本發(fā)明涉及對(duì)半導(dǎo)體晶圓等進(jìn)行收納的載具的搬運(yùn)。

背景技術(shù)：

為了增加半導(dǎo)體處理裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)率，要求在其裝載區(qū)(load port)的附近設(shè)置臨時(shí)保管裝置(緩沖區(qū))。對(duì)于此，申請(qǐng)人在專利文獻(xiàn)1(JP2012-111635)中提出了如下方案：與橋式行駛車(OHT：Overhead Hoist Transport)的行駛軌道平行地并且在其下方設(shè)置區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道。而且，若將區(qū)間臺(tái)車和橋式行駛車雙方能夠進(jìn)行移載的緩沖區(qū)設(shè)置于區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道的下方且設(shè)置于裝載區(qū)的正上方以外的部分，則例如能夠設(shè)置四個(gè)緩沖區(qū)。在緩沖區(qū)的數(shù)量不足的情況下，考慮在橋式行駛車和區(qū)間臺(tái)車設(shè)置載具的橫向輸送機(jī)構(gòu)，并在區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道的斜下方追加緩沖區(qū)。

專利文獻(xiàn)1：JP2012-111635

然而，若在區(qū)間臺(tái)車設(shè)置載具的橫向輸送機(jī)構(gòu)，則區(qū)間臺(tái)車的高度增加。因此需要不增加區(qū)間臺(tái)車的高度就可以增加能夠臨時(shí)保管的載具的數(shù)量。本發(fā)明的課題在于，不在區(qū)間臺(tái)車設(shè)置橫向輸送機(jī)構(gòu)就可以增加能夠臨時(shí)保管的載具的數(shù)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

在本發(fā)明的搬運(yùn)系統(tǒng)中，在與處理裝置的裝載區(qū)之間移載載具，其具備：

橋式行駛車，其具備使載具升降的提升機(jī)、和對(duì)提升機(jī)進(jìn)行橫向輸送的橫向輸送機(jī)構(gòu)；

橋式行駛車的行駛軌道，其以在裝載區(qū)的正上部通過的方式配置于建筑物的頂棚空間；

區(qū)間臺(tái)車，其具備使載具升降的提升機(jī)；

區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道，其在橋式行駛車的行駛軌道的下方且在裝載區(qū)的正上部設(shè)置；

滑動(dòng)緩沖區(qū)，其在上述區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道的正下方的前進(jìn)位置與從上述區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道的正下方朝側(cè)方遠(yuǎn)離的后退位置之間自由滑動(dòng)，并且自由載置載具；以及

緩沖區(qū)控制器，其對(duì)上述區(qū)間臺(tái)車和上述滑動(dòng)緩沖區(qū)進(jìn)行控制，

為了進(jìn)行載具的移載，在上述后退位置將上述滑動(dòng)緩沖區(qū)的上方敞開，

上述橋式行駛車構(gòu)成為在與裝載區(qū)以及處于上述后退位置的滑動(dòng)緩沖區(qū)之間移載載具，

上述區(qū)間臺(tái)車構(gòu)成為在與裝載區(qū)以及處于上述前進(jìn)位置的滑動(dòng)緩沖區(qū)之間移載載具，

另外，上述區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道從裝載區(qū)的正上部延長(zhǎng)并延伸至從正上部偏離的區(qū)間臺(tái)車的待機(jī)位置，

上述區(qū)間臺(tái)車在上述待機(jī)位置待機(jī)。

在本發(fā)明的載具的搬運(yùn)方法中，利用具有橋式行駛車和區(qū)間臺(tái)車的搬運(yùn)系統(tǒng)在與處理裝置的裝載區(qū)之間搬運(yùn)載具，

上述搬運(yùn)系統(tǒng)具備：

橋式行駛車，其具備使載具升降的提升機(jī)、和對(duì)提升機(jī)進(jìn)行橫向輸送的橫向輸送機(jī)構(gòu)；

橋式行駛車的行駛軌道，其以在裝載區(qū)的正上部通過的方式配置于建筑物的頂棚空間；

區(qū)間臺(tái)車，其具備使載具升降的提升機(jī)；

區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道，其在橋式行駛車的行駛軌道的下方且在裝載區(qū)的正上部設(shè)置，

滑動(dòng)緩沖區(qū)，其在上述區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道的正下方的前進(jìn)位置與從上述區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道的正下方朝側(cè)方遠(yuǎn)離的后退位置之間自由滑動(dòng)，并且自由載置載具；以及

