本發(fā)明涉及一種觸摸傳感器及其制備方法。具體地，本發(fā)明涉及一種具有優(yōu)異耐久性的柔性觸摸傳感器及其制備方法。

背景技術(shù)：

在觸摸輸入方法作為下一代輸入方法而正受到關(guān)注的同時(shí)，已經(jīng)嘗試將觸摸輸入方法引入更廣泛的各種電子設(shè)備。因此，已經(jīng)積極地進(jìn)行研究和開發(fā)可以應(yīng)用于各種環(huán)境并且可以準(zhǔn)確地識別觸摸的觸摸傳感器。

例如，在具有觸摸型顯示器的電子設(shè)備的情況下，實(shí)現(xiàn)超輕重量、低功率和改進(jìn)便攜性的超薄柔性顯示器已經(jīng)作為下一代顯示器引起關(guān)注，并且希望開發(fā)適用于這種顯示器的觸摸傳感器。

柔性顯示器是指在柔性基板上制造的顯示器，其可以彎曲、折疊或卷繞而不損失性能，并且正在以柔性lcd、柔性oled和電子紙的形式進(jìn)行技術(shù)開發(fā)。

具體地，在便攜式電子設(shè)備的情況下，存在兩個相反的需求：針對便攜性的小型化，以及用于盡可能多地顯示大量信息的大尺寸顯示。

為了在給定的設(shè)備尺寸內(nèi)確保最大顯示，韓國專利公開號10-2015-0057323提出了具有窄邊框區(qū)域的集成有觸摸傳感器的顯示設(shè)備。在該方法中，為了減小邊框的面積，在穿過彎曲線路的區(qū)域中不存在觸摸板，從而防止在觸摸板和端子之間的連接部分中的破裂或抬起。然而，即使利用該方法，也存在不能超過設(shè)備平面的屏幕尺寸的限制。

最近，如韓國專利公開號10-2015-0044870中所公開那樣，具有柔性顯示部分的便攜式終端將柔性顯示部分分成在前側(cè)的主顯示區(qū)域和在側(cè)面的子顯示區(qū)域，其采用側(cè)面作為顯示區(qū)域的一部分。

在這種情況下，盡管具有擴(kuò)大顯示區(qū)域的優(yōu)點(diǎn)，但是存在以下問題：在邊緣部分處(顯示裝置在這里彎曲)的透明導(dǎo)電膜中積累應(yīng)力，從而在觸摸傳感器中引起破裂。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

[技術(shù)問題]

本發(fā)明的目的是提供一種具有改進(jìn)的彎曲特性和耐久性的柔性觸摸傳感器，其能夠承受在觸摸傳感器的彎曲部分中產(chǎn)生的應(yīng)力。

本發(fā)明的另一個目的是提供一種用于制備柔性觸摸傳感器的方法，所述柔性觸摸傳感器具有改進(jìn)的彎曲特性和耐久性，能夠承受在觸摸傳感器的彎曲部分中產(chǎn)生的應(yīng)力而不需要任何額外的工藝。

[技術(shù)方案]

根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種觸摸傳感器，其包括：基板；所述基板上的有效區(qū)，其中布置有傳感器電極；跡線，其位于基板上的有效區(qū)的邊界上，以將傳感器電極連接至觸摸傳感器配線；以及至少一個跡線橋電極，其將傳感器電極電連接至跡線。

在此，傳感器電極可以包括：多個第一傳感器電極，所述多個第一傳感器電極沿第一方向布置并且在一個圖案中彼此連接；以及多個第二傳感器電極，所述多個第二傳感器電極沿與第一方向交叉的第二方向布置并且通過傳感器橋電極彼此連接。

跡線可以包括透明導(dǎo)電層，其由與傳感器電極相同的材料制成；和金屬層，并且所述跡線橋電極可以將所述傳感器電極與所述透明導(dǎo)電層電連接，或者將所述傳感器電極與所述金屬層電連接。

