本發(fā)明涉及膜厚檢測(cè)，具體為一種x射線熒光光譜儀。

背景技術(shù)：

1、x射線熒光光譜儀是用于元素分析和材料成分測(cè)定的科學(xué)儀器，用于在線膜厚檢測(cè)時(shí)的工作原理是：當(dāng)x射線照射到薄膜樣品時(shí)，會(huì)激發(fā)樣品中的原子產(chǎn)生特征x射線熒光，薄膜的厚度會(huì)影響熒光的強(qiáng)度和能量分布，通過測(cè)量熒光的強(qiáng)度和特征，結(jié)合已知的薄膜材料的物理參數(shù)和校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，可以計(jì)算出薄膜的厚度，在線膜厚檢測(cè)是指在生產(chǎn)過程中，對(duì)產(chǎn)品表面的膜層厚度進(jìn)行實(shí)時(shí)、連續(xù)的測(cè)量和監(jiān)控。

2、現(xiàn)有技術(shù)中，如中國專利號(hào)為：cn113552158a中，公開了一種x射線熒光光譜儀，包括機(jī)架及驅(qū)動(dòng)架，機(jī)架上設(shè)有開口及蓋合在開口上的樣品蓋。x射線熒光光譜儀還包括轉(zhuǎn)臂及驅(qū)動(dòng)片，轉(zhuǎn)臂設(shè)有相對(duì)的第一端及第二端，第一端與樣品蓋連接，驅(qū)動(dòng)片設(shè)置在驅(qū)動(dòng)架上并設(shè)有導(dǎo)槽。驅(qū)動(dòng)架沿機(jī)架朝第一方向滑動(dòng)時(shí)，第二端進(jìn)入導(dǎo)槽內(nèi)并跟隨驅(qū)動(dòng)架移動(dòng)，第一端被第二端帶動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)，并帶動(dòng)樣品蓋一起轉(zhuǎn)動(dòng)打開開口。本技術(shù)x射線熒光光譜儀通過設(shè)置轉(zhuǎn)臂及驅(qū)動(dòng)架，在驅(qū)動(dòng)架移動(dòng)的過程中可同時(shí)實(shí)現(xiàn)樣品蓋的開啟和關(guān)閉，可簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)并降低成本。

3、目前，在使用x射線熒光光譜儀在線檢測(cè)膜厚時(shí)，首先就是要將待檢測(cè)的樣品膜取出，然后將薄膜大致放置在檢測(cè)區(qū)的中心位置，根據(jù)檢測(cè)區(qū)的標(biāo)記或指示，精確調(diào)整薄膜的位置，使其完全覆蓋預(yù)定的檢測(cè)區(qū)域，且邊緣對(duì)齊，在現(xiàn)有的技術(shù)中，放置好之后便可以蓋上封閉蓋進(jìn)行檢測(cè)膜厚了，但是，薄膜的質(zhì)量很輕，即使已經(jīng)平整地?cái)[放好，在蓋上封閉蓋的一刻以及工作人員的走動(dòng)等都會(huì)容易使薄膜的位置發(fā)生改變，無法使薄膜緊緊吸附在檢測(cè)的平臺(tái)上，會(huì)給檢測(cè)結(jié)果帶來誤差，造成重復(fù)檢測(cè)的繁瑣情況發(fā)生。

4、所以我們提出了一種x射線熒光光譜儀，以便于解決上述中提出的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種x射線熒光光譜儀，以解決上述背景技術(shù)提出的現(xiàn)在技術(shù)中在進(jìn)行在線膜厚檢測(cè)時(shí)未能使薄膜吸附在檢測(cè)平臺(tái)上，從而會(huì)使檢測(cè)結(jié)果出現(xiàn)誤差的問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種x射線熒光光譜儀，包括主機(jī)組件，所述主機(jī)組件包括有主機(jī)外殼，所述主機(jī)外殼的底部固定連接有支撐底板，所述主機(jī)外殼的頂部固定連接有固定頂板，所述固定頂板的內(nèi)壁固定連接有氣定組件，所述氣定組件的頂部固定連接有壓膜組件，所述氣定組件包括有檢測(cè)板，所述檢測(cè)板的頂部中間處設(shè)置測(cè)試窗口，所述檢測(cè)板的內(nèi)部開設(shè)有通氣腔，所述通氣腔的內(nèi)部頂面開設(shè)有多個(gè)斜吸氣口和正吸氣口，且斜吸氣口內(nèi)部的氣流方向是傾斜的，所述通氣腔的內(nèi)部底面開設(shè)有連通口，且連通口的底部固定連通有連通管，所述連通管的外表面設(shè)置調(diào)壓閥門，所述支撐底板的頂部設(shè)置真空泵，所述真空泵的進(jìn)氣端與連通管的一端固定連通；所述壓膜組件包括有四個(gè)固定筒，且每個(gè)固定筒分別安裝在對(duì)應(yīng)位置的正吸氣口上方，每個(gè)所述固定筒的內(nèi)壁均滑動(dòng)連接有活塞，每個(gè)所述活塞的頂部均固定連接有多個(gè)抽拉桿，多個(gè)所述抽拉桿平均分為四組，每組所述抽拉桿的一端之間均固定連接有加強(qiáng)板。