緩沖區(qū)控制器，其對(duì)上述區(qū)間臺(tái)車和上述滑動(dòng)緩沖區(qū)進(jìn)行控制，

為了進(jìn)行載具的移載，在上述后退位置將上述滑動(dòng)緩沖區(qū)的上方敞開，

另外，上述區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道從裝載區(qū)的正上部延長(zhǎng)并延伸至從正上部偏離的區(qū)間臺(tái)車的待機(jī)位置，

在上述載具的搬運(yùn)方法中，

利用上述橋式行駛車，在與裝載區(qū)以及處于上述后退位置的滑動(dòng)緩沖區(qū)之間移載載具，

利用上述區(qū)間臺(tái)車，在與裝載區(qū)以及處于上述前進(jìn)位置的滑動(dòng)緩沖區(qū)之間移載載具，

上述區(qū)間臺(tái)車在上述待機(jī)位置待機(jī)。

區(qū)間臺(tái)車以及橋式行駛車構(gòu)成為通過機(jī)載的控制器的程序、或者上位的控制器的程序來如上述那樣地工作。并且在該說明書中，關(guān)于載具的搬運(yùn)系統(tǒng)的記載同樣適用于載具的搬運(yùn)方法，反過來關(guān)于載具的搬運(yùn)方法的記載也同樣適用于載具的搬運(yùn)系統(tǒng)。并且關(guān)于滑動(dòng)緩沖區(qū)，優(yōu)選在區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道的單側(cè)沿行駛方向一列地設(shè)有多個(gè)，并且優(yōu)選在行駛軌道的兩側(cè)沿行駛方向兩列地設(shè)有多個(gè)。

在本發(fā)明中，不增加區(qū)間臺(tái)車的高度而利用滑動(dòng)緩沖區(qū)就能夠增加能夠緩沖的載具的個(gè)數(shù)。由于滑動(dòng)緩沖區(qū)能夠?qū)⒀b載區(qū)的正上部作為前進(jìn)位置，所以與僅設(shè)于區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道的兩端部的情況相比，能夠設(shè)置更多。由于橋式行駛車在與處于后退位置的滑動(dòng)緩沖區(qū)之間移載載具，區(qū)間臺(tái)車在與處于前進(jìn)位置的滑動(dòng)緩沖區(qū)之間移載載具，所以相對(duì)于滑動(dòng)緩沖區(qū)的移載的控制變得簡(jiǎn)單。由于區(qū)間臺(tái)車在從裝載區(qū)的正上部遠(yuǎn)離的位置待機(jī)，所以假使區(qū)間臺(tái)車產(chǎn)生故障，也不會(huì)妨礙裝載區(qū)與橋式行駛車之間的移載。

橋式行駛車具有橫向輸送機(jī)構(gòu)，通常不論相對(duì)于處于后退位置的滑動(dòng)緩沖區(qū)、還是相對(duì)于處于前進(jìn)位置的滑動(dòng)緩沖區(qū)都能夠載置載具。而且通過橋式行駛車本身的控制、或者通過來自實(shí)施例的OHT控制器等的上位的控制器的指令，在與處于后退位置的滑動(dòng)緩沖區(qū)之間載置載具。由此，橋式行駛車與滑動(dòng)緩沖區(qū)之間的移載不會(huì)妨礙區(qū)間臺(tái)車的行駛以及與裝載區(qū)之間的移載。此外，區(qū)間臺(tái)車可以通過自身的控制向待機(jī)位置移動(dòng)，也可以通過實(shí)施例的緩沖區(qū)控制器等的上位的控制器的指令向待機(jī)位置移動(dòng)。

優(yōu)選為，在上述區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道的正下方、且在從裝載區(qū)的正上部偏離的位置，以包括上述待機(jī)位置的正下方的方式設(shè)有自由載置載具的固定緩沖區(qū)。這樣一來，能夠進(jìn)一步增加緩沖區(qū)的數(shù)量。這里，若將固定緩沖區(qū)設(shè)置于與滑動(dòng)緩沖區(qū)相比以與一個(gè)載具的高度相對(duì)應(yīng)的量低一層的位置，則能夠以使固定緩沖區(qū)的上部作為前進(jìn)位置的方式設(shè)置滑動(dòng)緩沖區(qū)。

優(yōu)選為，作為滑動(dòng)緩沖區(qū)，具備在區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道的一側(cè)方自由滑動(dòng)的滑動(dòng)緩沖區(qū)、和在另一側(cè)方自由滑動(dòng)的滑動(dòng)緩沖區(qū)。而且橋式行駛車的橫向輸送機(jī)構(gòu)構(gòu)成為在行駛軌道的兩側(cè)方自由地橫向輸送提升機(jī)，不論相對(duì)于區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道的一側(cè)方的滑動(dòng)緩沖區(qū)，還是相對(duì)于另一側(cè)方的滑動(dòng)緩沖區(qū)，使橋式行駛車都在后退位置移載載具。這樣一來，在區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道的兩側(cè)方設(shè)置滑動(dòng)緩沖區(qū)，從而能夠在與橋式行駛車之間移載載具。

