本發(fā)明涉及光學(xué)檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種非球面補(bǔ)償器透射波前方程的測(cè)量裝置和方法。

背景技術(shù)：

在光學(xué)設(shè)計(jì)中，單個(gè)球面可以供優(yōu)化的自由度只有曲率半徑；而非球面除了頂點(diǎn)曲率半徑之外，還有二次曲面常數(shù)和高階項(xiàng)系數(shù)。由于非球面比球面擁有更多設(shè)計(jì)的自由度，所以在很多光學(xué)系統(tǒng)中，都普遍采用非球面元件來(lái)減小系統(tǒng)的復(fù)雜度，并提高系統(tǒng)的成像質(zhì)量。

當(dāng)前，對(duì)于高精度非球面的檢測(cè)，大都采用零位補(bǔ)償法，即采用補(bǔ)償鏡或者計(jì)算全息圖(Computer-Generated Hologram，CGH)作為補(bǔ)償器，將干涉儀發(fā)出的球面波轉(zhuǎn)化為與非球面相匹配的非球面波，從而實(shí)現(xiàn)零位檢測(cè)。在檢測(cè)過(guò)程中，非球面補(bǔ)償器是限制檢測(cè)精度的關(guān)鍵性因素；如果補(bǔ)償器存在問(wèn)題(如透鏡的曲率半徑加工出錯(cuò)或者透鏡間隔裝配錯(cuò)誤)，則直接導(dǎo)致加工出的非球面偏離設(shè)計(jì)值，從而給光學(xué)系統(tǒng)造成嚴(yán)重的影響。為此，當(dāng)非球面補(bǔ)償器加工完成之后，非常有必要對(duì)其透射波前進(jìn)行測(cè)量，從而保證加工出的非球面補(bǔ)償器滿足設(shè)計(jì)精度的要求。

因此，研發(fā)一種非球面補(bǔ)償器透射波前方程的測(cè)量裝置和方法，成為人們亟待解決的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種非球面補(bǔ)償器透射波前方程的測(cè)量裝置和方法，以實(shí)現(xiàn)對(duì)非球面補(bǔ)償器的校驗(yàn)。

本發(fā)明提供了一種非球面補(bǔ)償器透射波前方程的測(cè)量裝置，包括：移相干涉儀、測(cè)距干涉儀和參考球面組件；其中，作為被測(cè)對(duì)象的非球面補(bǔ)償器置于所述移相干涉儀和參考球面組件之間，且所述非球面補(bǔ)償器、移相干涉儀和參考球面組件同軸設(shè)置，所述參考球面組件可沿光軸方向移動(dòng)，所述移相干涉儀發(fā)出的光經(jīng)過(guò)所述非球面補(bǔ)償器，并由所述參考球面組件反射，反射光經(jīng)過(guò)所述非球面補(bǔ)償器后入射至所述移相干涉儀，所述參考球面組件沿光軸方向移動(dòng)，在所述移相干涉儀內(nèi)形成參考球面組件與非球面補(bǔ)償器之間的環(huán)形面形圖，所述測(cè)距干涉儀測(cè)量參考所述球面組件的相對(duì)位移，所述移相干涉儀利用所述環(huán)形面形圖和相對(duì)位移計(jì)算非球面補(bǔ)償器透射波前方程。

本發(fā)明還提供了一種利用上述非球面補(bǔ)償器透射波前方程的測(cè)量裝置的測(cè)量方法，所述測(cè)量方法包括：步驟A：移動(dòng)參考球面，利用移相干涉儀測(cè)量非球面補(bǔ)償器透射波前與參考球面形成的環(huán)形面形圖，利用測(cè)距干涉儀測(cè)量所述參考球面的與所述環(huán)形面形圖對(duì)應(yīng)的相對(duì)位移；步驟B：依據(jù)所述移相干涉儀測(cè)量的環(huán)形面形圖，計(jì)算所述環(huán)形面形圖的“零條紋”半徑；步驟C：基于所述參考球面與非球面補(bǔ)償器透射波前的位置關(guān)系，得到非球面補(bǔ)償器透射波前矢高的導(dǎo)數(shù)，進(jìn)而得到非球面補(bǔ)償器透射波前方程的第一表達(dá)式；步驟D：設(shè)定非球面補(bǔ)償器透射波前方程的導(dǎo)數(shù)表達(dá)式，得到非球面補(bǔ)償器透射波前方程第二表達(dá)式，進(jìn)而得到非球面補(bǔ)償器透射波前方程的迭代表達(dá)式；以及步驟E：利用所述參考球面的與環(huán)形面形圖對(duì)應(yīng)的相對(duì)位移和所述環(huán)形面形圖的“零條紋”半徑，對(duì)非球面補(bǔ)償器透射波前方程迭代表達(dá)式進(jìn)行迭代運(yùn)算，得到非球面補(bǔ)償器透射波前方程。