跡線橋電極和傳感器電極的透射率差異可以為10％或更小。

觸摸傳感器可以具有彎曲形狀，以在至少一部分跡線周圍形成曲面。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種用于制備觸摸傳感器的方法，其包括以下步驟：在基板上形成包括傳感器電極圖案和第一跡線圖案的第一導(dǎo)電圖案；在所述第一跡線圖案的至少一部分上形成第二跡線圖案；施加絕緣層并將絕緣層圖案化以覆蓋所述第一導(dǎo)電圖案和所述第二跡線圖案中的至少一個；以及形成跡線橋電極，所述跡線橋電極將所述傳感器電極圖案的至少一部分電連接至所述絕緣層上的所述第一跡線圖案或所述第二跡線圖案。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種制備觸摸傳感器的方法，其包括以下步驟：通過在載體基板上施加用于形成間隔層的組合物以形成間隔層；在所述間隔層上形成包括傳感器電極圖案和第一跡線圖案的第一導(dǎo)電圖案；在所述第一跡線圖案的至少一部分上形成第二跡線圖案；施加絕緣層并將絕緣層圖案化以覆蓋所述第一導(dǎo)電圖案和所述第二跡線圖案中的至少一個；以及形成跡線橋電極，所述跡線橋電極將所述傳感器電極圖案的至少一部分電連接至所述絕緣層上的所述第一跡線圖案或所述第二跡線圖案。

在此，傳感器電極圖案可以包括多個第一傳感器電極，所述多個第一傳感器電極沿第一方向布置并且在一個圖案中彼此連接，以及多個第二傳感器電極，所述多個第二傳感器電極沿與第一方向交叉的第二方向布置并且彼此不連接，并且可以在形成跡線橋電極的步驟中形成用于將多個第二傳感器電極彼此連接的傳感器橋電極。

用于制備觸摸傳感器的方法可以還包括在形成跡線橋電極的步驟之后形成鈍化層的步驟。

當(dāng)使用載體基板時(shí)，制備觸摸傳感器的方法可以還包括在形成跡線橋電極的步驟之后去除載體基板并附著基膜的步驟。

[有益效果]

根據(jù)本發(fā)明的觸摸傳感器，通過橋電極代替連續(xù)膜來連接有效區(qū)的傳感器電極和跡線，可以減輕應(yīng)力，從而提高觸摸傳感器的彎曲特性和耐久性并且抑制在觸摸傳感器中出現(xiàn)破裂。

由于連接傳感器電極和跡線橋電極可以在形成有效區(qū)的傳感器電極形成工藝的傳感器橋電極的步驟中一起形成，所以不需要單獨(dú)工藝用于形成連接傳感器電極和跡線的橋電極。

因此，本發(fā)明的觸摸傳感器非常適合應(yīng)用于彎曲顯示裝置，該彎曲顯示裝置利用顯示裝置的前表面以及側(cè)表面作為顯示區(qū)域。

附圖說明

圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的觸摸傳感器的平面圖。

圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的觸摸傳感器應(yīng)用于顯示裝置時(shí)的狀態(tài)。

圖3是沿線iii-iii'的截面圖。

圖4至6是示出根據(jù)本發(fā)明的其它實(shí)施方式的觸摸傳感器的橫截面圖。

圖7a至7e是示出根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的用于制備觸摸傳感器的方法的橫截面圖。

圖8a至8g是示出根據(jù)本發(fā)明的另一個實(shí)施方式的用于制備觸摸傳感器的方法的橫截面圖。

具體實(shí)施方式

在下文中，將參考附圖詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的觸摸傳感器及其制備方法的優(yōu)選實(shí)施方式。然而，伴隨本發(fā)明的附圖僅僅是用于描述本發(fā)明的示例，并且本發(fā)明不限于附圖。此外，為了更清楚的表達(dá)，一些元件可以在附圖中被放大、縮小或省略。

本發(fā)明提供了一種具有改進(jìn)的彎曲特性和耐久性的柔性觸摸傳感器，其可以通過經(jīng)由橋電極連接傳感器電極和跡線來承受觸摸傳感器的彎曲部分中產(chǎn)生的應(yīng)力。

圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的觸摸傳感器的平面圖。圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的觸摸傳感器應(yīng)用于顯示裝置時(shí)的狀態(tài)。圖3是圖1沿線iii-iii'的截面圖。為了便于說明，在圖1和3中未示出跡線的詳細(xì)圖案，而僅示出其簡要形式。

參考圖1和3，根據(jù)本發(fā)明的一個示例性實(shí)施方式的觸摸傳感器10包括：有效區(qū)100，其包括至少一部分能夠感測觸摸的區(qū)域；以及跡線200，其設(shè)置在有效區(qū)100的邊界處，并且電連接至觸摸傳感器的布線部分(未示出)。