優(yōu)選為，沿上述橋式行駛車的行駛軌道設(shè)有用于進(jìn)行上述橋式行駛車與上述緩沖區(qū)控制器的通信的終端，

沿上述區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道設(shè)有用于進(jìn)行上述區(qū)間臺(tái)車與上述緩沖區(qū)控制器的通信的終端，

上述滑動(dòng)緩沖區(qū)由固定于上述后退位置的基座、和在上述前進(jìn)位置與基座上之間進(jìn)退的可動(dòng)的臺(tái)座構(gòu)成，

另外，設(shè)有對(duì)上述臺(tái)座處于上述前進(jìn)位置的情況進(jìn)行檢測(cè)的傳感器、和對(duì)上述臺(tái)座處于上述基座上的情況進(jìn)行檢測(cè)的傳感器，

上述區(qū)間臺(tái)車在向裝載區(qū)的正上部進(jìn)入之前，經(jīng)由終端向上述緩沖區(qū)控制器請(qǐng)求進(jìn)入許可，并且在進(jìn)行與上述滑動(dòng)緩沖區(qū)之間的移載之前，經(jīng)由終端向上述緩沖區(qū)控制器請(qǐng)求移載的許可，

上述橋式行駛車在進(jìn)行與裝載區(qū)之間的移載之前，經(jīng)由終端向上述緩沖區(qū)控制器請(qǐng)求與裝載區(qū)之間的移載的許可，并且在進(jìn)行與上述滑動(dòng)緩沖區(qū)之間的移載之前，經(jīng)由終端向上述緩沖區(qū)控制器請(qǐng)求與上述滑動(dòng)緩沖區(qū)之間的移載的許可，

上述緩沖區(qū)控制器在不和來自上述橋式行駛車的與裝載區(qū)之間的移載產(chǎn)生沖突的情況下，經(jīng)由終端對(duì)上述區(qū)間臺(tái)車給予進(jìn)入許可，并且在上述滑動(dòng)緩沖區(qū)處于前進(jìn)位置的情況下，經(jīng)由終端對(duì)上述區(qū)間臺(tái)車許可移載，

并且，上述緩沖區(qū)控制器在不和上述區(qū)間臺(tái)車的進(jìn)入產(chǎn)生沖突的情況下，經(jīng)由終端對(duì)上述橋式行駛車許可與裝載區(qū)之間的移載，并且在上述滑動(dòng)緩沖區(qū)處于后退位置的情況下，經(jīng)由終端對(duì)上述橋式行駛車許可與上述滑動(dòng)緩沖區(qū)之間的移載。

這樣一來，通過經(jīng)由終端的通信，能夠排除橋式行駛車在和裝載區(qū)之間進(jìn)行的移載與區(qū)間臺(tái)車的行駛之間的干涉。因此，能夠排除橋式行駛車與區(qū)間臺(tái)車之間的干涉。并且，由于檢測(cè)滑動(dòng)緩沖區(qū)是處于前進(jìn)位置還是處于后退位置來許可移載，所以橋式行駛車或區(qū)間臺(tái)車不會(huì)嘗試在與未處于所希望的位置的滑動(dòng)緩沖區(qū)之間進(jìn)行移載。

附圖說明

圖1是實(shí)施例的載具的搬運(yùn)系統(tǒng)的主要部分俯視圖。

圖2是實(shí)施例的載具的臨時(shí)保管裝置的局部剖開側(cè)視圖。

圖3是實(shí)施例的載具的搬運(yùn)系統(tǒng)的局部剖開主視圖。

圖4是示意性地示出使容納能力更大的變形例的主要部分俯視圖。

圖5是示意性地示出使容納能力更大的變形例的主要部分側(cè)視圖。

圖6是示意性地示出與較小的處理裝置對(duì)應(yīng)的變形例的主要部分俯視圖。

圖7是滑動(dòng)緩沖區(qū)的俯視圖。

圖8是區(qū)間臺(tái)車的俯視圖。

圖9是示出實(shí)施例的控制系統(tǒng)的框圖。

圖10是示出實(shí)施例的聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)的框圖。

圖11是示出實(shí)施例中的橋式行駛車所進(jìn)行的移載算法的圖。

圖12是示出實(shí)施例中的避免橋式行駛車與區(qū)間臺(tái)車的干涉的算法的圖。

圖13是利用支柱從頂棚對(duì)載具的臨時(shí)保管裝置進(jìn)行支承的變形例的局部剖開側(cè)視圖。

具體實(shí)施方式

以下示出用于實(shí)施本發(fā)明的最優(yōu)實(shí)施例。本發(fā)明的范圍應(yīng)該基于權(quán)利要求書的記載，參考說明書的記載和本領(lǐng)域的公知技術(shù)，并根據(jù)本領(lǐng)域技術(shù)人員的理解來確定。