從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明的非球面補(bǔ)償器透射波前方程的測(cè)量裝置和方法具有以下有益效果：可實(shí)現(xiàn)對(duì)非球面補(bǔ)償器透射波前進(jìn)行測(cè)量，從而在進(jìn)行非球面加工之前確保非球面補(bǔ)償器正確無(wú)誤，避免非球面補(bǔ)償器加工錯(cuò)誤對(duì)最終光學(xué)系統(tǒng)造成嚴(yán)重影響；該測(cè)量方法的測(cè)量精度高，測(cè)量裝置成本低，便于操作。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例的非球面補(bǔ)償器透射波前方程的測(cè)量裝置示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例的非球面補(bǔ)償器透射波前方程的測(cè)量方法流程圖；

圖3為當(dāng)干涉條紋與中心不連通時(shí)，滿足設(shè)定閾值的“零條紋”位置分布圖；

圖4為利用圖3中“零條紋”位置計(jì)算出的最佳擬合圓；

圖5為當(dāng)干涉條紋與中心連通時(shí)，仿真生成的環(huán)形干涉圖；

圖6為圖5對(duì)應(yīng)的環(huán)形面形圖；

圖7為仿真生成的環(huán)形干涉圖；

圖8為非球面補(bǔ)償器透射波前傳播示意圖；

圖9為非球面補(bǔ)償器光學(xué)結(jié)構(gòu)圖；

圖10為采用本發(fā)明方法計(jì)算出的非球面補(bǔ)償器透射波前的矢高與設(shè)計(jì)值的偏差。

【符號(hào)說(shuō)明】

S1-穩(wěn)頻激光器；S2-準(zhǔn)直擴(kuò)束系統(tǒng)；S3-分光棱鏡；S4-匯聚鏡組；S5-移相參考面；S6-測(cè)距干涉儀；S7-參考球面；S8-夾持機(jī)構(gòu)；S9-多維調(diào)整臺(tái)；S10-成像鏡；S11-探測(cè)器；S12-圖像采集單元；S13-六維調(diào)整控制單元。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。

參見(jiàn)圖1，圖1示出了本發(fā)明實(shí)施例的非球面補(bǔ)償器透射波前方程的測(cè)量裝置，該測(cè)量裝置包括：移相干涉儀、測(cè)距干涉儀和參考球面組件；其中，

移相干涉儀包括：穩(wěn)頻激光器S1、準(zhǔn)直擴(kuò)束系統(tǒng)S2、分光棱鏡S3、匯聚鏡組S4、移相參考面S5、成像鏡S10、探測(cè)器S11和圖像采集單元S12；

參考球面組件包括：參考球面S7、夾持機(jī)構(gòu)S8、多維調(diào)整臺(tái)S9以及六維調(diào)整控制單元S13，參考球面S7由夾持機(jī)構(gòu)S8固定于多維調(diào)整臺(tái)S9，六維調(diào)整控制單元S13可以控制多維調(diào)整臺(tái)S9移動(dòng)。

