本技術涉及機器視覺，特別是涉及一種定位點的生成方法、裝置、計算機設備、存儲介質(zhì)和計算機程序產(chǎn)品。

背景技術：

1、隨著半導體制造技術的進步，出現(xiàn)了利用高倍相機對透明晶圓進行拍攝和加工的新技術。然而在加工過程中，由于熱脹冷縮等因素，晶圓的位置可能會發(fā)生偏移。為了解決這一問題，工程師們采用了圖像識別定位晶圓確定晶圓的行列坐標，以糾正因加工造成的位置偏移。

2、然而，在對晶圓進行加工時，外界因素可能會影響晶圓邊框的識別準確性。因此，參考圖1所示，通常會使用廣角相機來確定晶圓的糾偏點（圖1中的黑點），并基于此將高倍相機精確定位到晶圓位置（灰色填充部分）。然而，這種方法可能受到載臺氣路紋理（灰色線條）對糾偏點的干擾，從而影響晶圓的定位精度。

3、在現(xiàn)有技術中，通常會在晶圓的頂部增加一個白色或近紅外點光源，同時結合載臺的背光源，以提高晶圓與氣路紋理之間的對比度，從而進一步降低載臺氣路紋理對糾偏點的干擾。然而，這種方式硬件成本極高，且無法完全消除載臺氣路紋理帶來的干擾，導致識別異常的報警率依然較高。

技術實現(xiàn)思路

1、基于此，有必要針對上述技術問題，提供一種能夠定位點的生成方法、裝置、計算機設備、計算機可讀存儲介質(zhì)和計算機程序產(chǎn)品。

2、第一方面，本技術提供了一種定位點的生成方法。所述方法包括：

3、獲取目標圖像；其中，所述目標圖像包括芯片的圖像以及載臺紋理的圖像；

4、確定所述目標圖像中芯片的初始定位點；

5、在所述初始定位點的像素值不符合預設閾值的情況下，以所述初始定位點為中心，預設的距離閾值為間隔依次查找，得到所述初始定位點對應的像素值符合預設閾值的替換定位點；

6、利用所述替換定位點，對所述初始定位點進行替換，得到目標定位點；其中，所述目標定位點用于定位所述芯片。

7、在其中一個實施例中，所述在所述初始定位點的像素值不符合預設閾值的情況下，以所述初始定位點為中心，預設的距離閾值為間隔依次查找，得到所述初始定位點對應的像素值符合預設閾值的替換定位點，包括：

8、在所述初始定位點的像素值符合預設閾值的情況下，將所述初始定位點確定為目標定位點；

9、在所述初始定位點的像素值不符合預設閾值的情況下，以所述初始定位點為中心，預設的距離閾值為間隔依次查找，得到所述初始定位點對應的像素值符合預設閾值的替換定位點。

10、在其中一個實施例中，所述確定所述目標圖像中芯片的初始定位點，包括：

11、獲取目標圖像中芯片的邊界信息；

12、利用預設的距離閾值以及所述邊界信息，依次確定預設方向的垂直線與芯片邊界信息交點的中點，得到所述初始定位點。

13、在其中一個實施例中，所述獲取目標圖像包括：

14、獲取初始目標圖像；其中，所述初始目標圖像包括初始目標圖像對應的像素坐標信息；

15、利用預設的修正策略，對所述初始目標圖像的像素坐標信息進行修正，得到像素修正坐標信息；

16、利用所述像素修正坐標信息，得到目標圖像。

17、在其中一個實施例中，所述目標圖像包括廣角相機下的圖像；所述定位點包括定位點在所述目標圖像中的第一坐標信息；所述利用所述替換定位點，對所述初始定位點進行替換，得到目標定位點之后，還包括：

18、利用預設的所述第一坐標信息與第二坐標信息的轉換策略，確定所述第一坐標信息對應的第二坐標信息；其中，所述第二坐標信息包括廣角相機下第一坐標信息對應的高倍相機下的坐標信息；