實(shí)施例

在圖1～圖12示出實(shí)施例的載具的搬運(yùn)系統(tǒng)和其變形例。搬運(yùn)系統(tǒng)由橋式行駛車系統(tǒng)和臨時(shí)保管裝置2構(gòu)成，任一個(gè)都設(shè)在無塵室內(nèi)等，從無塵室的頂棚支承有圖3所示的橋式行駛車30(OHT)的行駛軌道4。6是半導(dǎo)體等的處理裝置，處理裝置包括檢查裝置，并且具備一個(gè)～多個(gè)裝載區(qū)16。并且，半導(dǎo)體晶圓、中間掩模等物品被收納于FOUP(Front-Opening Unified Pod)等載具18，而被臨時(shí)保管于滑動(dòng)緩沖區(qū)12、固定緩沖區(qū)14，并且由橋式行駛車(OHT)30和區(qū)間臺(tái)車10搬運(yùn)。

臨時(shí)保管裝置2在無塵室內(nèi)的通道7上配置為不與人干涉的高度。區(qū)間臺(tái)車10在臨時(shí)保管裝置2的最上部沿一對(duì)行駛軌道8、8而在裝載區(qū)16的列的正上部與處理裝置6平行地行駛。在行駛軌道8、8之間存在供載具18可通過的縫隙，橋式行駛車30和區(qū)間臺(tái)車10以在行駛軌道8、8的縫隙通過的方式對(duì)載具18進(jìn)行移載。

在與裝載區(qū)16等對(duì)應(yīng)的位置，使滑動(dòng)緩沖區(qū)12支承于臨時(shí)保管裝置2的框架13?；瑒?dòng)緩沖區(qū)12在處于行駛軌道8、8的正下方的前進(jìn)位置與從行駛軌道8、8的下部遠(yuǎn)離的后退位置之間自由進(jìn)退。并且優(yōu)選為，除滑動(dòng)緩沖區(qū)12之外，還將固定緩沖區(qū)14設(shè)置于行駛軌道8、8的兩端或一端。而且，裝載區(qū)16的上部和固定緩沖區(qū)14的上部成為區(qū)間臺(tái)車10以及橋式行駛車30的停止位置，固定緩沖區(qū)14的上部也是區(qū)間臺(tái)車10的待機(jī)位置。此外，也可以設(shè)置滑動(dòng)緩沖區(qū)12來代替固定緩沖區(qū)14，而不設(shè)置固定緩沖區(qū)14。由于將除裝載區(qū)16的上部以外的位置設(shè)為區(qū)間臺(tái)車10的待機(jī)位置，所以即使區(qū)間臺(tái)車10產(chǎn)生故障，也不會(huì)妨礙裝載區(qū)16與橋式行駛車30的移載。

區(qū)間臺(tái)車10以及橋式行駛車30的停止位置與裝載區(qū)16以及固定緩沖區(qū)14以1：1對(duì)應(yīng)，并在每個(gè)停止位置設(shè)置圖10所示的終端100～102，使橋式行駛車30的移載作業(yè)與區(qū)間臺(tái)車10的進(jìn)入之間的聯(lián)鎖成立。20是光傳感器，21是反射板，它們?cè)O(shè)置于每個(gè)停止位置。而且，由于與反射板21之間被遮擋，所以利用光傳感器20對(duì)出自橋式行駛車30的升降臺(tái)、懸掛升降臺(tái)的帶、或者升降臺(tái)所正把持的載具進(jìn)行檢測(cè)。22是緩沖區(qū)控制器，進(jìn)行區(qū)間臺(tái)車10的控制和滑動(dòng)緩沖區(qū)12的控制、橋式行駛車30和區(qū)間臺(tái)車10的聯(lián)鎖、以及與處理裝置6的通信。

