機(jī)臺(tái)探針更換裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及集成電路制造領(lǐng)域，尤其是一種機(jī)臺(tái)探針更換裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]AFM(Atomic Force Microscope，原子力顯微鏡)機(jī)臺(tái)的探針需要定期更換，目前更換的主要方式是通過(guò)人工手動(dòng)方式進(jìn)行更換。
[0003]在運(yùn)輸?shù)倪^(guò)程中，為了保護(hù)所述探針不會(huì)由于碰到所述包裝盒的蓋子而損壞所述探針，所述探針在包裝盒中時(shí)，所述探針的背面朝上，那么在使用所述探針時(shí)，需要將所述探針?lè)?，也就是說(shuō)使得所述探針的正面朝上，然后再將所述探針?lè)胖玫教结樅兄付ǖ尼槻壑小?br>[0004]在人工手動(dòng)更換過(guò)程中，一般采用鑷子夾取的方式，就是人工用鑷子將所述探針從包裝盒中將所述探針夾取出來(lái)，然后翻面，需要用手一直捏住鑷子，并且，在夾取的過(guò)程中要保證所述探針的探針頭不能碰到任何東西，一旦因?yàn)槭侄痘蛘咂渌蚴沟盟鎏结橆^碰到其他的東西，所述探針即會(huì)損壞而不能使用，即所述探針作廢。而在將所述探針?lè)湃脶槻壑械倪^(guò)程中，人工在擺放的過(guò)程中存在擺放的死角，容易使所述探針?lè)胖玫奈恢帽阋?，從而?dǎo)致機(jī)臺(tái)自動(dòng)吸取所述探針失敗，安裝精度不高。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種機(jī)臺(tái)探針更換裝置，以解決手動(dòng)探針更換過(guò)程中導(dǎo)致探針損壞而安裝失敗以及安裝精度不高的問(wèn)題。
[0006]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了一種機(jī)臺(tái)探針更換裝置，包括:
[0007]基座；
[0008]第一立柱，所述第一立柱垂直固定于所述基座的上表面；
[0009]第一連接頭，所述第一立柱穿過(guò)所述第一連接頭，所述第一連接頭可沿所述第一立柱滑動(dòng)以及圍繞所述第一立柱轉(zhuǎn)動(dòng)；
[0010]第一橫桿，所述第一橫桿的一端與所述第一連接頭連接，另一端與一承放臺(tái)連接;
[0011]第二連接頭，所述第一橫桿穿過(guò)所述第二連接頭，所述第二連接頭可沿所述第一橫桿滑動(dòng)以及圍繞所述第一橫桿轉(zhuǎn)動(dòng)；
[0012]第二立柱，所述第二立柱的一端與所述第二連接頭連接，所述第二立柱穿過(guò)一第三連接頭，所述第三連接頭可沿所述第二立柱滑動(dòng)以及圍繞所述第二立柱轉(zhuǎn)動(dòng)；
[0013]第二橫桿，所述第二橫桿的一端與所述第三連接頭連接，另一端與一第一探針吸取裝置連接；
[0014]第三立柱，所述第三立柱的一端與所述第二連接頭連接，所述第三立柱穿過(guò)一第四連接頭，所述第四連接頭可沿所述第三立柱滑動(dòng)以及圍繞所述第三立柱轉(zhuǎn)動(dòng)；以及
[0015]第三橫桿，所述第三橫桿的一端與所述第四連接頭連接，另一端與一第二探針吸取裝置連接。
[0016]優(yōu)選的，在上述的機(jī)臺(tái)探針更換裝置中，所述第一橫桿與所述基座的上表面平行。
[0017]優(yōu)選的，在上述的機(jī)臺(tái)探針更換裝置中，所述第二橫桿與所述基座的上表面平行。
[0018]優(yōu)選的，在上述的機(jī)臺(tái)探針更換裝置中，所述第三橫桿與所述基座的上表面平行。
[0019]優(yōu)選的，在上述的機(jī)臺(tái)探針更換裝置中，所述第二立柱與所述第一橫桿垂直。
[0020]優(yōu)選的，在上述的機(jī)臺(tái)探針更換裝置中，所述第二橫桿和所述第二立柱垂直，所述第三橫桿和所述第三立柱垂直。
[0021]優(yōu)選的，在上述的機(jī)臺(tái)探針更換裝置中，所述第二立柱和所述第三立柱在同一條直線上。
