平面度測量方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種測量方法，尤其涉及一種平面度測量方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在移動(dòng)終端如手機(jī)的制造工藝中，在對(duì)手機(jī)等工件進(jìn)行DDG(double_diskgrinding，雙盤面研磨)平面研磨后，需要對(duì)待測工件的平面度等形位參數(shù)進(jìn)行測量。一般于測量時(shí)，需要人工不停地用千分尺及塞尺對(duì)待測工件進(jìn)行測量，其勞動(dòng)強(qiáng)度大，使得該測量方法的生產(chǎn)效率較低，而且由于手工測量的測量精度因人而異，其測量準(zhǔn)確度不高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]基于此，有必要提供一種測量效率高且準(zhǔn)確度高的平面度測量方法。
[0004]—種平面度測量方法，用于采用一測量設(shè)備來測量待測工件的待測表面的平面度，所述測量設(shè)備包括測量平臺(tái)、基準(zhǔn)塊以及第一測量探頭，所述基準(zhǔn)塊放置在所述測量平臺(tái)上，其上形成有基準(zhǔn)面，所述第一測量探頭與所述測量平臺(tái)間隔設(shè)置且能夠于預(yù)設(shè)移動(dòng)平面內(nèi)移動(dòng)，所述平面度測量方法包括以下步驟:
[0005]獲取所述預(yù)設(shè)移動(dòng)平面內(nèi)的多個(gè)預(yù)設(shè)點(diǎn)位與所述基準(zhǔn)面之間的距離Α1、Α2...Αη，其中η為2以上的自然數(shù)；
[0006]將所述待測工件放置于所述測量平臺(tái)上，并將所述待測表面朝向所述第一測量探頭，所述第一測量探頭于所述預(yù)設(shè)移動(dòng)平面內(nèi)移動(dòng)并采集所述多個(gè)預(yù)設(shè)點(diǎn)位與所述待測表面之間的距離趴、82-_&1;以及
[0007]計(jì)算差值Cn = Bn-An,并根據(jù)計(jì)算式C = Cmax-Cmin獲取所述待測表面的平面度值C，其中Cmax為Cn中的最大值，Cmin為Cn中的最小值。
[0008]在其中一個(gè)實(shí)施例中，獲取所述預(yù)設(shè)移動(dòng)平面內(nèi)的多個(gè)預(yù)設(shè)點(diǎn)位與所述基準(zhǔn)面之間的距離Α1、Α2...Αη的步驟包括:
[0009]將所述基準(zhǔn)塊放置于所述測量平臺(tái)上，并將所述基準(zhǔn)面朝向所述第一測量探頭；以及
[0010]使所述第一測量探頭于所述預(yù)設(shè)移動(dòng)平面內(nèi)移動(dòng)并采集所述多個(gè)預(yù)設(shè)點(diǎn)位與所述基準(zhǔn)面之間的基準(zhǔn)距離Al、Α2...Αη。
[0011]在其中一個(gè)實(shí)施例中，獲取所述預(yù)設(shè)移動(dòng)平面內(nèi)的多個(gè)預(yù)設(shè)點(diǎn)位與所述基準(zhǔn)面之間的距離Α1、Α2...Αη的步驟為:
[0012]調(diào)取所述預(yù)設(shè)移動(dòng)平面內(nèi)的多個(gè)預(yù)設(shè)點(diǎn)位與所述基準(zhǔn)面之間的距離Α1、Α2...Αη。
[0013]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述預(yù)設(shè)移動(dòng)平面與所述測量平臺(tái)相對(duì)傾斜設(shè)置，所述多個(gè)預(yù)設(shè)點(diǎn)位對(duì)應(yīng)所述基準(zhǔn)面按行列矩陣設(shè)置。
[0014]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一測量探頭為激光探頭。
[0015]由于該平面度方法無需人工采用千分尺及塞尺對(duì)待測工件進(jìn)行測量，因此節(jié)省了人力且降低人工勞動(dòng)強(qiáng)度，測量效率較高。而且由于采用了第一測量探頭對(duì)待測工件進(jìn)行測量，因而提高了測量精度。另外，測量平面度時(shí)，由于采用了差值的計(jì)算方法，因此消除了因測量平臺(tái)與第一測量探頭的預(yù)設(shè)移動(dòng)平面不平行所帶來的對(duì)測量精度的影響。
【附圖說明】
[0016]圖1為一實(shí)施例的平面度測量方法測量平面度時(shí)的示意圖。