如圖2、圖3所示，臨時(shí)保管裝置2由門形的架臺(tái)24支承，架臺(tái)24的靠通道7側(cè)的前表面25相對(duì)于通道7，進(jìn)入至與裝載區(qū)16的前表面26大致相同的位置，或者處于與前表面26相比更靠近處理裝置6的位置。因此，通道7的寬度W根據(jù)裝載區(qū)16的位置來決定，從而即使設(shè)置臨時(shí)保管裝置2，通道7的寬度W也不會(huì)變窄。此外，大致相同是指前表面之差例如為±100mm以下，尤其是±50mm以下，優(yōu)選前表面25、26處于大致相同的位置。然而，臨時(shí)保管裝置2也可以從無塵室的頂棚或者橋式行駛車30的行駛軌道4懸掛。但是，若以使臨時(shí)保管裝置2支承于架臺(tái)24的方式將臨時(shí)保管裝置2搬入無塵室內(nèi)并定位，則能夠容易地設(shè)置臨時(shí)保管裝置2。而且，若架臺(tái)24的前表面25與裝載區(qū)16相比不會(huì)更向通道7側(cè)進(jìn)入，則不會(huì)使通道7變窄。

圖3中示出橋式行駛車30的結(jié)構(gòu)。行駛部32在行駛軌道4內(nèi)行駛并且對(duì)橫向輸送機(jī)構(gòu)33進(jìn)行支承，橫向輸送機(jī)構(gòu)33沿在水平面內(nèi)與行駛軌道4垂直的方向?qū)ι凋?qū)動(dòng)部34進(jìn)行橫向輸送。升降驅(qū)動(dòng)部34導(dǎo)出以及卷繞帶36等懸掛件，使自由夾持以及釋放載具18的升降臺(tái)35升降。升降驅(qū)動(dòng)部34、升降臺(tái)35以及帶36構(gòu)成提升機(jī)。而且，上述的光傳感器20對(duì)提升機(jī)以及支承于提升機(jī)的載具進(jìn)行檢測(cè)。38是防止載具18落下的落下防止蓋，除此以外，也可以追加使升降驅(qū)動(dòng)部34繞鉛垂軸轉(zhuǎn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)。此外，在不具備橫向輸送機(jī)構(gòu)33的橋式行駛車中，使滑動(dòng)緩沖區(qū)12前進(jìn)至行駛軌道8、8的下部來進(jìn)行移載。

圖1～圖3的臨時(shí)保管裝置2具備四個(gè)滑動(dòng)緩沖區(qū)12、以及兩個(gè)固定緩沖區(qū)14，處理裝置6的裝載區(qū)16例如是四個(gè)。與此相對(duì)地，圖4、圖5中示出針對(duì)四個(gè)裝載區(qū)16使載具18的容納能力最大的臨時(shí)保管裝置40。在臨時(shí)保管裝置40中，固定緩沖區(qū)14設(shè)置于與滑動(dòng)緩沖區(qū)12相比以與一個(gè)載具的高度相對(duì)應(yīng)的量低一層的位置(圖5)，其結(jié)果，臨時(shí)保管裝置40所占據(jù)的高度增加?；瑒?dòng)緩沖區(qū)12設(shè)置于行駛軌道8、8的兩側(cè)，且在固定緩沖區(qū)14的上部，以前進(jìn)到固定緩沖區(qū)14的上部的方式設(shè)置有從裝載區(qū)16偏離的滑動(dòng)緩沖區(qū)12’。其結(jié)果，能夠設(shè)置八個(gè)滑動(dòng)緩沖區(qū)12、四個(gè)從裝載區(qū)16偏離的滑動(dòng)緩沖區(qū)12'、以及兩個(gè)固定緩沖區(qū)14，固定緩沖區(qū)14的上部是區(qū)間臺(tái)車10的待機(jī)位置。

圖6示出與小型的處理裝置6'對(duì)應(yīng)且容納能力較小的臨時(shí)保管裝置60。處理裝置6'具備兩個(gè)裝載區(qū)16，臨時(shí)保管裝置60具備四個(gè)滑動(dòng)緩沖區(qū)，將從裝載區(qū)16偏離的滑動(dòng)緩沖區(qū)12'的上部設(shè)為區(qū)間臺(tái)車10的待機(jī)位置。此外，雖然根據(jù)圖5所示能夠追加兩個(gè)固定緩沖區(qū)14，但是臨時(shí)保管裝置60所占據(jù)的高度增加。

