]圖12 (a)、圖12 (b)是表示在定子22與隔熱構(gòu)件24之間形成間隙G2的情況的圖。
[0027]【主要元件符號說明】
[0028]1:渦輪分子栗10:轉(zhuǎn)子
[0029]11:轉(zhuǎn)子軸12:旋轉(zhuǎn)葉片
[0030]13:轉(zhuǎn)子圓筒部20:基座
[0031]20d、43b、43c:凸部21:固定葉片
[0032]22:定子22a:平面部
[0033]22b:臺階部
[0034]22c、201 a、201、400、421、430:內(nèi)周面
[0035]23:栗殼24:隔熱構(gòu)件
[0036]26:排氣端口27、280:加熱器
[0037]28:定子加熱部29、210:間隔件
[0038]30:殼體32:徑向磁軸承
[0039]33:軸向磁軸承34:馬達
[0040]35a、35b:機械軸承40?44:定位構(gòu)件
[0041]42a、43a:貫通孔42c:環(huán)狀凸部
[0042]44a:平板部44b:圓筒部
[0043]44c:圓柱部200、205、221、286:銷孔
[0044]202:環(huán)狀部203:溫度傳感器
[0045]209、222、282:螺栓211、223:墊圈
[0046]220、28 lb:凸緣部
[0047]220a、401、420、431、440:外周面
[0048]220c:環(huán)狀卡合部281:加熱器部件
[0049]281a:孔部283:密封塞
[0050]284:密封構(gòu)件G、GO、Gl、G2、G3:間隙
【具體實施方式】
[0051]以下，參照圖對用以實施本發(fā)明的方式進行說明。圖1是表示本發(fā)明的真空栗的一種實施方式的圖，且表示渦輪分子栗的剖面。渦輪分子栗1包括轉(zhuǎn)子10，所述轉(zhuǎn)子10形成有多段旋轉(zhuǎn)葉片12及轉(zhuǎn)子圓筒部13。在栗殼(pump casing) 23的內(nèi)側(cè)，與多段旋轉(zhuǎn)葉片12相應(yīng)地以層疊的方式配置有多段固定葉片21。沿栗軸向?qū)盈B的多段固定葉片21分別隔著間隔件(spacer) 29而配置于基座20上。旋轉(zhuǎn)葉片12及固定葉片21分別包含沿周向配置的多個禍輪(turbine)葉片。
[0052]在轉(zhuǎn)子圓筒部13的外周側(cè)，隔著間隙而配置有圓筒形狀的定子22。本實施方式中，基座20為筒狀的構(gòu)件，定子22配置于基座20的內(nèi)周側(cè)，且螺固于基座20的上端面。在轉(zhuǎn)子圓筒部13的外周面或定子22的內(nèi)周面的任一面形成有螺紋槽，由轉(zhuǎn)子圓筒部13與定子22構(gòu)成螺紋槽栗。利用旋轉(zhuǎn)葉片12及固定葉片21而排出的氣體分子經(jīng)螺紋槽栗部進一步壓縮，最終從設(shè)于基座20的排氣端口(port) 26排出。
[0053]在轉(zhuǎn)子10固定有轉(zhuǎn)子軸(shaft) 11，該轉(zhuǎn)子軸11由徑向(radial)磁軸承32及軸向(axial)磁軸承33支撐，且由馬達(motor) 34旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。當磁軸承32、磁軸承33未動作時，轉(zhuǎn)子軸11由機械軸承(mechanical bearing) 35a、機械軸承35b支撐。徑向磁軸承32、軸向磁軸承33、馬達34及機械軸承35b收納在殼體(housing) 30內(nèi)，所述殼體30固定于基座20。
[0054]另外，在現(xiàn)有的渦輪分子栗中，也有將基座20與殼體30 —體地形成而制成基座的構(gòu)成，但在任一構(gòu)成中均為在筒狀的基座的內(nèi)周側(cè)配置定子22的構(gòu)成。
[0055]在基座20設(shè)置有加熱器27及溫度傳感器(sensor) 203，所述加熱器27用以對基座20進行加熱，所述溫度傳感器203對基座20的溫度進行檢測。本實施方式的渦輪分子栗1可用于產(chǎn)生大量反應(yīng)產(chǎn)物的工藝，在定子22的下部外周面，固定有對定子22進行加熱的專用的定子加熱部28。圖2是從底面?zhèn)扔^察渦輪分子栗所得的圖，且將一部分以破斷面表示。定子加熱部28是以將基座20的周面內(nèi)外貫通的方式而設(shè)置。也可設(shè)置兩個以上的定子加熱部28。
[0056]圖3是圖1的設(shè)置有定子加熱部28的部分的放大圖。如圖3所示，定子加熱部28是在加熱器部件(heater block) 281安裝有加熱器280。加熱器部件281利用螺栓(bolt) 282而固定于定子22的外周面。在配置有螺栓282的孔部281a，設(shè)置有用以密封該孔部281a的密封塞283。而且，在加熱器部件281的軸部(貫通基座20的部分)，設(shè)置有密封(seal)構(gòu)件284作為真空密封件。利用該密封構(gòu)件284而將貫通基座20的加熱器部件281的軸部與基座20的間隙密封。
[0057]如圖2所示，在定子22的外周面的一部分形成有平面部22a，使形成于加熱器部件281的前端的平面接觸于該平面部22a。
[0058]當將加熱器部件281固定于定子22時，使用定位構(gòu)件(例如，定位銷)，以使加熱器部件281的軸心與基座側(cè)的貫通孔的軸心大致一致的方式進行加熱器部件281的定位。在本實施方式中，使用定位銷作為定位構(gòu)件，在圖2所示的加熱器部件281，形成有供定位銷卡合的銷孔286。另一方面，在基座20，也形成有供定位銷卡合的銷孔205。通過使定位銷卡合于銷孔205、銷孔286，而進行加熱器部件281與基座側(cè)貫通孔的定心。定位銷在將加熱器部件281螺固于定子22之后被去除。
[0059]另外，在本實施方式中，定子加熱部28