非球面補(bǔ)償器S13置于移相干涉儀和參考球面組件之間，且非球面補(bǔ)償器S13、移相干涉儀和參考球面S7同軸設(shè)置。

穩(wěn)頻激光器S1發(fā)出的光經(jīng)準(zhǔn)直擴(kuò)束系統(tǒng)S2后進(jìn)入分光棱鏡S3，分光棱鏡S3將入射光分為兩束，第一束光沿移相干涉儀光軸方向傳播，第二束光沿垂直于移相干涉儀光軸方向傳播，其中，第一束光經(jīng)匯聚鏡組S4入射至非球面補(bǔ)償器S13，非球面補(bǔ)償器S13的透射波前入射至參考球面S7，經(jīng)參考球面S7反射的光依次經(jīng)過(guò)非球面補(bǔ)償器S13、匯聚鏡組S4，并由分光棱鏡S3反射至成像鏡S10和探測(cè)器S11；第二束光入射至移相參考面S5，經(jīng)移相參考面S5反射的光由分光棱鏡S3透射至成像鏡S10和探測(cè)器S11。

其中，六維調(diào)整控制單元S13控制多維調(diào)整臺(tái)S9沿移相干涉儀光軸方向移動(dòng)，從而帶動(dòng)參考球面S7由初始位置沿移相干涉儀光軸方向移動(dòng)，經(jīng)參考球面S7反射的光與經(jīng)移相參考面S5反射的光發(fā)生干涉，參考球面S7與非球面補(bǔ)償器S13在探測(cè)器S11上形成一系列環(huán)形面形圖，與此同時(shí)，測(cè)距干涉儀S6測(cè)量參考球面S7相對(duì)于初始位置的移動(dòng)距離，作為與一系列環(huán)形面形圖相對(duì)應(yīng)的相對(duì)位移，圖像采集單元S12利用得到的環(huán)形面形圖和相對(duì)位移計(jì)算出非球面補(bǔ)償器透射波前方程。

本發(fā)明提供的非球面補(bǔ)償器透射波前方程的測(cè)量裝置，可實(shí)現(xiàn)對(duì)非球面補(bǔ)償器透射波前的測(cè)量，從而在進(jìn)行非球面加工之前得到非球面補(bǔ)償器的參數(shù)，該測(cè)量裝置成本低、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，通過(guò)移動(dòng)參考球面即可得到一系列環(huán)形面形圖，從而得到非球面補(bǔ)償器透射波前方程，操作方便靈活。

本發(fā)明的另一實(shí)施例還提供了一種測(cè)量方法，參見(jiàn)圖2，該測(cè)量方法利用上述非球面補(bǔ)償器透射波前方程的測(cè)量裝置，對(duì)非球面補(bǔ)償器透射波前方程進(jìn)行測(cè)量，該測(cè)量方法包括：

步驟A：沿移相干涉儀光軸方向移動(dòng)參考球面，利用移相干涉儀測(cè)量非球面補(bǔ)償器透射波前與參考球面形成的環(huán)形面形圖，利用測(cè)距干涉儀測(cè)量參考球面的與環(huán)形面形圖對(duì)應(yīng)的相對(duì)位移。

執(zhí)行步驟A時(shí)，隨著參考球面沿移相干涉儀光軸方向移動(dòng)，非球面補(bǔ)償器透射波前與參考球面會(huì)形成一系列環(huán)形面形圖，與此同時(shí)，測(cè)距干涉儀測(cè)量參考球面相對(duì)于初始位置的移動(dòng)距離，該移動(dòng)距離作為參考球面的相對(duì)位移，并記錄環(huán)形面形圖相對(duì)應(yīng)的相對(duì)位移，即對(duì)于一系列環(huán)形面形圖中的第i個(gè)環(huán)形面形圖對(duì)應(yīng)一參考球面的相對(duì)位移s_i。

步驟B：依據(jù)所述移相干涉儀測(cè)量的環(huán)形面形圖，計(jì)算環(huán)形面形圖的“零條紋”半徑。

由步驟A可知，隨著參考球面的移動(dòng)會(huì)形成一系列環(huán)形面形圖，對(duì)于這些環(huán)形面形圖來(lái)說(shuō)，部分環(huán)形面形圖的干涉條紋與環(huán)形面形圖中心相連通，部分環(huán)形面形圖的干涉條紋不與環(huán)形面形圖中心連通，但這兩種環(huán)形面形圖的“零條紋”位置均滿足：