19、根據(jù)所述第二坐標信息，對高倍相機進行定位，確定所述芯片在高倍相機下的圖像。

20、在其中一個實施例中，所述轉換策略的獲取方式包括：

21、獲取樣本第一坐標信息和樣本第二坐標信息；

22、利用所述樣本第一坐標信息和樣本第二坐標信息，建立所述轉換策略。

23、第二方面，本技術還提供了一種定位點的生成裝置。所述裝置包括：

24、圖像獲取模塊，用于獲取目標圖像；其中，所述目標圖像包括芯片的圖像以及載臺紋理的圖像；

25、定位點確定模塊，用于確定所述目標圖像中芯片的初始定位點；

26、所述定位點確定模塊，還用于在所述初始定位點的像素值不符合預設閾值的情況下，以所述初始定位點為中心，預設的距離閾值為間隔依次查找，得到所述初始定位點對應的像素值符合預設閾值的替換定位點；

27、所述定位點確定模塊，還用于利用所述替換定位點，對所述初始定位點進行替換，得到目標定位點；其中，所述目標定位點用于定位所述芯片。

28、在其中一個實施例中，所述定位點確定模塊，包括：

29、定位點確定子模塊，用于在所述初始定位點的像素值符合預設閾值的情況下，將所述初始定位點確定為目標定位點；

30、所述定位點確定子模塊，還用于在所述初始定位點的像素值不符合預設閾值的情況下，以所述初始定位點為中心，預設的距離閾值為間隔依次查找，得到所述初始定位點對應的像素值符合預設閾值的替換定位點。

31、在其中一個實施例中，所述定位點確定模塊，包括：

32、邊界獲取子模塊，用于獲取目標圖像中芯片的邊界信息；

33、定位點確定子模塊，用于利用預設的距離閾值以及所述邊界信息，依次確定預設方向的垂直線與芯片邊界信息交點的中點，得到所述初始定位點。

34、在其中一個實施例中，所述圖像獲取模塊，包括：

35、圖像獲取子模塊，用于獲取初始目標圖像；其中，所述初始目標圖像包括初始目標圖像對應的像素坐標信息；

36、圖像修正子模塊，用于利用預設的修正策略，對所述初始目標圖像的像素坐標信息進行修正，得到像素修正坐標信息；

37、所述圖像獲取子模塊，還用于利用所述像素修正坐標信息，得到目標圖像。

38、在其中一個實施例中，所述裝置，還包括：

39、坐標轉換模塊，用于利用預設的所述第一坐標信息與第二坐標信息的轉換策略，確定所述第一坐標信息對應的第二坐標信息；其中，所述第二坐標信息包括廣角相機下第一坐標信息對應的高倍相機下的坐標信息；

40、所述圖像獲取模塊，還用于根據(jù)所述第二坐標信息，對高倍相機進行定位，確定所述芯片在高倍相機下的圖像。

41、在其中一個實施例中，所述坐標轉換模塊，包括：

42、樣本獲取子模塊，用于獲取樣本第一坐標信息和樣本第二坐標信息；

43、策略建立子模塊，用于利用所述樣本第一坐標信息和樣本第二坐標信息，建立所述轉換策略。

44、第三方面，本技術還提供了一種計算機設備。所述計算機設備包括存儲器和處理器，所述存儲器存儲有計算機程序，所述處理器執(zhí)行所述計算機程序時實現(xiàn)如本公開實施例任一項所述的定位點的生成方法。

45、第四方面，本技術還提供了一種計算機可讀存儲介質(zhì)。所述計算機可讀存儲介質(zhì)，其上存儲有計算機程序，所述計算機程序被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)如本公開實施例任一項所述的定位點的生成方法。

46、第五方面，本技術還提供了一種計算機程序產(chǎn)品。所述計算機程序產(chǎn)品，包括計算機程序，該計算機程序被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)如本公開實施例任一項所述的定位點的生成方法。

47、上述定位點的生成方法、裝置、計算機設備、存儲介質(zhì)和計算機程序產(chǎn)品，通過對目標圖像的芯片初始定位點進行確認，并判斷初始定位點的像素值，從而確定初始定位點是否被載臺紋理影響，進一步通過查找未被影響的定位點對初始定位點進行替換，得到用于定位芯片的目標定位點。通過對初始定位點的像素值進行判斷，可以準確篩選出被載臺紋理干擾的初始定位點，為干擾定位點的確認提供了數(shù)據(jù)基礎，提高了干擾定位點確定的準確性。同時，通過查找符合預設閾值的其他定位點對干擾定位點進行替換，使得目標定位點均為未被載臺紋理所影響的定位點，提高了目標定位點的準確性，進一步提高了利用目標定位點對芯片進行定位的準確性。