[0017]圖2為圖1所示平面度測量方法的步驟流程圖。
[0018]圖3為一實(shí)施例的厚度測量方法的步驟流程圖。
[0019]圖4為圖3所示厚度測量方法獲取厚度補(bǔ)償值的示意圖。
[0020]圖5為圖4中IV處的局部放大圖。
[0021 ]圖6為圖3所示厚度測量方法測量厚度時(shí)的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]為了便于理解本發(fā)明，下面將參照相關(guān)附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更全面的描述。附圖中給出了本發(fā)明的較佳實(shí)施方式。但是，本發(fā)明可以以許多不同的形式來實(shí)現(xiàn)，并不限于本文所描述的實(shí)施方式。相反地，提供這些實(shí)施方式的目的是使對(duì)本發(fā)明的公開內(nèi)容理解的更加透徹全面。
[0023]請參閱圖1，一實(shí)施例的平面度測量方法采用的測量設(shè)備100包括測量平臺(tái)10，基準(zhǔn)塊30、第一測量探頭50以及第二測量探頭70。例如，測量平臺(tái)10上可形成一個(gè)測量平面11，基準(zhǔn)塊30可以為放置在測量平面11上的標(biāo)準(zhǔn)的矩形塊體，其上形成有基準(zhǔn)面31?；鶞?zhǔn)面31與測量平面11平行。第一測量探頭50與第二測量探頭70相對(duì)設(shè)置于測量平臺(tái)10的兩側(cè)且與測量平臺(tái)10間隔設(shè)置。第一測量探頭50與第二測量探頭70分別于兩個(gè)相互平行間隔的預(yù)設(shè)移動(dòng)平面Pl、P2內(nèi)移動(dòng)。例如，第一測量探頭50與第二測量探頭70均為激光探頭。
[0024]由于在實(shí)際生產(chǎn)中，測量平臺(tái)100的測量平面11不可能完全平行于第一測量探頭50的預(yù)設(shè)移動(dòng)平面Pl，因此，圖1中測量平面11與預(yù)設(shè)移動(dòng)平面Pl相對(duì)傾斜。待測工件300可放置于測量平臺(tái)10上，其上具有待測表面301。例如，為使第一測量探頭50與第二測量探頭70能夠移動(dòng)，測量平臺(tái)10包括XY移動(dòng)平臺(tái)(圖未示)以及設(shè)置于XY移動(dòng)平臺(tái)上的移動(dòng)支架(圖未示)，XY移動(dòng)平臺(tái)內(nèi)設(shè)置有伺服機(jī)構(gòu)以驅(qū)動(dòng)移動(dòng)支架移動(dòng)，第一測量探頭50及第二測量探頭70安裝于移動(dòng)支架上。
[0025]請一并參閱圖2，一實(shí)施例的平面度測量方法，包括以下步驟:
[0026]在步驟SlOl中，獲取預(yù)設(shè)移動(dòng)平面Pl內(nèi)的多個(gè)預(yù)設(shè)點(diǎn)位與基準(zhǔn)塊30的基準(zhǔn)面31之間的距離六1^2"如;
[0027]具體包括:在步驟SlOll中:將基準(zhǔn)塊30放置于測量平臺(tái)10上，并將基準(zhǔn)塊30的基準(zhǔn)面31朝向第一測量探頭50;例如，將基準(zhǔn)塊100放置于測量平面11上，以使得基準(zhǔn)面31平行于測量平面11。
[0028]在步驟S1012中，第一測量探頭50于預(yù)設(shè)移動(dòng)平面Pl內(nèi)移動(dòng)并采集多個(gè)預(yù)設(shè)點(diǎn)位與基準(zhǔn)面31之間的基準(zhǔn)距離Α1、Α2...Αη，其中η為2以上的自然數(shù);例如，預(yù)設(shè)移動(dòng)平面Pl可以與測量平臺(tái)10的測量平面11相對(duì)傾斜設(shè)置。預(yù)設(shè)點(diǎn)位可以對(duì)應(yīng)基準(zhǔn)面31按行列矩陣設(shè)置，也可以為按照其他規(guī)則設(shè)置的點(diǎn)位，以盡可能覆蓋基準(zhǔn)面31的表面輪廓。
[0029]在步驟S102中，將待測工件300放置于測量平臺(tái)10上，并將待測工件300的待測表面301朝向第一測量探頭50，第一測量探頭50于預(yù)設(shè)移動(dòng)平面Pl內(nèi)移動(dòng)并于采集所述多個(gè)預(yù)設(shè)點(diǎn)位與待測表面301之間的距離Β1、Β2...Βη;例如，使待測表面301背離測量平面11并大致平行于測量平面11。
[°03°] 在步驟S103中，計(jì)算差值Cn = Bn-An,并根據(jù)計(jì)算式C = Cmax-Cmin得出