多個傳感器電極110和120布置在有效區(qū)100中用于感測觸摸，多個傳感器電極110和120包括沿第一方向(圖1中的水平方向)布置并且彼此連接作為單個圖案的多個第一傳感器電極；以及沿與第一方向交叉的第二方向(圖1中的豎直方向)布置并且通過傳感器橋電極130彼此連接的多個第二傳感器電極。

第一傳感器電極110和第二傳感器電極120通過跡線橋電極140電連接至跡線200，并且最終電連接至觸摸傳感器的布線。

在圖1中，第一和第二傳感器電極110和120具有菱形形狀的單位結(jié)構(gòu)。然而，本發(fā)明不限于此，并且絕對可能以不同的形式配置傳感器電極，只要屬于構(gòu)成一個感測區(qū)域的單元的一個傳感器電極連接至屬于構(gòu)成另一個感測區(qū)域的另一個單元的另一個傳感器電極即可。

第一傳感器電極110和第二傳感器電極120在基板150同一側(cè)通過單個圖案化工藝形成。由于多個第一傳感器電極110以單個圖案彼此連接，所以通過相同的圖案化工藝形成彼此連接的多個第一傳感器電極110和屬于形成單獨(dú)感測區(qū)域的單元的多個第二傳感器電極120。

第一和第二傳感器電極110和120由透明導(dǎo)電層制成，其可以由選自金屬、金屬納米線、金屬氧化物、碳納米管、石墨烯、導(dǎo)電聚合物和導(dǎo)電油墨中的一種或多種材料形成。

在此，金屬可以是金、銀、銅、鉬、鋁、鈀、釹、鉑、鋅、錫、鈦、及其合金中的任一種。

金屬納米線可以是銀納米線、銅納米線、鋯納米線和金納米線中的任一種。

金屬氧化物選自由銦錫氧化物(ito)、銦鋅氧化物(izo)、銦鋅錫氧化物(izto)、鋁鋅氧化物(azo)、鎵鋅氧化物(gzo)、氟錫氧化物fto)和氧化鋅(zno)組成的組。

第一和第二傳感器電極110和120也可以由包括碳納米管(cnt)或石墨烯的碳基材料形成。

導(dǎo)電聚合物可以包括聚吡咯、聚噻吩、聚乙炔、pedot和聚苯胺，并且導(dǎo)電油墨可以是金屬粉末和可固化聚合物粘合劑的混合物。

此外，第一和第二傳感器電極110和120可以具有至少兩個導(dǎo)電層的堆疊結(jié)構(gòu)，以便減小電阻。

作為一個實(shí)施方式，第一和第二傳感器電極110和120可以由一層ito、agnw(銀納米線)或金屬網(wǎng)形成。在形成兩層或更多層的情況下，第一電極層可以由諸如ito的透明金屬氧化物形成，并且可以使用金屬、agnw等在ito電極層上形成第二電極層，以進(jìn)一步降低電阻。

跡線200由與第一和第二傳感器電極110和120相同的透明導(dǎo)電層制成的第一層210和由金屬層制成的第二層220構(gòu)成。

通過與在基板150同一側(cè)的第一傳感器電極110和第二傳感器電極120相同的圖案化工藝形成跡線200的透明導(dǎo)電層210，并且在其上形成構(gòu)成跡線200的金屬層220。

絕緣層160形成在第一傳感器電極110和第二傳感器電極120上，以使第一傳感器電極110和第二傳感器電極120彼此電隔離。

屬于構(gòu)成單獨(dú)感測區(qū)域并且在透明導(dǎo)電層圖案上彼此分離的單元的多個第二傳感器電極120通過傳感器橋電極130經(jīng)由絕緣層160的孔彼此連接。

同時(shí)，有效區(qū)100的一些最外面的傳感器電極110和120電連接至跡線200，如圖3中所示，通過跡線橋電極140電連接至跡線200的金屬層220。

傳感器橋電極130和跡線橋電極140也使用類似于第一和第二傳感器電極110和120的透明導(dǎo)電層材料形成。特別地，通過使第一和第二傳感器電極110和120的材料與傳感器和跡線橋電極130和140的材料之間的透射率之差在10％以內(nèi)，可以減輕傳感器和跡線橋電極130和140的可視性。