圖7示出滑動(dòng)緩沖區(qū)12的構(gòu)造，70是基座，固定于臨時(shí)保管裝置的框架，臺(tái)座72借助車輪73沿軌道71、71在前進(jìn)位置與后退位置之間前進(jìn)后退。此外，前進(jìn)位置是區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道的正下方的位置，后退位置是遠(yuǎn)離前進(jìn)位置的位置。設(shè)于臺(tái)座72的例如三個(gè)定位銷74對(duì)載具18的底部進(jìn)行定位。載具傳感器75對(duì)載具18的有無進(jìn)行檢測(cè)，落座傳感器76對(duì)載具18落座于定位銷74上的正確的位置進(jìn)行檢測(cè)，ID讀取器77對(duì)載具的ID進(jìn)行讀取。此外，也可以不設(shè)置ID讀取器77，傳感器75、76、ID讀取器77也同樣地設(shè)于固定緩沖區(qū)。

利用氣壓缸、液壓缸等的缸筒78和活塞79、或者利用未圖示的馬達(dá)和同步帶等，使線性導(dǎo)向件80沿軌道81前進(jìn)后退。利用由同步帶82等構(gòu)成的倍速機(jī)構(gòu)，使臺(tái)座72以線性導(dǎo)向件80的兩倍的行程前進(jìn)后退。此外，該倍速機(jī)構(gòu)是在滑叉中廣泛地應(yīng)用的部件，并且臺(tái)座72的前進(jìn)后退的機(jī)構(gòu)是任意的。傳感器83對(duì)線性導(dǎo)向件80處于后退位置的情況進(jìn)行檢測(cè)，并且傳感器84對(duì)線性導(dǎo)向件80處于前進(jìn)位置的情況進(jìn)行檢測(cè)。纜線導(dǎo)向件85以自由彎曲的方式對(duì)電源線和信號(hào)線進(jìn)行導(dǎo)向，在基座70側(cè)連接傳感器75、76以及ID讀取器77。傳感器83、84的作用是對(duì)臺(tái)座72的位置進(jìn)行檢測(cè)，由此也可以在軌道71上安裝對(duì)臺(tái)座的前端位置進(jìn)行檢測(cè)的光傳感器和對(duì)后端位置進(jìn)行檢測(cè)的光傳感器等。

圖8示出區(qū)間臺(tái)車10的結(jié)構(gòu)。區(qū)間臺(tái)車10借助車輪86和未圖示的馬達(dá)沿一對(duì)行駛軌道8、8行駛，并借助升降驅(qū)動(dòng)部87和未圖示的帶等使自由夾持/釋放載具18的升降臺(tái)88升降。除此以外，區(qū)間臺(tái)車10還具備與緩沖區(qū)控制器22進(jìn)行通信的通信裝置、以及與用于與橋式行駛車30聯(lián)鎖的終端進(jìn)行通信的通信裝置、電池等電源、機(jī)載的控制器。

圖9示出臨時(shí)保管裝置2和其周圍的控制系統(tǒng)。材料管理系統(tǒng)(MCS)90與未圖示的上位控制器等進(jìn)行通信，接收關(guān)于載具的搬運(yùn)的請(qǐng)求，并對(duì)OHT控制器92和緩沖區(qū)控制器22指示搬運(yùn)。OHT控制器92對(duì)多臺(tái)橋式行駛車30指示搬運(yùn)，緩沖區(qū)控制器22對(duì)區(qū)間臺(tái)車10指示搬運(yùn)，并且對(duì)滑動(dòng)緩沖區(qū)12的前進(jìn)后退進(jìn)行控制。緩沖區(qū)控制器22構(gòu)成為：

·利用光傳感器20、傳感器75、76、ID讀取器77、傳感器83、84以及后述的終端等，對(duì)臨時(shí)保管裝置2的狀態(tài)(每個(gè)緩沖區(qū)的載具的有無和滑動(dòng)緩沖區(qū)12的位置)進(jìn)行檢測(cè)，

·并且，進(jìn)行橋式行駛車30與區(qū)間臺(tái)車10的聯(lián)鎖。

圖10示出橋式行駛車30與區(qū)間臺(tái)車10的聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)。光傳感器20對(duì)出自橋式行駛車30的帶、升降臺(tái)等提升機(jī)進(jìn)行檢測(cè)，或者對(duì)橋式行駛車30所正升降的載具進(jìn)行檢測(cè)。由此，能夠一起對(duì)橋式行駛車30正進(jìn)行載具的移載的情況和橋式行駛車30的停止位置進(jìn)行檢測(cè)。

在橋式行駛車30在與行駛軌道的正下方的裝載區(qū)、固定緩沖區(qū)以及正在行駛軌道的正下方前進(jìn)的滑動(dòng)緩沖區(qū)之間移載載具的情況下，經(jīng)由終端100對(duì)緩沖區(qū)控制器22請(qǐng)求移載的許可。在區(qū)間臺(tái)車10在與這些位置之間移載載具的情況下，經(jīng)由終端101對(duì)緩沖區(qū)控制器22請(qǐng)求移載的許可。

