真空紫外光譜采集裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及光譜采集，特別涉及測量光室的壓力自動控制的真空紫外光譜的采集裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]真空紫外波段的光譜(波長200nm以下)在空氣中傳播時(shí)，會被空氣中的氧氣、水蒸氣等物質(zhì)吸收而無法傳播，其采集、測量必須在真空系統(tǒng)或惰性氣體環(huán)境下進(jìn)行。采用真空系統(tǒng)的方式對光譜進(jìn)行采集、測量，需要將系統(tǒng)抽真空，這就使得光譜儀必須具有很高的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度，且還會帶來功耗、噪音等諸多不便之處。若采用惰性氣體環(huán)境，一般采用吹掃或循環(huán)的方式，吹掃是在光譜儀工作過程中一直用惰性氣體吹掃光路空間，此方式需要大量的惰性氣體，浪費(fèi)多、成本高，吹掃時(shí)間長，啟動慢;循環(huán)是在光室內(nèi)部充滿惰性氣體并使之循環(huán)，但此方式容易引起壓力變化，進(jìn)而引起折射率的變化，導(dǎo)致儀器光譜漂移嚴(yán)重，穩(wěn)定性降低，測量結(jié)果準(zhǔn)確性降低。為解決儀器內(nèi)部壓力變化問題，一般采用壓力補(bǔ)償方式，即當(dāng)內(nèi)部壓力下降時(shí)，補(bǔ)充外部氣源；當(dāng)內(nèi)部壓強(qiáng)升高時(shí)，打開泄壓閥，排出多余氣體。此種方式受制于外部氣源且外所述外部氣源極易受到污染。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)方案中的不足，本實(shí)用新型提供了一種成本低、裝置穩(wěn)定、測量準(zhǔn)確、自動恒壓的真空紫外光譜采集裝置。
[0004]本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
[0005]—種真空紫外光譜采集裝置，包括測量光室，所述光譜采集裝置進(jìn)一步包括:
[0006]循環(huán)單元，所述循環(huán)單元與測量光室相連通，并與所述測量光室構(gòu)成循環(huán)氣路；
[0007]氣路選擇單元，所述氣路選擇單元設(shè)置在所述循環(huán)氣路上，使所述測量光室選擇性地連通循環(huán)氣路和/或恒壓單元；
[0008]恒壓單元，所述恒壓單元設(shè)置在與所述循環(huán)氣路相連的氣體支路上；
[0009]壓力傳感器，所述壓力傳感器用于監(jiān)測測量光室的壓力；
[0010]控制單元，所述控制單元根據(jù)所述測量光室的壓力變化調(diào)節(jié)所述氣路選擇單元。
[0011]根據(jù)上述的光譜采集裝置，優(yōu)選地，所述循環(huán)單元為輸送部件。
[0012]根據(jù)上述的光譜采集裝置，優(yōu)選地，所述光譜采集裝置還包括:吸附劑，所述吸附劑設(shè)置在所述循環(huán)氣路上。
[0013]根據(jù)上述的光譜采集裝置，可選地，所述吸附劑通過自密封快速接頭設(shè)置在所述循環(huán)氣路上。
[0014]根據(jù)上述的光譜采集裝置，可選地，所述恒壓單元為緩沖腔體。
[0015]根據(jù)上述的光譜采集裝置，優(yōu)選地，所述恒壓單元的壓力高于所述測量光室內(nèi)的壓力。
[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有的有益效果為:
[0017]1、本實(shí)用新型采用惰性氣體環(huán)境實(shí)現(xiàn)真空紫外光譜的采集，惰性氣體用量少、成本低、啟動快。
[0018]2、本實(shí)用新型采用氣體循環(huán)和壓力自動調(diào)節(jié)的方式，排除容易吸收真空紫外波段光譜的氧氣、水蒸氣等物質(zhì)的干擾，同時(shí)無需借助外力，自動實(shí)現(xiàn)測量光室的壓力恒定，防止光譜漂移，保證測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