3、優(yōu)選的，多個(gè)所述加強(qiáng)板每?jī)蓚€(gè)為一組，每組所述加強(qiáng)板的相對(duì)之間均固定連接有連接桿，每個(gè)所述連接桿的底部均固定連接有多個(gè)用于將檢測(cè)膜厚的薄膜進(jìn)行按壓定位的按壓爪，每個(gè)所述固定筒的頂部均固定連接有限位蓋，每組所述抽拉桿的一端分別滑動(dòng)貫穿每個(gè)限位蓋至外部。

4、優(yōu)選的，所述固定頂板的頂部固定連接有防護(hù)框，所述防護(hù)框設(shè)置在檢測(cè)板的外部。

5、優(yōu)選的，所述主機(jī)外殼的前表面設(shè)置用于顯示檢測(cè)結(jié)果的顯示屏，所述主機(jī)外殼的前表面靠近顯示屏處設(shè)置功能鍵。

6、優(yōu)選的，所述主機(jī)外殼的兩側(cè)外表面均開設(shè)有多個(gè)散熱孔，所述主機(jī)外殼的后表面固定嵌設(shè)有安裝板，所述安裝板的外表面中間處開設(shè)有安裝孔，所述安裝孔的內(nèi)部設(shè)置排風(fēng)扇，且排風(fēng)扇用于將主機(jī)外殼內(nèi)部產(chǎn)生的熱量快速排出。

7、優(yōu)選的，所述固定頂板的底部與支撐底板的頂部之間靠近四個(gè)拐角處均固定連接有支撐柱，且支撐柱用于提高裝置整體的穩(wěn)定，所述支撐底板的底部靠近四個(gè)拐角處均固定連接有防滑底墊。

8、優(yōu)選的，所述固定頂板的底部固定連接有安裝組件，所述安裝組件包括有固定彈性板，且固定彈性板固定安裝在固定頂板的底部靠近測(cè)試窗口處，所述固定彈性板的外表面設(shè)置x射線源發(fā)生器，所述固定彈性板的相對(duì)一側(cè)均固定連接有固定扣，每個(gè)所述固定扣的內(nèi)壁之間均固定連接有轉(zhuǎn)軸，每個(gè)所述轉(zhuǎn)軸的外表面均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連接環(huán)，兩個(gè)所述連接環(huán)的相對(duì)之間設(shè)置電動(dòng)推桿。

9、優(yōu)選的，所述主機(jī)外殼的后表面頂部邊緣處通過鉸鏈轉(zhuǎn)動(dòng)連接有蓋體組件，所述蓋體組件包括有避光蓋，所述避光蓋的前表面固定連接有把手槽，所述避光蓋的內(nèi)部固定連接有固定架。

10、優(yōu)選的，所述固定架的兩側(cè)內(nèi)壁與固定頂板的頂部靠近兩側(cè)處均設(shè)置開合組件，兩個(gè)所述開合組件均包括有電動(dòng)伸縮桿，兩個(gè)所述電動(dòng)伸縮桿的兩端均固定連接有連接塊，每個(gè)所述連接塊的一側(cè)均開設(shè)有活動(dòng)槽，每個(gè)所述活動(dòng)槽的內(nèi)壁均活動(dòng)連接有活動(dòng)球。