[0022]優(yōu)選的，在上述的機(jī)臺(tái)探針更換裝置中，所述第一探針吸取裝置包括一第一注射器，所述第一注射器的針頭處設(shè)置一第一吸頭，所述第一吸頭所在一側(cè)的內(nèi)壁與所述第一注射器的推動(dòng)閥連接。
[0023]優(yōu)選的，在上述的機(jī)臺(tái)探針更換裝置中，所述第一吸頭所在一側(cè)的內(nèi)壁與所述第一注射器的推動(dòng)閥通過(guò)一第一彈簧連接。
[0024]優(yōu)選的，在上述的機(jī)臺(tái)探針更換裝置中，所述第一吸頭面向所述承放臺(tái)，所述第一注射器的推動(dòng)閥背離所述承放臺(tái)。
[0025]優(yōu)選的，在上述的機(jī)臺(tái)探針更換裝置中，所述第二探針吸取裝置包括一第二注射器，所述第二注射器的針頭處設(shè)置一第二吸頭，所述第二吸頭所在一側(cè)的內(nèi)壁與所述第二注射器的推動(dòng)閥連接。
[0026]優(yōu)選的，在上述的機(jī)臺(tái)探針更換裝置中，所述第二吸頭所在一側(cè)的內(nèi)壁與所述第二注射器的推動(dòng)閥通過(guò)一第二彈簧連接。
[0027]優(yōu)選的，在上述的機(jī)臺(tái)探針更換裝置中，所述第二吸頭面向所述承放臺(tái)，所述第二注射器的推動(dòng)閥背離所述承放臺(tái)。
[0028]在本實(shí)用新型提供的機(jī)臺(tái)探針更換裝置中，將探針的包裝盒放置在所述承放臺(tái)上，所述第一探針吸取裝置吸取所述探針，然后使所述第一連接頭圍繞所述第二立柱轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)所述第二橫桿以及所述第一探針吸取裝置轉(zhuǎn)動(dòng)，使所述第四連接頭圍繞所述第三立柱轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)所述第三橫桿以及所述第二探針吸取裝置轉(zhuǎn)動(dòng)，使得所述第一探針吸取裝置和所述第二探針吸取裝置相對(duì)，并通過(guò)所述第二連接頭在所述第二立柱上的上下移動(dòng)、所述第四連接頭在所述第三立柱上的上下移動(dòng)，調(diào)整所述第一探針吸取裝置和所述第二探針吸取裝置之間的距離。然后所述第二探針吸取裝置吸取所述第一探針吸取裝置上的所述探針，完成所述探針的翻面。再去掉所述承放臺(tái)上的包裝盒，將探針盒固定在所述承放臺(tái)上，再調(diào)整所述第二連接頭、所述第三連接頭以及所述第四連接頭，使得所述探針與所述探針盒中的針槽對(duì)準(zhǔn)，然后將所述探針安裝在所述探針盒的針槽中，在整個(gè)安裝過(guò)程中，均為機(jī)械式操作，所述探針的探針頭不會(huì)因?yàn)椴僮魅藛T的手抖動(dòng)碰到其他物品，保證了所述探針的安全，也提高了安裝精度。
【附圖說(shuō)明】
[0029]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例中機(jī)臺(tái)探針更換裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中機(jī)臺(tái)探針更換裝置吸取探針?lè)鏁r(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖中:101-基座；102-第一立柱；103_第一連接頭；104_第一橫桿；105_承放臺(tái)；106_第二連接頭；107_第二立柱；108_第三連接頭；109_第二橫桿；110_第一注射器；111-第三立柱；112-第四連接頭；113-第三橫桿；114-第二注射器；115-第一吸頭；116-第一彈簧；117-第二吸頭；118-第二彈簧；119-第一鎖止螺絲；120-第二鎖止螺絲；121-第三鎖止螺絲；122_第四鎖止螺絲；123_探針。
【具體實(shí)施方式】
