本發(fā)明涉及垂直立式精密裝備領(lǐng)域，特別是一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

目前垂直立式精密裝備在超精密加工、空間光學(xué)檢測等領(lǐng)域使用越來越多，尤其是應(yīng)用于空間飛行器升空前地面空間環(huán)境模擬實(shí)驗(yàn)，在模擬真空和低溫的惡劣實(shí)驗(yàn)工況中，微振動(dòng)控制是保障該實(shí)驗(yàn)順利進(jìn)行的關(guān)鍵技術(shù)之一。

目前垂直立式精密裝備常用的微振動(dòng)控制的方法有：

一、選擇較為安靜的實(shí)驗(yàn)環(huán)境，如遠(yuǎn)離城市的深山，主要是通過選擇一處天然環(huán)境振動(dòng)不超標(biāo)的地方，且該處基巖埋藏比較淺，直接將裝備支撐系統(tǒng)的基礎(chǔ)澆筑至基巖即可。

二、采用超大規(guī)模的地基加固和塊式基礎(chǔ)，這種方法主要通過對地基和基礎(chǔ)加固，提高其基礎(chǔ)整體質(zhì)量和剛度。

三、采用整體式的隔振方法。這種方法主要是針對垂直立式設(shè)計(jì)整體的隔振基礎(chǔ)，將垂直立式和隔振基礎(chǔ)直接澆筑在一起，隔振裝置采用機(jī)械彈簧或柔性空氣彈簧。

目前，上述第一種和第二種垂直立式精密裝備的微振動(dòng)控制的方法，未考慮環(huán)境嚴(yán)重影響微振動(dòng)控制效果的因素，當(dāng)周圍振動(dòng)環(huán)境發(fā)生變化，則振動(dòng)超標(biāo)，裝備無法工作；第三種方法中，當(dāng)垂直立式質(zhì)量較大及剛性支撐平臺質(zhì)量過大時(shí)，整體隔振方式效果差，而且成本高，耗時(shí)長，一旦出現(xiàn)故障，不可更換和改造。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，本發(fā)明公開了一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng),是一種基于氣浮裝置穿透式振動(dòng)控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)振動(dòng)控制性能高、成本低、可調(diào)節(jié)、易更換、多功能。

本發(fā)明公開了一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)，包括：

垂直立式真空罐，內(nèi)部設(shè)置有內(nèi)置工藝支撐平臺；

內(nèi)層衍架結(jié)構(gòu)，設(shè)置在垂直立式真空罐的中上部并貫穿垂直立式真空罐的內(nèi)外部，位于垂直立式真空罐外的部分由內(nèi)層衍架結(jié)構(gòu)固定部分固定，垂直立式真空罐內(nèi)部的內(nèi)置工藝支撐平臺吊掛在內(nèi)層衍架結(jié)構(gòu)上；

高剛性環(huán)梁式臺座，位于垂直立式真空罐的外部，高剛性環(huán)梁式臺座與內(nèi)層衍架結(jié)構(gòu)位于垂直立式真空罐外的部分之間沿圓周設(shè)置有多個(gè)柔性波紋管；

氣浮隔振裝置結(jié)構(gòu)支撐部分，位于垂直立式真空罐的下部外側(cè)，氣浮隔振裝置結(jié)構(gòu)支撐部分與高剛性環(huán)梁式臺座之間與多個(gè)柔性波紋管相對應(yīng)的位置上設(shè)置有多個(gè)空氣彈簧；及

主體結(jié)構(gòu)支撐部分，位于垂直立式真空罐的下面并支撐垂直立式真空罐。

本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)的實(shí)施例中，內(nèi)層衍架結(jié)構(gòu)采用鋼管或型鋼結(jié)構(gòu)支撐，中部為圓柱形結(jié)構(gòu)并向外輻射分布有多個(gè)支架。

本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)的實(shí)施例中，內(nèi)層衍架結(jié)構(gòu)沿中部向外輻射分布的多個(gè)支架中的每個(gè)支架下均設(shè)有一個(gè)柔性波紋管。

本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)的實(shí)施例中，多個(gè)空氣彈簧采用單氣室或雙氣室氣流阻尼調(diào)節(jié)裝置。

本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)的實(shí)施例中，多個(gè)空氣彈簧確保水平向阻尼比為0.05-0.25，垂直向阻尼比為0.10-0.40。

本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)的實(shí)施例中，多個(gè)柔性波紋管采用鋼制支腿和鈦合金覆層真空波紋管材料，確保水平向位移空間為15-30mm，豎直向位移空間為20-40mm。

本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)的實(shí)施例中，多個(gè)柔性波紋管進(jìn)一步設(shè)置有密閉氣漏閥，用于檢測漏氣部位。

本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)的實(shí)施例中，主體結(jié)構(gòu)支撐部分為鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)、鋼管混凝土結(jié)構(gòu)或剪力墻結(jié)構(gòu)，包括支撐面和多根支撐柱。

本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)的實(shí)施例中，主體結(jié)構(gòu)支撐部分的支撐面頂部設(shè)置預(yù)埋板，預(yù)埋板與垂直立式真空罐之間采用滑移支座方式進(jìn)行連接，并設(shè)置千斤頂或液壓支撐桿安置板。