當(dāng)根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的觸摸傳感器10應(yīng)用于顯示裝置時(shí)，如圖2中所示，觸摸傳感器10的邊緣可以被彎曲以使顯示區(qū)域最大化。

此時(shí)，通過跡線橋電極140代替連續(xù)膜連接有效區(qū)100的第一和第二傳感器電極110和120以及跡線200，可以減輕應(yīng)力，從而提高觸摸傳感器的彎曲特性和耐久性以抑制觸摸傳感器的破裂。

在傳感器橋電極130和跡線橋電極140上形成鈍化層170，以防止構(gòu)成電極的導(dǎo)電圖案受到外部環(huán)境(濕氣、空氣等)的影響。

其中設(shè)置有有效區(qū)100和跡線200的基板150是用于實(shí)現(xiàn)柔性觸摸傳感器的薄膜基板，并且可以是透明膜或偏振片。

對透明膜沒有限制，只要透明膜具有良好的透明性、機(jī)械強(qiáng)度和熱穩(wěn)定性即可。透明膜的具體實(shí)例可以包括熱塑性樹脂，例如聚酯樹脂，諸如聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚間苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯和聚對苯二甲酸丁二醇酯；纖維素樹脂例如二乙酰纖維素和三乙酰纖維素；聚碳酸酯樹脂；丙烯酸酯樹脂，諸如聚(甲基)丙烯酸甲酯和聚(甲基)丙烯酸乙酯；苯乙烯樹脂，諸如聚苯乙烯和丙烯腈-苯乙烯共聚物；聚烯烴樹脂，諸如聚乙烯、聚丙烯、具有環(huán)狀或降冰片烯結(jié)構(gòu)的聚烯烴和乙烯-丙烯共聚物；氯乙烯樹脂；酰胺樹脂諸如尼龍和芳族聚酰胺；酰亞胺樹脂；聚醚砜樹脂；砜樹脂；聚醚醚酮樹脂；聚苯硫醚樹脂；乙烯醇樹脂；偏二氯乙烯樹脂；乙烯醇縮丁醛樹脂；烯丙基化物樹脂；聚甲醛樹脂；和環(huán)氧樹脂。此外，可以使用由熱塑性樹脂的共混物組成的膜。此外，可以使用熱固化性或uv固化性樹脂，例如(甲基)丙烯酸酯、氨基甲酸酯、丙烯酸氨基甲酸酯、環(huán)氧和硅樹脂。

這種透明膜可以具有合適的厚度。例如，考慮到強(qiáng)度和處理方面的可加工性或薄層性質(zhì)，透明膜的厚度可以為1μm至500μm，優(yōu)選為1μm至300μm，更優(yōu)選為5μm至200μm。

透明膜可以包含至少一種合適的添加劑。添加劑的實(shí)例可以包括uv吸收劑、抗氧化劑、潤滑劑、增塑劑、脫模劑、防著色劑、阻燃劑、成核劑、抗靜電劑、顏料和著色劑。透明膜可以包括各種功能層，其包括硬涂層、減反射層和阻氣層，但是本發(fā)明不限于此。也就是說，根據(jù)期望的用途，也可以包括其它功能層。

如果需要，可以對透明膜進(jìn)行表面處理。例如，表面處理可以通過諸如等離子體、電暈和底漆處理的干燥方法，或通過諸如包括皂化的堿處理的化學(xué)方法來進(jìn)行。

此外，透明膜可以是各向同性膜、延遲膜或保護(hù)膜。

在各向同性膜的情況下，優(yōu)選地滿足40nm以下、優(yōu)選為15nm以下的面內(nèi)延遲(ro)和-90nm至+75nm、優(yōu)選為-80nm至+60nm、特別是-70nm至+45nm的厚度延遲(rth)，面內(nèi)延遲(ro)和厚度延遲(rth)由下式表示。

ro＝[(nx-ny)×d]

rth＝[(nx+ny)/2-nz]×d

其中，nx和ny各自是膜平面中的主折射率，nz是膜厚度方向上的折射率，d是膜的厚度。

延遲膜可以通過聚合物膜的單軸拉伸或雙軸拉伸、聚合物的涂布或液晶的涂布來制備，并且其通常用于改善或控制光學(xué)特性，例如顯示器的視角補(bǔ)償、顏色靈敏度提高、防止漏光或顏色控制。

