1.一種用于具有多個通道的部件的密封性檢查和/或泄漏測量的方法，所述方法包括：
2.根據權利要求1所述的方法，
3.根據權利要求1或2所述的方法，
4.根據權利要求3所述的方法，其中，對于依次進行的測量，各個入口狀態(tài)包括不同的壓力和/或不同的濃度和/或不同的化學元素和/或不同的化合物和/或化學物質的不同混合物。
5.根據權利要求3或4所述的方法，還包括：
6.根據權利要求3至5中任一項所述的方法，還包括：
7.一種用于對具有多個通道的部件進行密封性檢查和/或泄漏測量的裝置，特別被設計用于執(zhí)行根據權利要求1至6中任一項所述的方法，所述裝置具有：
8.根據權利要求7所述的裝置，還具有：
9.根據權利要求7或8所述的裝置，還具有：
10.根據權利要求7至9中任一項所述的裝置，還具有：
11.根據權利要求7至10中任一項所述的裝置，還具有：
12.根據權利要求7至11中任一項所述的裝置，其中，所述測量裝置具有四極桿質譜儀和/或飛行時間質譜儀和/或扇形場質譜儀和/或壓力測量裝置和/或差分壓力測量裝置和/或流量測量裝置和/或選自一光學光譜儀群組的光譜儀。
13.根據權利要求7至12中任一項所述的裝置，其中，所述測量裝置被設計為，測量在10-7hpa和5mpa范圍內的壓力范圍，或者在10-6hpa和4.5mpa范圍內的壓力范圍，或者在10-4hpa和4mpa范圍內的壓力范圍。
14.根據權利要求7至13中任一項所述的裝置，其中，所述測量裝置被設計為測量氣態(tài)介質，優(yōu)選地選自氣態(tài)制冷劑、氨、烴、氟化烯烴、水氟烯烴、水蒸氣、氮氣、空氣和氧氣以及來自摩爾質量為4u或3u或2u的檢查氣體。
15.根據權利要求7至14中任一項所述的裝置，其中，通道引導部件具有雙極板或單板。