[0032]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)的描述。根據(jù)下列描述并結(jié)合權(quán)利要求書(shū)，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0033]本實(shí)施例提供了一種機(jī)臺(tái)探針更換裝置，如圖1和圖2所不，包括:基座101，第一立柱102，所述第一立柱102垂直固定于所述基座101的上表面，即所述第一立柱102豎直設(shè)置。所述第一立柱102穿過(guò)一第一連接頭103，所述第一連接頭103可以在所述第一立柱102上上下滑動(dòng)，也可以圍繞所述第一立柱102轉(zhuǎn)動(dòng)，且所述第一立柱102和所述第一連接頭103之間通過(guò)一第一鎖止螺絲119固定。也就是說(shuō)，當(dāng)需要所述第一連接頭103在所述第一立柱102上滑動(dòng)或者轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，就松動(dòng)所述第一鎖止螺絲119，在所述第一連接頭103到達(dá)指定位置或者需要的位置之后，再擰緊所述第一鎖止螺絲119，使所述第一立柱102和所述第一連接頭103之間固定。
[0034]所述第一連接頭103為一圓柱體形，一第一橫桿104的一端連接于所述第一連接頭103的側(cè)壁，所述第一橫桿104的另一端與一承放臺(tái)105連接，所述承放臺(tái)105為一長(zhǎng)方體形，所述承放臺(tái)105的上表面與所述基座101的上表面平行，所述第一橫桿104與所述第一立柱102垂直，與所述基座101的上表面平行。
[0035]所述第一橫桿104穿過(guò)一第二連接頭106，所述第二連接頭106可在所述第一橫桿104上滑動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)。也就是說(shuō)，所述第二連接頭106可以沿著所述第一橫桿104向靠近所述第一連接頭103的一側(cè)滑動(dòng)，也可以沿著所述第一橫桿104向靠近所述承放臺(tái)105的一側(cè)滑動(dòng)，還可以圍繞所述第一橫桿104轉(zhuǎn)動(dòng)。所述第一橫桿104和所述第二連接頭106之間通過(guò)一第二鎖止螺絲120固定。所述第二鎖止螺絲120的作用和使用方法與所述第一鎖止螺絲119 一致，在此不再贅述。
[0036]一第二立柱107的一端與所述第二連接頭106固定連接，所述第二立柱107與所述第一橫桿104垂直，所述第二立柱107穿過(guò)一第三連接頭108，所述第三連接頭108和所述第二立柱107之間通過(guò)一第三鎖止螺絲121固定，所述第三連接頭108可沿所述第二立柱107滑動(dòng)以及圍繞所述第二立柱107轉(zhuǎn)動(dòng)。一第二橫桿109的一端與所述第三連接頭108連接，另一端與一第一探針吸取裝置固定連接。在本實(shí)施例中，所述第一探針吸取裝置包括一第一注射器110，所述第二橫桿109與所述第二立柱107垂直，與所述基座101的上表面平行，所述第一注射器110與所述第二立柱107平行設(shè)置，所述第一注射器110的針頭處設(shè)置有一第一吸頭115，所述第一吸頭115面向所述承放臺(tái)105。所述第一注射器110的推動(dòng)閥與所述第一吸頭115所在一側(cè)的內(nèi)壁通過(guò)一第一彈簧116連接，所述第一注射器110的推動(dòng)閥背離所述承放臺(tái)105。
[0037]—第三立柱111也與所述第二連接頭106連接，所述第三立柱111與所述第二立柱107在一條直線上，所述第三立柱111也與所述第一橫桿104垂直，所述第三立柱111穿過(guò)一第四連接頭112，所述第四連接頭112和所述第三立柱113之間通過(guò)一第四鎖止螺絲122固定，所述第四連接頭112可以沿著所述第三立柱111滑動(dòng)以及圍繞所述第三立柱111轉(zhuǎn)動(dòng)。一第三橫桿113的一端與所述第四連接頭112連接，另一端與一第二探針吸取裝置固定連接。
[0038]在本實(shí)施例中，所述第二探針吸取裝置包括一第二注射器114，所述第三橫桿113與所述第三立柱111垂直，與所述基座101的上表面平行。所述第二注射器114與所述第三立柱111平行設(shè)置，所述第二注射器114的針頭處設(shè)置有一第二吸頭117，所述第二吸頭117面向所述承放臺(tái)105。所述第二注射器114的推動(dòng)閥與所述第二吸頭117所在