延遲膜可以包括半波(1/2)或四分之一波(1/4)片、正c片、負(fù)c片、正a片、負(fù)a片和雙軸片。

保護(hù)膜可以是在其至少一個表面上包含壓敏粘合劑(psa)層的聚合物樹脂膜，或者諸如聚丙烯的自粘合膜。

偏振片可以是已知用于顯示面板中的任一種。

具體地，可以使用聚乙烯醇(pva)、三乙酸纖維素(tac)或環(huán)烯烴聚合物(cop)膜，但是本發(fā)明不限于此。

盡管在附圖中未示出，但是基板150可以使用粘合層粘合，并且可以使用光固化性粘合劑。由于光固化性粘合劑在光固化后不需要單獨(dú)的干燥工藝，所以制造工藝簡單。作為結(jié)果，生產(chǎn)率提高。在本發(fā)明中，可以使用本領(lǐng)域中可用的光固化粘合劑，而沒有特別限制。例如，可以使用包含環(huán)氧化合物或丙烯酸系單體的組合物。

對于粘合層的固化，可以使用諸如遠(yuǎn)紫外線、紫外線、近紫外線和紅外線的光，諸如x射線和γ射線的電磁波，以及電子束、質(zhì)子束、中子束。然而，uv固化在固化速度、固化裝置的可用性和成本等方面是有利的。

可以使用高壓汞燈、無電極燈、超高壓汞燈、碳弧燈、氙燈、金屬鹵化物燈、化學(xué)燈和黑光等作為uv固化的光源。

通過跡線橋電極的傳感器電極和跡線的連接可以以多種方式進(jìn)行。

圖4至圖6是示出根據(jù)本發(fā)明的其它實(shí)施方式的以各種其它方式形成的用于將傳感器電極連接至跡線的觸摸傳感器的橫截面圖。

首先，參考圖4，形成在基板151上的傳感器電極111和跡線211和221的結(jié)構(gòu)類似于圖2中所示的實(shí)施方式。但是絕緣層161以與圖2中所示的實(shí)施方式不同的方式圖案化。

也就是說，在形成絕緣層161以覆蓋傳感器電極111和位于有效區(qū)邊界處的跡線211和221之后，跡線橋電極141通過絕緣層的孔將傳感器電極111與跡線的金屬層221連接。

在形成跡線的透明導(dǎo)電層和金屬層未以相同圖案形成之后，還可以將傳感器電極和跡線的透明導(dǎo)電層彼此連接，但透明導(dǎo)電層被部分暴露。

參考圖5，在基板152上形成傳感器電極112和跡線的透明導(dǎo)電層212。在透明導(dǎo)電層212上形成有寬度比透明導(dǎo)電層212更窄的金屬層222。

形成在傳感器電極112和跡線上的絕緣層162被圖案化以覆蓋跡線的金屬層222并暴露透明導(dǎo)電層212。

跡線橋電極142形成為通過絕緣層162的圖案化部分而電連接跡線的透明導(dǎo)電層212和傳感器電極112。

還可以將圖5中所示的跡線的結(jié)構(gòu)和圖4中所示的跡線橋電極的結(jié)構(gòu)組合。

參考圖6，跡線的透明導(dǎo)電層213和金屬層223形成為不同的圖案以暴露透明導(dǎo)電層213，然后形成跡線橋電極143以通過絕緣層163的孔連接傳感器電極113和跡線的透明導(dǎo)電層213。

現(xiàn)在，將詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的用于制備觸摸傳感器的方法。

根據(jù)本發(fā)明，由于用于連接到傳感器電極的跡線橋電極通過圖案化傳感器橋電極的過程與傳感器橋電極一起形成，所以可以制造一種具有改進(jìn)的彎曲特性和耐久性的柔性觸摸傳感器而沒有附加的處理步驟，所述柔性觸摸傳感器能夠承受在觸摸傳感器的彎曲部分中產(chǎn)生的應(yīng)力。

本發(fā)明的觸摸傳感器可以直接形成在基板上?；蛘?，可以在載體基板上進(jìn)行用于形成觸摸傳感器的過程，之后可以分離載體基板，然后可以附著基膜。

首先，將描述在基板上直接形成觸摸傳感器的方法。圖7a至7e是示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的制備觸摸傳感器的方法的橫截面圖。