緩沖區(qū)控制器22根據(jù)傳感器83、84的信號(hào)對(duì)滑動(dòng)緩沖區(qū)的位置進(jìn)行檢測(cè)，另外對(duì)在滑動(dòng)緩沖區(qū)與固定緩沖區(qū)處的載具的有無進(jìn)行確認(rèn)，在能夠移載的情況下許可請(qǐng)求。并且緩沖區(qū)控制器22與處理裝置6進(jìn)行通信，將橋式行駛車30以及區(qū)間臺(tái)車10與裝載區(qū)之間的載具的移載請(qǐng)求轉(zhuǎn)送至處理裝置6，并從處理裝置6接收許可信號(hào)。緩沖區(qū)控制器22基于上述處理，從終端100、101向橋式行駛車30和區(qū)間臺(tái)車10發(fā)送移載的許可。來自緩沖區(qū)控制器22的移載的許可信號(hào)被設(shè)置于終端100、101，在橋式行駛車30和區(qū)間臺(tái)車10確定了移載的許可之后，執(zhí)行移載。

雖然對(duì)關(guān)于區(qū)間臺(tái)車10和橋式行駛車30的移載的處理進(jìn)行了說明，但來自橋式行駛車30的移載與區(qū)間臺(tái)車10的進(jìn)入沖突。因此，在每個(gè)要進(jìn)入的停止位置，區(qū)間臺(tái)車10都經(jīng)由終端101對(duì)緩沖區(qū)控制器22請(qǐng)求許可。若緩沖區(qū)控制器22不與橋式行駛車30的移載干涉，則在每個(gè)停止位置許可來自區(qū)間臺(tái)車10的進(jìn)入請(qǐng)求，并在區(qū)間臺(tái)車10經(jīng)由終端101確認(rèn)了進(jìn)入許可信號(hào)之后，進(jìn)入被許可的停止位置。

在橋式行駛車30與存在于后退位置(從區(qū)間臺(tái)車10的行駛軌道的下方遠(yuǎn)離的位置)的滑動(dòng)緩沖區(qū)之間，能夠利用橫向輸送裝置對(duì)載具進(jìn)行移載。該移載不與區(qū)間臺(tái)車10的行駛干涉，并且也不與區(qū)間臺(tái)車10所進(jìn)行的移載干涉。在該情況下，橋式行駛車10從終端102對(duì)緩沖區(qū)控制器22請(qǐng)求移載的許可，若被請(qǐng)求的滑動(dòng)緩沖區(qū)以能夠移載的狀態(tài)存在，則緩沖區(qū)控制器22許可請(qǐng)求。此外，也可以使終端102與終端100成為一體。

雖然橋式行駛車30相對(duì)于裝載區(qū)以及固定緩沖區(qū)所進(jìn)行的移載與區(qū)間臺(tái)車10的進(jìn)入(行駛)干涉，但利用基于終端100、101的聯(lián)鎖能夠避免干涉。假使利用經(jīng)由終端100的聯(lián)鎖的話存在不足的情況下，通過對(duì)出自橋式行駛車30的帶、升降臺(tái)、載具等進(jìn)行檢測(cè)，也能夠避免區(qū)間臺(tái)車10與橋式行駛車30的干涉。在處于后退位置的滑動(dòng)緩沖區(qū)與橋式行駛車30之間的移載中，能夠經(jīng)由終端102使聯(lián)鎖成立。并且，緩沖區(qū)控制器22能夠利用傳感器83、84對(duì)滑動(dòng)緩沖區(qū)的位置進(jìn)行檢測(cè)。

這些聯(lián)鎖也可以不通過緩沖區(qū)控制器22而通過其他控制器來處理。并且，在緩沖區(qū)控制器22從區(qū)間臺(tái)車10接收到位置的報(bào)告的情況下，也可以代替終端101與區(qū)間臺(tái)車10進(jìn)行通信，而緩沖區(qū)控制器22向內(nèi)置的聯(lián)鎖處理部請(qǐng)求區(qū)間臺(tái)車10的進(jìn)入許可并自動(dòng)許可。

圖11示出橋式行駛車所進(jìn)行的與臨時(shí)保管裝置之間的移載算法。在與滑動(dòng)緩沖區(qū)之間的移載(處理p1)中，若橋式行駛車具備橫向輸送裝置，則使滑動(dòng)緩沖區(qū)從行駛軌道的下方的位置后退，在不與區(qū)間臺(tái)車干涉的位置進(jìn)行移載。在沒有橫向輸送裝置的情況下，使滑動(dòng)緩沖區(qū)前進(jìn)至行駛軌道的下方來進(jìn)行移載，該情況下的聯(lián)鎖和與裝載區(qū)之間的移載相同。