本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)的實(shí)施例中，高剛性環(huán)梁式臺座采用C30混凝土和型鋼架進(jìn)行混合澆筑，表面貼有16mm鋼板并打磨平整，臺面上任意2m范圍內(nèi)平面度誤差不大于2mm，臺面錘擊掃頻實(shí)驗(yàn)基本頻率高于100HZ。

有益效果

本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)，該系統(tǒng)在水平光學(xué)檢測實(shí)驗(yàn)過程中，可以通過利用柔性真空波紋管將垂直立式精密裝備容器與平行光管及放置平行光管的內(nèi)置工藝支撐平臺分開，成為兩個(gè)相對獨(dú)立的支撐結(jié)構(gòu)，使高剛性環(huán)梁式隔振臺座只承擔(dān)垂直立式精密裝備容器內(nèi)部工藝結(jié)構(gòu)的荷載。這種方式可以有效地對周圍環(huán)境振動(dòng)及動(dòng)力設(shè)備振動(dòng)，特別是附著在容器上的發(fā)振設(shè)備引起的機(jī)械振動(dòng)進(jìn)行隔離。實(shí)現(xiàn)在光學(xué)檢測過程中，僅允許臺面上出現(xiàn)微量的殘余振動(dòng)，且檢測與被檢設(shè)備振動(dòng)相位一致，并避免由于抽真空變形和低溫變形引入的對準(zhǔn)誤差。

附圖說明

圖1是本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)的正面透視圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述，但不作為對本發(fā)明的限定。

圖1是本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)的正面透視圖，如圖1所示，本發(fā)明公開了一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)，包括：

垂直立式真空罐(01)，內(nèi)部設(shè)置有內(nèi)置工藝支撐平臺(06)；

內(nèi)層衍架結(jié)構(gòu)(02)，設(shè)置在垂直立式真空罐(01)的中上部并貫穿垂直立式真空罐(01)的內(nèi)外部，位于垂直立式真空罐外(01)的部分由內(nèi)層衍架結(jié)構(gòu)固定部分(07)固定，垂直立式真空罐(01)內(nèi)部的內(nèi)置工藝支撐平臺(06)吊掛在內(nèi)層衍架結(jié)構(gòu)上(02)；

高剛性環(huán)梁式臺座(03)，位于垂直立式真空罐(01)的外部，高剛性環(huán)梁式臺座(03)與內(nèi)層衍架結(jié)構(gòu)(02)位于垂直立式真空罐(01)外的部分之間沿圓周設(shè)置有多個(gè)柔性波紋管(08)；

氣浮隔振裝置結(jié)構(gòu)支撐部分(04)，位于垂直立式真空罐(01)的下部外側(cè)，氣浮隔振裝置結(jié)構(gòu)支撐部分(04)與高剛性環(huán)梁式臺座(03)之間與多個(gè)柔性波紋管(08)相對應(yīng)的位置上設(shè)置有多個(gè)空氣彈簧(09)；及

主體結(jié)構(gòu)支撐部分(05)，位于垂直立式真空罐(01)的下面并支撐垂直立式真空罐(01)。

本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)的實(shí)施例中，內(nèi)層衍架結(jié)構(gòu)(02)采用鋼管或型鋼結(jié)構(gòu)支撐，中部為圓柱形結(jié)構(gòu)并向外輻射分布有多個(gè)支架(圖中未示出)。

本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)的實(shí)施例中，內(nèi)層衍架結(jié)構(gòu)(02)沿中部向外輻射分布的多個(gè)支架中的每個(gè)支架下均設(shè)有一個(gè)柔性波紋管(圖中未示出)。

本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)的實(shí)施例中，多個(gè)空氣彈簧(09)采用單氣室或雙氣室氣流阻尼調(diào)節(jié)裝置。

本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)的實(shí)施例中，多個(gè)空氣彈簧(09)確保水平向阻尼比為0.05-0.25，垂直向阻尼比為0.10-0.40。

本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)的實(shí)施例中，多個(gè)柔性波紋管(08)采用鋼制支腿和鈦合金覆層真空波紋管材料，確保水平向位移空間為15-30mm，豎直向位移空間為20-40mm。

本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)的實(shí)施例中，多個(gè)柔性波紋管(08)進(jìn)一步設(shè)置有密閉氣漏閥，用于檢測漏氣部位。

本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)的實(shí)施例中，主體結(jié)構(gòu)支撐部分(05)為鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)、鋼管混凝土結(jié)構(gòu)或剪力墻結(jié)構(gòu)，包括支撐面(10)和多根支撐柱(11)。

本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)的實(shí)施例中，主體結(jié)構(gòu)支撐部分(05)的支撐面(10)頂部設(shè)置預(yù)埋板，預(yù)埋板與垂直立式真空罐之間采用滑移支座方式進(jìn)行連接，并設(shè)置千斤頂或液壓支撐桿安置板。

本發(fā)明公開的一種穿透式微振動(dòng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)的實(shí)施例中，高剛性環(huán)梁式臺座(03)采用C30混凝土和型鋼架進(jìn)行混合澆筑，表面貼有16mm鋼板并打磨平整，臺面上任意2m范圍內(nèi)平面度誤差不大于2mm，臺面錘擊掃頻實(shí)驗(yàn)基本頻率高于100HZ。

以上所述，僅是本發(fā)明較佳的實(shí)施方式，并非對本發(fā)明的技術(shù)方案做任何形式上的限制。凡是依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例做任何簡單修改，形式變化和修飾，均落入本發(fā)明的保護(hù)范圍。