如圖7a中所示，透明導(dǎo)電層形成在基板150上并圖案化以形成傳感器電極110和跡線的透明導(dǎo)電層210。透明導(dǎo)電層的圖案化可以通過使用光敏抗蝕劑的光刻工藝來進(jìn)行。

透明導(dǎo)電層可以通過濺射法，例如化學(xué)氣相沉積(cvd)、物理氣相沉積(pvd)、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(pecvd)；印刷法，例如絲網(wǎng)印刷、凹版印刷、反向膠印、噴墨；或者潤濕或干燥鍍敷法來形成。特別地，濺射可以在設(shè)置在基板上的掩模上進(jìn)行以形成電極圖案層，所述掩模具有期望的電極圖案形狀。此外，在通過上述方法在整個基板上形成導(dǎo)電層之后，可以通過光刻形成電極圖案。

作為光敏抗蝕劑，可以使用負(fù)型光敏抗蝕劑或正型光敏抗蝕劑。

接下來，如圖7b中所示，形成了跡線的金屬層220。金屬層220可以通過諸如cvd、pvd或pecvd的工藝來沉積，但是本發(fā)明不限于此。

金屬可以是金、銀、銅、鉬、鋁、鈀、釹、鉑、鋅、錫、鈦及其合金中的任一種。

現(xiàn)在，如圖7c中所述，施加絕緣層160并圖案化。

絕緣層160的施加可以通過本領(lǐng)域中已知的常規(guī)涂布方法進(jìn)行。例如，可以提及旋涂、模涂、噴涂、輥涂、絲網(wǎng)涂布、狹縫涂布、浸涂、照相凹版涂布等。

圖案化絕緣層160以暴露跡線的金屬層220和傳感器電極110的一部分，以電連接位于有效區(qū)邊界處的傳感器電極110和跡線的金屬層220。

絕緣層160還用于電隔離第一傳感器電極110(圖1和3)和第二傳感器電極120(圖1)。為此，絕緣層160可以圖案化以完全覆蓋第一和第二傳感器電極110和120，并且具有用于形成傳感器橋電極的孔，或者絕緣層160可以圖案化以在多個第一傳感器電極110的連接上形成島。

現(xiàn)在，如圖7d中所示，導(dǎo)電材料圖案化以形成傳感器橋電極130和跡線橋電極140。

由于傳感器橋電極130或傳感器橋電極130和跡線橋電極140可以位于顯示區(qū)域上，因此優(yōu)選橋電極130和140由透明導(dǎo)電材料形成，以便降低橋電極130和140的可視性。用于形成橋電極130和140的透明導(dǎo)電材料可以是與用于形成上述傳感器電極的材料類似的材料。特別地，在可視性方面，優(yōu)選地將顯示區(qū)域上的傳感器電極110和橋接電極130和140之間的透射率之差限制為10％或更小。

接下來，如圖7e中所示，在形成傳感器橋電極130和跡線橋電極140之后，在整個表面上形成鈍化層170。

另一方面，根據(jù)圖4至6中所示的本發(fā)明的其它實(shí)施方式的觸摸傳感器可以通過在跡線的金屬層形成步驟、絕緣層形成步驟或上述兩個步驟中以類似方式進(jìn)行上述基本工藝和不同地圖案化來制造。

此外，為了克服當(dāng)使用柔性基板來實(shí)現(xiàn)柔性觸摸傳感器時(shí)的工藝?yán)щy，可以通過在載體基板上進(jìn)行處理，然后轉(zhuǎn)移到柔性膜基板來制備觸摸傳感器。

圖8a至8g是示出根據(jù)本發(fā)明另一個實(shí)施方式的制備觸摸傳感器的方法的截面圖，其使用載體基板進(jìn)行。

首先，如圖8a中所示，在載體基板180上形成間隔層190，并且在其上形成透明導(dǎo)電層，并對透明導(dǎo)電層進(jìn)行圖案化以形成傳感器電極110和跡線的透明導(dǎo)電層210。

載體基板180可以是玻璃，但是本發(fā)明不限于此。也就是說，如果它們是耐熱材料，則可以使用其它種類的基板作為載體基板180，所述耐熱材料能夠承受用于電極形成的處理溫度并且在高溫下保持平坦化而不變形。

當(dāng)使用載體基板180時(shí)，形成構(gòu)成觸摸傳感器的層，然后與載體基板180分離。為此，首先在載體基板180上形成間隔層190，并且在其上形成包括傳感器電極110和跡線的透明導(dǎo)電層210的透明導(dǎo)電層圖案。