[0019]3、本實(shí)用新型在儀器內(nèi)部自動實(shí)現(xiàn)壓力恒定，無需引入外部氣源或與外部環(huán)境進(jìn)行氣體交換，有效避免了外部干擾氣體的引入，提高吸附劑的使用壽命。
【附圖說明】
[0020]參照附圖，本實(shí)用新型的公開內(nèi)容將變得更易理解。本領(lǐng)域技術(shù)人員容易理解的是:這些附圖僅僅用于舉例說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而并非意在對本實(shí)用新型的保護(hù)范圍構(gòu)成限制。圖中:
[0021]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例1的真空紫外光譜采集裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]圖1和以下說明描述了本實(shí)用新型的可選實(shí)施方式以教導(dǎo)本領(lǐng)域技術(shù)人員如何實(shí)施和再現(xiàn)本實(shí)用新型。為了教導(dǎo)本實(shí)用新型技術(shù)方案，已簡化或省略了一些常規(guī)方面。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解源自這些實(shí)施方式的變型或替換將在本實(shí)用新型的范圍內(nèi)。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解下述特征能夠以各種方式組合以形成本實(shí)用新型的多個(gè)變型。由此，本實(shí)用新型并不局限于下述可實(shí)施方式，而僅由權(quán)利要求和它們的等同物限定。
[0023]實(shí)施例1
[0024]圖1示意性地給出了本實(shí)施例的真空紫外光譜采集裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，所述真空紫外光譜采集裝置包括測量光室，所述光譜采集裝置進(jìn)一步包括:
[0025]循環(huán)單元，所述循環(huán)單元與測量光室相連通，并與所述測量光室構(gòu)成循環(huán)氣路；
[0026]氣路選擇單元，所述氣路選擇單元設(shè)置在所述循環(huán)氣路上，使所述測量光室選擇性地連通循環(huán)氣路和/或恒壓單元；
[0027]恒壓單元，所述恒壓單元設(shè)置在與所述循環(huán)氣路相連的氣體支路上；
[0028]壓力傳感器(圖中未示出)，所述壓力傳感器用于監(jiān)測測量光室的壓力，并將壓力信息傳送到控制單元；
[0029]控制單元，所述控制單元根據(jù)所述測量光室的壓力變化調(diào)節(jié)所述氣路選擇單元。
[0030]進(jìn)一步的，所述循環(huán)單元為輸送部件，帶動惰性氣體循環(huán)流動。
[0031]為了排除惰性氣體中可能含有的氧氣、水蒸氣等物質(zhì)吸收真空紫外波段光譜而影響光譜的采集、測量，故:
[0032]進(jìn)一步地，所述光譜采集裝置還包括吸附劑，所述吸附劑設(shè)置在所述循環(huán)氣路上，氣體循環(huán)流動的同時(shí)通過吸附劑吸附除去易吸收真空紫外光譜的物質(zhì)。
[0033]光譜采集裝置在使用過程中，氣體的少量泄漏、溫度變化、與外界環(huán)境的氣體交換等因素均會引起壓力變化而導(dǎo)致光譜漂移，為了保證裝置的氣密性，排除裝置與外界環(huán)境的氣體交換，故:
[0034]進(jìn)一步地，所述恒壓單元為緩沖腔體，腔體內(nèi)為惰性氣體，避免裝置與外界環(huán)境的氣體交換。
[0035]為了保證恒壓單元內(nèi)的惰性氣體順利進(jìn)入測量光室，故:
[0036]進(jìn)一步地，所述恒壓單元的壓力高于所述測量光室內(nèi)的壓力。
[0037]本實(shí)施例還提供一種真空紫外光譜采集方法，所述光譜采集方法包含以下步驟:
[0038](Al)提供本實(shí)施的真空紫外光譜采集裝置；
[0039](A2)向測量光室內(nèi)充入