射頻信號(hào)保護(hù)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種射頻信號(hào)保護(hù)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，射頻測(cè)試是必要的步驟。射頻測(cè)試時(shí)，子板與母板之間由射頻信號(hào)線連接。為了滿足高頻測(cè)試需求，對(duì)測(cè)試座及硬件的質(zhì)量、射頻信號(hào)要求越來(lái)越高。射頻信號(hào)線的探針上容易粘染東西，以及射頻信號(hào)線的晃動(dòng)都會(huì)對(duì)射頻信號(hào)產(chǎn)生影響。
[0003]在機(jī)器長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)作后，良率會(huì)出現(xiàn)偏大或偏小的現(xiàn)象，對(duì)最終測(cè)試數(shù)據(jù)造成影響，導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確。在測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確的情況下，需要在機(jī)械環(huán)境下進(jìn)行分析，對(duì)硬件部分進(jìn)行拆卸，由于射頻信號(hào)線沒(méi)有保護(hù)裝置，所以在拆卸時(shí)射頻信號(hào)線之間容易撞到，甚至是撞擊到拆卸工具上，導(dǎo)致射頻信號(hào)線損壞，降低射頻信號(hào)線使用壽命。
[0004]由于頻繁的拆卸、安裝調(diào)試射頻信號(hào)線，會(huì)導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果不一樣，給分析、調(diào)試穩(wěn)定性帶來(lái)更大困難，如此循環(huán)下去導(dǎo)致無(wú)法做到盡快的調(diào)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)、開(kāi)始測(cè)試，調(diào)試效率低；進(jìn)一步地，開(kāi)始測(cè)試后，由于機(jī)臺(tái)抖動(dòng)造成射頻信號(hào)線晃動(dòng)，影響測(cè)試信號(hào)。
[0005]為了解決上述問(wèn)題，半導(dǎo)體測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域急需一種射頻信號(hào)保護(hù)裝置，能夠在分析及更換產(chǎn)品時(shí)保護(hù)射頻信號(hào)線，降低信號(hào)線的晃動(dòng)率，提高射頻信號(hào)線穩(wěn)定性，使測(cè)量數(shù)據(jù)更加穩(wěn)定，提高調(diào)試效率和測(cè)量速率，提高射頻信號(hào)線使用壽命，降低成本、增強(qiáng)經(jīng)濟(jì)效益。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本實(shí)用新型提供了射頻信號(hào)保護(hù)裝置，技術(shù)方案如下:
[0007]射頻信號(hào)保護(hù)裝置，包括:安裝板和保護(hù)板；
[0008]安裝板，上面具有多個(gè)定位孔和第一射頻通孔，定位孔用于定位、快速安裝子板和對(duì)接板，第一射頻通孔用于貫穿射頻信號(hào)線，第一射頻通孔的孔徑略大于射頻信號(hào)線的外徑；
[0009]保護(hù)板，上面具有多個(gè)第二射頻通孔，第二射頻通孔數(shù)量、孔徑都與第一射頻通孔的數(shù)量、孔徑相等，保護(hù)板與安裝板之間通過(guò)依次貫穿于第一射頻通孔、第二射頻通孔的射頻信號(hào)線相連接。
[0010]優(yōu)選的，在上述射頻信號(hào)保護(hù)裝置中，還包括:子板和母板，子板上面具有與定位孔相配合使用的小孔，子板固定連接于安裝板頂部，射頻信號(hào)線穿過(guò)安裝板的第一射頻通孔，通過(guò)射頻信號(hào)線頂端的探針安裝到子板上；母板固定安裝于保護(hù)板底部，射頻信號(hào)線穿過(guò)安裝板的第二射頻通孔，通過(guò)射頻信號(hào)線另一端的探針安裝到母板上。
[0011]優(yōu)選的，在上述射頻信號(hào)保護(hù)裝置中，安裝板為中間具有凹槽的平板，凹槽用于固定安裝子板，用于定位子板的定位孔位于凹槽內(nèi)，用于定位對(duì)接板的定位孔位于凹槽外。
[0012]優(yōu)選的，在上述射頻信號(hào)保護(hù)裝置中，用于定位子板的定位孔數(shù)量為4個(gè)，分別位于凹槽的四角處，用于定位對(duì)接板的定位孔數(shù)量為4個(gè)，成中心軸對(duì)稱的形式分布于安裝板上。
[0013]優(yōu)選的，在上述射頻信號(hào)保護(hù)裝置中，子板與安裝板之間通過(guò)螺釘固定連接，保護(hù)板與母板之間通過(guò)螺釘固定連接。
[0014]優(yōu)選的，在上述射頻信號(hào)保護(hù)裝置中，安裝板為長(zhǎng)方體，長(zhǎng)度為100~140mm，寬度為70—1 1mm,高度為 31.6—71.6mm。
[0015]優(yōu)選的，在上述射頻信號(hào)保護(hù)裝置中，安裝板的長(zhǎng)度為120臟，寬度為90臟，高度為 51.6mm。
[0016]優(yōu)選的，在上述射頻信號(hào)保護(hù)裝置中，保護(hù)板為長(zhǎng)方體，長(zhǎng)度為160~200mm，寬度為95~135_，高度為 5~30_。
[0017]優(yōu)選的，在上述射頻信號(hào)保護(hù)裝置中，保護(hù)板的長(zhǎng)度為180臟，寬度為115臟，高度為 10mnin
[0018]優(yōu)選的，在上述射頻信號(hào)保護(hù)裝置中，安裝板和保護(hù)板的形狀為正方型或橢圓型。
[0019]優(yōu)選的，在上述射頻信號(hào)保護(hù)裝置中，安裝板和保護(hù)板為PVC或PE塑料板。