間隔層190可以由有機(jī)聚合物制成，例如選自由聚丙烯酸酯、聚甲基丙烯酸酯(例如pmma)、聚酰亞胺、聚酰胺、聚乙烯醇、聚酰胺酸、聚烯烴(例如pe、pp)、聚苯乙烯、聚降冰片烯、苯基馬來酰亞胺共聚物、聚偶氮苯、聚亞苯基鄰苯二甲酰胺、聚酯(例如pet、pbt)、聚芳酯、肉桂酸酯聚合物、香豆素聚合物、苯并吡咯酮聚合物、查耳酮聚合物和芳香族炔屬聚合物所組成的組中的至少一種。

用于形成間隔層的組合物的施加可以通過本領(lǐng)域中已知的常規(guī)涂布法進(jìn)行，例如旋涂、模涂、噴涂、輥涂、絲網(wǎng)涂布、狹縫涂布、浸涂、照相凹版涂布等。在涂覆之后，通過熱固化或uv固化對間隔層190進(jìn)行固化。這些熱固化和uv固化可以單獨(dú)進(jìn)行或組合進(jìn)行。

在間隔層190上形成傳感器電極110和跡線的透明導(dǎo)電層210的工藝類似于上面參考圖7a所述的工藝。

接下來，如圖8b至8e中所示，按照順序形成跡線的金屬層220、絕緣層160、橋電極130和140以及鈍化層170。其形成步驟類似于上面參考圖7b至7e描述的那些步驟，并因此將省略其詳細(xì)描述。

然后，如圖8f中所示，其上形成有電極的間隔層190與用于執(zhí)行觸摸傳感器的制備過程的載體基板180分離。間隔層190可以通過物理剝離與載體基板180分離。剝離方法的實(shí)例可包括抬離和剝離，但不限于此。

對于剝離，可以施加1n/25mm或更小，優(yōu)選地0.1n/25mm或更小的力，并且該力可以根據(jù)間隔層的剝離強(qiáng)度而變化。如果剝離強(qiáng)度超過1n/25mm，則在從載體基板剝離期間膜接觸傳感器可能破裂，并且可能對膜接觸傳感器施加過大的力，從而導(dǎo)致膜接觸傳感器的變形，并且不能用作設(shè)備。

接下來，將柔性膜基板150附著至將載體基板180從其剝離的間隔層190的表面。作為膜基板150，可以使用如上所述的各種膜。

雖然在圖中未示出，但是如果需要，基板150可以粘附到與將載體基板180從其剝離的間隔層190的表面相對的鈍化層170上。

此外，盡管在附圖中未示出，但是如果需要，可以通過使用有機(jī)絕緣層或無機(jī)絕緣層在間隔層190上形成保護(hù)層。

此后，膜接觸傳感器可以附接有電路板，其中導(dǎo)電粘合劑可以用于與電路板的附接。

導(dǎo)電粘合劑是指使諸如銀、銅、鎳、碳、鋁和鍍金的導(dǎo)電填料分散在環(huán)氧樹脂、硅樹脂、聚氨酯樹脂、丙烯酸系樹脂或聚酰亞胺樹脂的粘結(jié)劑中的粘合劑。

電路板的附接可以在將觸摸傳感器與載體基板分離之前或之后進(jìn)行。

如此制造的觸摸傳感器可以附接至顯示面板。此時(shí)，可以施加聚合物材料例如光學(xué)透明粘合劑(oca)，然后可以通過光固化和熱固化來接合觸摸傳感器。

oca是施加物理力的膜型粘合劑，其可以通過完全粘合或邊界粘合而使用。

盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的特定實(shí)施方式和實(shí)例，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解，并不旨在將本發(fā)明限制于優(yōu)選實(shí)施方式，并且對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下可以進(jìn)行各種改變和修改。

因此，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。

附圖標(biāo)記的說明

100：有效區(qū)110、111、112、113：第一傳感器電極

120：第二傳感器電極130、131、132、133：傳感器橋電極

140、141、142、143：跡線橋電極

150、151、152、153：基板160、161、162、163：絕緣層

170、171、172、173：鈍化層180：載體基板

190：間隔層200：跡線

210、211、212、213：透明導(dǎo)電層

220、221、222、223：金屬層