其中，F(xiàn)(x，y)表示環(huán)形面形圖，r表示環(huán)形面形圖的“零條紋”半徑。

對(duì)于步驟B來(lái)說(shuō)，分以下兩種情況計(jì)算環(huán)形面形圖的“零條紋”半徑：

情況一：當(dāng)環(huán)形面形圖的干涉條紋與環(huán)形面形圖中心不連通時(shí)，為了便于計(jì)算，將公式(1)改寫(xiě)為：

其中，F(xiàn)_i(x，y)表示一系列環(huán)形面形圖中的第i個(gè)環(huán)形面形圖，r_i表示第i個(gè)環(huán)形面形圖的“零條紋”半徑，θ表示極坐標(biāo)下的角度坐標(biāo)，i＝1，2，…N。

對(duì)公式(2)采用數(shù)值微分法，設(shè)置合適的閾值，得到環(huán)形面形圖的“零條紋”位置分布圖，如圖3所示，然后采用最小二乘法進(jìn)行擬合，即可得到環(huán)形面形圖的“零條紋”半徑與中心，如圖4所示。

情況二：當(dāng)環(huán)形面形圖的干涉條紋與環(huán)形面形圖中心連通時(shí)，如圖5、圖6所示，環(huán)形面形圖主要由離焦和球差項(xiàng)組成，即：

F_i(x，y)＝a₁ⁱ(2r_i²-1)+a₂ⁱ(6r_i⁴-6r_i+1) (3)

其中，F(xiàn)_i(x，y)表示一系列環(huán)形面形圖中的第i個(gè)環(huán)形面形圖，r_i表示第i個(gè)環(huán)形面形圖的“零條紋”半徑，a₁ⁱ和a₂ⁱ分別表示第i個(gè)環(huán)形面形圖的離焦和球差系數(shù)，其可以通過(guò)對(duì)環(huán)形面形圖進(jìn)行Zernike擬合獲得。

然后將公式(3)帶入公式(1)，可得到環(huán)形面形圖的“零條紋”半徑：

步驟C：基于參考球面與非球面補(bǔ)償器透射波前的位置關(guān)系，得到非球面補(bǔ)償器透射波前矢高的導(dǎo)數(shù)，進(jìn)而得到非球面補(bǔ)償器透射波前方程的第一表達(dá)式。

在步驟C中，當(dāng)非球面補(bǔ)償器透射波前與參考球面徑向任一位置的法線垂直時(shí)，會(huì)出現(xiàn)如圖7所示的環(huán)形干涉圖，參考球面與非球面補(bǔ)償器透射波前的位置關(guān)系如圖8所示。其中，P點(diǎn)為第i個(gè)環(huán)形面形圖“零條紋”位置(Null Position)對(duì)應(yīng)的參考球面上的點(diǎn)，F(xiàn)點(diǎn)為光線(參考球面上過(guò)P點(diǎn)的法線)與移相干涉儀光軸的交點(diǎn)，N點(diǎn)為光線(參考球面上過(guò)P點(diǎn)的法線)與非球面補(bǔ)償器透射波前的交點(diǎn)，P點(diǎn)與F點(diǎn)的坐標(biāo)可以分別表示為(r_i，Z_i)和(O，s_i)，其中，r_i為第i個(gè)環(huán)形面形圖的“零條紋”半徑，Z_i為參考球面矢高，s_i為參考球面的與第i個(gè)環(huán)形面形圖對(duì)應(yīng)的相對(duì)位移，P點(diǎn)與N點(diǎn)的距離PN為非球面補(bǔ)償器透射波前的傳播距離，其表示為d_i，則N點(diǎn)坐標(biāo)(ρ_i，z(ρ_i))為：

其中，θ_i表示P點(diǎn)和F點(diǎn)的連線與移相干涉儀光軸的夾角，即光線與光軸的夾角，ρ_i為光線與非球面補(bǔ)償器透射波前的交點(diǎn)，即非球面補(bǔ)償器透射波前徑坐標(biāo)，z(ρ_i)表示非球面補(bǔ)償器透射波前的矢高，z′(ρ_i)表示非球面補(bǔ)償器透射波前矢高的導(dǎo)數(shù)。