[0020]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0021]1、本實(shí)用新型在拆卸、安裝時(shí)，由于每根射頻信號(hào)線都被射頻通孔分開(kāi)，彼此不會(huì)相撞，也不會(huì)再插拔時(shí)與工具相撞，提高使用壽命，降低成本。
[0022]2、本實(shí)用新型在將射頻信號(hào)線拆卸完成后，需要將射頻信號(hào)線放到固定位置，由于安裝板和保護(hù)板都具有一定的厚度和邊緣，使探針不會(huì)直接接觸地面等物質(zhì)，減少沾染雜物的概率，提高測(cè)試準(zhǔn)確度。
[0023]3、本實(shí)用新型將安裝板設(shè)置成中間具有凹槽的平板，將子板安裝于凹槽內(nèi)，增強(qiáng)子板與安裝板連接的穩(wěn)固性，不會(huì)出現(xiàn)脫落、連接不良、射頻信號(hào)不穩(wěn)定的問(wèn)題，提高測(cè)試效率，更加美觀、占用空間小。
[0024]4、本實(shí)用新型在安裝板上設(shè)置有多個(gè)定位孔，既能保證子板快速、準(zhǔn)確的安裝到安裝板上，也有利于多種對(duì)接板快速、穩(wěn)定的安裝到安裝板上，適用于多種設(shè)備，適用性更強(qiáng)。
[0025]5、本實(shí)用新型將安裝板設(shè)置成長(zhǎng)度120mm、寬度90mm、高度51.6mm的長(zhǎng)方板，以及保護(hù)板設(shè)置成長(zhǎng)度180_、寬度115_、高度1mm的長(zhǎng)方體板，是從穩(wěn)定性、經(jīng)濟(jì)型的綜合考慮，經(jīng)過(guò)大量實(shí)驗(yàn)得出的一種最優(yōu)值，既降低了測(cè)試座測(cè)試時(shí)，對(duì)安裝板、保護(hù)板造成的晃動(dòng)，進(jìn)而降低射頻信號(hào)線的晃動(dòng)，提高測(cè)試數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性，提高測(cè)試效率和調(diào)試效率。
[0026]6、本實(shí)用新型通過(guò)在安裝板和保護(hù)板上開(kāi)設(shè)略大于射頻信號(hào)線外徑的射頻通孔，用于固定射頻信號(hào)線，兩端穩(wěn)定連接，能夠有效的降低射頻信號(hào)線的晃動(dòng)，進(jìn)一步的提高測(cè)試數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性，提高測(cè)試效率和調(diào)試效率。
[0027]7、本實(shí)用新型在安裝板的凹槽的四角處分別設(shè)置有I個(gè)定位孔3，是利用工程學(xué)院里，四角對(duì)齊，子板與凹槽及對(duì)齊，對(duì)齊更加快速，無(wú)需額外的定位孔，更加規(guī)整、科學(xué)，節(jié)約成本。
【附圖說(shuō)明】
[0028]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型:
[0029]圖1是本實(shí)用新型射頻信號(hào)保護(hù)裝置實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0030]圖2是本實(shí)用新型射頻信號(hào)保護(hù)裝置實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0031]其中，圖1-2中的附圖標(biāo)記與部件名稱之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系為:
[0032]安裝板I，保護(hù)板2，定位孔3，第一射頻通孔4，第二射頻通孔5，子板6，母板7，小孔8，螺釘9，凹槽10。
【具體實(shí)施方式】
[0033]本實(shí)用新型的核心為提供一種射頻信號(hào)保護(hù)裝置，解決了射頻信號(hào)線容易晃動(dòng)，測(cè)試數(shù)據(jù)不穩(wěn)定，測(cè)試效率低，射頻信號(hào)線使用壽命短的問(wèn)題。
[0034]為了使本實(shí)用新型技術(shù)實(shí)現(xiàn)的措施、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。
[0035]實(shí)施例1:
[0036]圖1是本實(shí)用新型射頻信號(hào)保護(hù)裝置實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0037]如圖1所示，本實(shí)用新型提供了射頻信號(hào)保護(hù)裝置，包括:安裝板I和保護(hù)板2 ;安裝板1，上面具有多個(gè)定位孔3和第一射頻通孔4，定位孔3用于定位、快速安裝子板和對(duì)接板，第一射頻通孔4用于貫穿射頻信號(hào)線，第一射頻通孔4的孔徑略大于射頻信號(hào)線的外徑；保護(hù)板2，上面具有多個(gè)第二射頻通孔5，第二射頻通孔5數(shù)量、孔徑都與第一射頻通孔4的數(shù)量、孔徑相等，保護(hù)板I與安裝板2之間通過(guò)依次貫穿于第一射頻通孔4、第二射頻通孔5的射頻信號(hào)線相連接。
[0038]本實(shí)施例中，安裝板I為長(zhǎng)方體，長(zhǎng)度為100~140mm，寬度為70~110mm，高度為31.6-71.6mm ;保護(hù)板2為長(zhǎng)方體，長(zhǎng)度為160~200臟，寬度為95~135mm，高度為5~30mm。
[0039]實(shí)施例2:
[0040]圖2是本實(shí)用新型射頻信號(hào)保護(hù)裝置實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0041]如圖2所示，在實(shí)施例1的基礎(chǔ)上還包括:子板6和母板7，子板6上面具有與定位孔相配合使用的小孔8，子板6固定連接于安裝