在與裝載區(qū)之間的移載(處理p2)中，使滑動(dòng)緩沖區(qū)從圖1的行駛軌道8、8的正下方后退來進(jìn)行移載。并且，在與固定緩沖區(qū)之間的移載(處理p3)中，如圖5所示，當(dāng)在固定緩沖區(qū)上存在滑動(dòng)緩沖區(qū)的情況下，使滑動(dòng)緩沖區(qū)從固定緩沖區(qū)的上部后退來進(jìn)行移載。

圖12示出避免橋式行駛車與區(qū)間臺(tái)車的干涉的算法。在橋式行駛車(OHT)在與處于區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道的正下方的滑動(dòng)緩沖區(qū)、裝載區(qū)、固定緩沖區(qū)之間移載載具的情況下，預(yù)先經(jīng)由終端請(qǐng)求移載的許可。并且，區(qū)間臺(tái)車對(duì)每個(gè)要進(jìn)入的停止位置請(qǐng)求進(jìn)入的許可，并在進(jìn)行移載的情況下，除了進(jìn)入的許可之外還請(qǐng)求移載的許可。而且，通過在相同的停止位置只許可來自橋式行駛車的移載請(qǐng)求和區(qū)間臺(tái)車的進(jìn)入請(qǐng)求中的一方，來避免橋式行駛車與區(qū)間臺(tái)車的干涉(處理p5)。

若在橋式行駛車開始了與裝載區(qū)等之間的移載之后發(fā)生錯(cuò)誤，則存在無法向終端送出表示處于移載中的內(nèi)容的信號(hào)。在該狀況下，有緩沖區(qū)控制器橋式無法識(shí)別行駛車處于移載中的情況的可能性。該問題可以通過緩沖區(qū)控制器以非易失性的方式存儲(chǔ)橋式行駛車處于移載中的情況來解決，但利用圖1的光傳感器20來檢測(cè)橋式行駛車的提升機(jī)、升降中的載具等的話更為可靠。因此，若對(duì)提升機(jī)等進(jìn)行檢測(cè)，則禁止區(qū)間臺(tái)車向其停止位置進(jìn)入(處理p6)。

區(qū)間臺(tái)車對(duì)每個(gè)停止位置請(qǐng)求進(jìn)入的許可。在對(duì)區(qū)間臺(tái)車許可了進(jìn)入的范圍內(nèi)，緩沖區(qū)控制器不許可橋式行駛車所進(jìn)行的與裝載區(qū)等之間的移載(處理p7)。此外，與在從圖1的行駛軌道8、8的下方遠(yuǎn)離的位置存在的滑動(dòng)緩沖區(qū)之間的移載不干涉區(qū)間臺(tái)車。因此，不需要避免干涉處理(處理p8)。

此外，也可以如圖13所示，利用支柱41與安裝部42從無塵室的頂棚40對(duì)臨時(shí)保管裝置2進(jìn)行支承，而省略架臺(tái)24。并且43是橋式行駛車30的行駛軌道4的支柱。

附圖標(biāo)記說明

2、40、60…臨時(shí)保管裝置(臨時(shí)保管裝置)；4…橋式行駛車的行駛軌道；6…處理裝置；7…通道；8…區(qū)間臺(tái)車的行駛軌道；10…區(qū)間臺(tái)車；12…滑動(dòng)緩沖區(qū)；13…框架；14…固定緩沖區(qū)；16…裝載區(qū)；18…載具；20…光傳感器；21…反射板；22…緩沖區(qū)控制器(控制器)；24…架臺(tái)；25、26…前表面；30…橋式行駛車(OHT)；32…行駛部；33…橫向輸送機(jī)構(gòu)；34…升降驅(qū)動(dòng)部；35…升降臺(tái)；36…帶；38…落下防止蓋；40…頂棚；41、43…支柱；42…安裝部；70…基座；71…軌道；72…臺(tái)座；73…車輪；74…定位銷；75…載具傳感器；76…落座傳感器；77…ID讀取器；78…缸筒；79…活塞；80…線性導(dǎo)向件；81…軌道；82…同步帶；83、84…傳感器；85…纜線導(dǎo)向件；86…車輪；87…升降驅(qū)動(dòng)部；88…升降臺(tái)；90…材料管理系統(tǒng)(MCS)；92…OHT控制器；100～102…終端。