為了便于計(jì)算，將公式(6)改寫(xiě)為：

由公式(7)得到非球面補(bǔ)償器透射波前方程第一表達(dá)式：

步驟D：設(shè)定非球面補(bǔ)償器透射波前方程的導(dǎo)數(shù)表達(dá)式，得到非球面補(bǔ)償器透射波前方程第二表達(dá)式，進(jìn)而得到非球面補(bǔ)償器透射波前方程的迭代表達(dá)式。

在步驟D中，為了提高測(cè)量精度，非球面補(bǔ)償器透射波前方程的導(dǎo)數(shù)表達(dá)式為：

其中，c為最佳擬合球曲率，ρ為非球面補(bǔ)償器透射波前徑坐標(biāo)，ρ_max為非球面補(bǔ)償器透射波前徑坐標(biāo)最大值，M由人工設(shè)定，其可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行整數(shù)取值，優(yōu)選M取6，b_n表示多項(xiàng)式{P_n(x)}的系數(shù)，且多項(xiàng)式{P_n(x)}滿足：

其中，當(dāng)m＝n時(shí)，δ_mn＝1；當(dāng)m≠n時(shí)，δ_mn＝0。

根據(jù)公式(9)，得到非球面補(bǔ)償器透射波前方程第二表達(dá)式：

其中，T_n(x)＝∫P_n(x)dx，n≥0。

令非球面補(bǔ)償器透射波前方程第一表達(dá)式與第二表達(dá)式相等，得到非球面補(bǔ)償器透射波前方程迭代表達(dá)式：

步驟E：利用參考球面的與環(huán)形面形圖對(duì)應(yīng)的相對(duì)位移(由步驟A得到)和環(huán)形面形圖的“零條紋”半徑(由步驟B得到)，對(duì)非球面補(bǔ)償器透射波前方程迭代表達(dá)式進(jìn)行迭代運(yùn)算，得到非球面補(bǔ)償器透射波前方程。

在步驟E中，包括：

子步驟E1：令公式(5)的非球面補(bǔ)償器透射波前的傳播距離d_i等于參考球面的與環(huán)形面形圖對(duì)應(yīng)的相對(duì)位移s_i。

子步驟E2：由環(huán)形面形圖的“零條紋”半徑r_i，利用參考球面方程可以得到光線與光軸的夾角θ_i，以及參考球面矢高Z_i，將r_i、θ_i、Z_i、d_i代入公式(5)，得到光線與非球面補(bǔ)償器透射波前的交點(diǎn)、以及非球面補(bǔ)償器透射波前矢高{ρ_i}、{z(ρ_i)}。

子步驟E3：設(shè)置最佳擬合球曲率c的初始值，將參考球面的與環(huán)形面形圖對(duì)應(yīng)的相對(duì)位移s_i、光線與非球面補(bǔ)償器透射波前的交點(diǎn)ρ_i、以及非球面補(bǔ)償器透射波前矢高z(ρ_i)代入公式(12)進(jìn)行第一迭代運(yùn)算，得到非球面補(bǔ)償器透射波前方程第二表達(dá)式，該第二表達(dá)式的形式參見(jiàn)公式(11)。

子步驟E4：將光線與非球面補(bǔ)償器透射波前的交點(diǎn)ρ_i代入子步驟E3得到的非球面補(bǔ)償器透射波前方程第二表達(dá)式，重新計(jì)算非球面補(bǔ)償器透射波前矢高z′(ρ_i)，并利用公式(13)重新計(jì)算非球面補(bǔ)償器透射波前的傳播距離：

其中，d_i′為重新計(jì)算的非球面補(bǔ)償器透射波前的傳播距離，z′(ρ_i)為重新計(jì)算的非球面補(bǔ)償器透射波前矢高。

子步驟E5：計(jì)算兩次迭代之間非球面補(bǔ)償器透射波前的傳播距離差值d_i′-d_i，將傳播距離差值與傳感距離閾值比較；

若傳播距離差值大于傳播距離閾值，將子步驟E4重新計(jì)算的非球面補(bǔ)償器透射波前的傳播距離d_i′作為子步驟E2的d_i，重復(fù)子步驟E2至子步驟E5；