11、優(yōu)選的，每個(gè)所述活動(dòng)球的外表面均固定連接有加強(qiáng)塊，其中兩個(gè)所述加強(qiáng)塊分別固定安裝在固定架的相對(duì)側(cè)內(nèi)壁上，另外兩個(gè)所述加強(qiáng)塊分別固定安裝在固定頂板的頂部靠近兩側(cè)邊緣處。

12、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

13、1、在使用時(shí)，通過啟動(dòng)真空泵，使其產(chǎn)生吸力，此時(shí)調(diào)節(jié)調(diào)壓閥門能夠改變吸力的強(qiáng)弱，避免吸力過大對(duì)薄膜產(chǎn)品造成損壞，那么經(jīng)過連通管將通氣腔內(nèi)部的氣體都抽離，因此每個(gè)正吸氣口和每個(gè)斜吸氣口都具有吸力，由于薄膜產(chǎn)品平鋪在檢測(cè)板上，檢測(cè)板表面的吸力會(huì)將吸盤一樣將薄膜產(chǎn)品吸附住，其中正吸氣口對(duì)薄膜產(chǎn)品產(chǎn)生的吸力是垂直向下的，而斜吸氣口對(duì)薄膜產(chǎn)品產(chǎn)生的吸力是斜向外的，具有輔助舒展的功能，與此同時(shí)，固定筒內(nèi)部的氣壓也在減小，活塞就會(huì)帶動(dòng)抽拉桿向著檢測(cè)板的方向移動(dòng)，從而使得連接桿帶動(dòng)按壓爪同時(shí)往檢測(cè)板的方向移動(dòng)，進(jìn)而將吸附在檢測(cè)板表面的薄膜產(chǎn)品側(cè)邊按壓住，加強(qiáng)了定位效果，有效地防止薄膜產(chǎn)品在進(jìn)行膜厚檢測(cè)時(shí)位置偏移。

14、2、在使用時(shí)，通過功能鍵能夠操控檢測(cè)步驟，在顯示屏上能夠觀察到檢測(cè)結(jié)果，而通過多個(gè)散熱孔能夠使主機(jī)外殼內(nèi)部實(shí)現(xiàn)通風(fēng)，內(nèi)部溫度過高時(shí)，通過啟動(dòng)排風(fēng)扇，能夠?qū)⒅鳈C(jī)外殼內(nèi)部產(chǎn)生的熱量散發(fā)出去，對(duì)主機(jī)外殼內(nèi)部的設(shè)備和導(dǎo)線等具有保護(hù)作用，而固定彈性板能夠改變夾角大小，從而能夠?qū)崿F(xiàn)x射線源發(fā)生器的檢測(cè)角度，實(shí)現(xiàn)步驟是通過啟動(dòng)兩個(gè)電動(dòng)推桿，使其伸縮，當(dāng)電動(dòng)推桿伸長時(shí)，固定彈性板相對(duì)的兩面就會(huì)遠(yuǎn)離展開，其內(nèi)部的夾角就會(huì)變大，反之就會(huì)變小，此時(shí)，由于連接環(huán)是套設(shè)在轉(zhuǎn)軸的外部活動(dòng)的，因此在電動(dòng)推桿伸縮的過程中不會(huì)出現(xiàn)運(yùn)動(dòng)干涉的情況。

15、3、在使用時(shí)，通過同時(shí)啟動(dòng)兩個(gè)電動(dòng)伸縮桿即可完成避光蓋的關(guān)閉，由于活動(dòng)球在活動(dòng)槽的內(nèi)部可以靈活轉(zhuǎn)動(dòng)且不會(huì)脫離出來，那么電動(dòng)伸縮桿在收縮時(shí)，其兩端便能夠靈活轉(zhuǎn)動(dòng)，使得電動(dòng)伸縮桿能夠被收在避光蓋內(nèi)部，通過將固定架安裝在避光蓋的內(nèi)部，從而便于安裝加強(qiáng)塊和把手槽，在需要開蓋時(shí)，可以借助把手槽輔助開蓋，其中避光蓋使用的是不透光的材料制成，當(dāng)避光蓋完成合蓋時(shí)，被檢測(cè)的薄膜樣品在檢測(cè)時(shí)就不會(huì)受到光線影響，而開合組件中的電動(dòng)伸縮桿可以根據(jù)檢測(cè)需求選擇伸長或縮短，因此避光蓋可以根據(jù)檢測(cè)需求選擇在檢測(cè)時(shí)打開或關(guān)閉。