否則，將子步驟E3得到的非球面補(bǔ)償器透射波前方程第二表達(dá)式，作為非球面補(bǔ)償器透射波前方程。

其中，子步驟E3的第一迭代運(yùn)算具體包括：

子分步驟E3a：將初始值賦予最佳擬合球曲率c。

子分步驟E3b：將最佳擬合球曲率c、參考球面的與環(huán)形面形圖對(duì)應(yīng)的相對(duì)位移s_i、光線與非球面補(bǔ)償器透射波前的交點(diǎn)ρ_i、以及非球面補(bǔ)償器透射波前矢高z(ρ_i)代入公式(12)，采用最小二乘法擬合出多項(xiàng)式{P_n(x)}的系數(shù){b_n}；最佳擬合球曲率c的初始值可由人工設(shè)定。

子分步驟E3c：得到多項(xiàng)式{P_n(x)}的系數(shù){b_n}后，可以得到非球面補(bǔ)償器透射波前方程第二表達(dá)式，該第二表達(dá)式的形式參見(jiàn)公式(11)。

子分步驟E3d：將光線與非球面補(bǔ)償器透射波前的交點(diǎn)ρ_i、以及非球面補(bǔ)償器透射波前矢高z(ρ_i)代入子分步驟E3c得到的非球面補(bǔ)償器透射波前方程第二表達(dá)式，重新計(jì)算最佳擬合球曲率，將重新計(jì)算的最佳擬合球曲率與最佳擬合球曲率的初始值相減，獲得最佳擬合球曲率差值。

子分步驟E3e：將最佳擬合球曲率差值與最佳擬合球曲率閾值比較，若最佳擬合球曲率差值大于最佳擬合球曲率閾值，將子分步驟E3d重新計(jì)算的最佳擬合球曲率作為子分步驟E3b最佳擬合球曲率，重復(fù)執(zhí)行子分步驟E3b至子分步驟E3e；否則，將子分步驟E3c得到的非球面補(bǔ)償器透射波前方程第二表達(dá)式作為迭代運(yùn)算結(jié)果輸出。

通過(guò)上述方法針對(duì)一高次偶次非球面補(bǔ)償器透射波前的方程進(jìn)行測(cè)量，此非球面補(bǔ)償器所補(bǔ)償?shù)姆乔蛎鎱?shù)如表1所示，非球面補(bǔ)償器本身的結(jié)構(gòu)如圖9所示。

表1

利用步驟A至步驟E完成了對(duì)非球面補(bǔ)償器透射波前方程的測(cè)量，利用最終獲得非球面透射波前方程計(jì)算出矢高，此矢高與設(shè)計(jì)值的偏差如圖10所示。

由此可見(jiàn)，本發(fā)明的非球面補(bǔ)償器透射波前方程的測(cè)量方法，可實(shí)現(xiàn)對(duì)非球面補(bǔ)償器透射波前進(jìn)行測(cè)量，從而在進(jìn)行非球面加工之前確保非球面補(bǔ)償器正確無(wú)誤，避免非球面補(bǔ)償器加工錯(cuò)誤對(duì)最終光學(xué)系統(tǒng)造嚴(yán)重的影響；該測(cè)量方法具有測(cè)量方法簡(jiǎn)單，成本低，便于操作、精度高等優(yōu)點(diǎn)。

至此，已經(jīng)結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)描述。依據(jù)以上描述，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)對(duì)本發(fā)明的非球面補(bǔ)償器透射波前方程的測(cè)量裝置和方法有了清楚的認(rèn)識(shí)。

需要說(shuō)明的是，在附圖或說(shuō)明書(shū)正文中，未繪示或描述的實(shí)現(xiàn)方式，均為所屬技術(shù)領(lǐng)域中普通技術(shù)人員所知的形式，并未進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。此外，上述對(duì)各元件的定義并不僅限于實(shí)施例中提到的各種具體結(jié)構(gòu)和形狀，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可對(duì)其進(jìn)行簡(jiǎn)單地更改或替換。

以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。