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具有柔性互連件的半導(dǎo)體裝置及其制造方法與流程

文檔序號:11064278閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置包括:

多個半導(dǎo)體芯片,彼此分隔開,其中,間隔區(qū)形成在多個半導(dǎo)體芯片的相鄰的半導(dǎo)體芯片之間;

再分布層,設(shè)置在至少一個半導(dǎo)體芯片上,其中,再分布層包括電連接到至少一個半導(dǎo)體芯片的至少一條再分布線,

其中,再分布層包括具有再分布層的一部分和至少一條再分布線的設(shè)置在間隔區(qū)中的部分的互連件,

其中,互連件包括設(shè)置在間隔區(qū)中的至少一條再分布線上的有機(jī)層,其中,有機(jī)層比多個半導(dǎo)體芯片柔軟。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中,每個半導(dǎo)體芯片包括具有電路層的有效表面和與有效表面相對的非有效表面,

其中,再分布層設(shè)置在有效表面上。

3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置,其中,再分布層覆蓋有效表面。

4.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置,其中,每個半導(dǎo)體芯片包括電連接到電路層的鍵合焊盤,

其中,再分布層包括:

第一有機(jī)層,設(shè)置在有效表面上,并具有暴露鍵合焊盤的第一開口;

至少一條再分布線,通過第一開口電連接到鍵合焊盤;

第二有機(jī)層,設(shè)置在第一有機(jī)層上,并覆蓋至少一條再分布線。

5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中,每個半導(dǎo)體芯片包括面向間隔區(qū)的側(cè)壁,

其中,互連件不設(shè)置在半導(dǎo)體芯片的側(cè)壁上。

6.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置還包括:

外部端子,設(shè)置在再分布層上并電連接到至少一條再分布線。

7.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中,至少一條再分布線將半導(dǎo)體芯片彼此電連接。

8.一種半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置包括:

至少兩個彼此沒有物理地結(jié)合的半導(dǎo)體芯片,每個半導(dǎo)體芯片具有電路層;

再分布層,設(shè)置在半導(dǎo)體芯片的電路層上,再分布層電連接到電路層,

其中,再分布層包括:

再分布線,電連接到電路層;

圍繞再分布線的絕緣層,其中,絕緣層比半導(dǎo)體芯片柔軟,

其中,再分布層包括將至少兩個半導(dǎo)體芯片彼此連接的互連件。

9.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體裝置,其中,再分布層的絕緣層包括有機(jī)層。

10.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體裝置,其中,再分布層的絕緣層包括:

第一有機(jī)層,設(shè)置在電路層上;以及

第二有機(jī)層,設(shè)置在第一有機(jī)層上并覆蓋再分布線,

其中,互連件包括設(shè)置在第一有機(jī)層和第二有機(jī)層之間的金屬線,

其中,金屬線將半導(dǎo)體芯片彼此電連接。

11.一種半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置包括:

至少兩個半導(dǎo)體芯片,彼此分隔開,間隔區(qū)形成在至少兩個半導(dǎo)體芯片的每個之間;

再分布層,設(shè)置在每個半導(dǎo)體芯片上,

其中,每個半導(dǎo)體芯片包括:

包括電路層的頂表面和與頂表面相對的底表面;

鍵合焊盤,通過頂表面暴露并電連接到電路層,

其中,再分布層包括:

第一絕緣層,覆蓋半導(dǎo)體芯片的頂表面并具有暴露鍵合焊盤的第一開口;

至少一條再分布線,設(shè)置在第一絕緣層上并通過第一開口連接到鍵合焊盤;

第二絕緣層,設(shè)置在第一絕緣層上并覆蓋至少一條再分布線,其中,第一絕緣層和第二絕緣層包括比半導(dǎo)體芯片柔軟的有機(jī)層;以及

穿過間隔區(qū)的互連件,

其中,互連件包括將至少兩個半導(dǎo)體芯片彼此電連接的金屬線,其中,有機(jī)層圍繞金屬線,

其中,互連件在半導(dǎo)體芯片之間能夠自由地彎曲。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置還包括:

連接到至少一條再分布線的球置焊盤;和

連接到球置焊盤的端子,

其中,第二絕緣層具有暴露至少一條再分布線的第二開口,

其中,球置焊盤通過第二開口連接到至少一條再分布線。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置還包括:

成型層,分別設(shè)置在每個半導(dǎo)體芯片的底表面上。

14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置,其中,有機(jī)層包括聚酰亞胺。

15.一種制造半導(dǎo)體裝置的方法,所述方法包括:

提供至少兩個半導(dǎo)體芯片,每個半導(dǎo)體芯片包括電路層和電連接到電路層的鍵合焊盤;

在半導(dǎo)體芯片上形成電連接到鍵合焊盤的再分布層,

其中,再分布層的形成包括:

在半導(dǎo)體芯片上形成具有暴露鍵合焊盤的第一開口的第一絕緣層;

在第一絕緣層上形成通過第一開口連接到鍵合焊盤的再分布線;

在第一絕緣層上形成覆蓋再分布線的第二絕緣層,

其中,半導(dǎo)體芯片彼此分隔開,間隔區(qū)設(shè)置在半導(dǎo)體芯片之間,

其中,第一絕緣層和第二絕緣層包括比半導(dǎo)體芯片柔軟的有機(jī)層,

其中,再分布層包括穿過間隔區(qū)的柔性互連件。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法,其中,柔性互連件包括:

將半導(dǎo)體芯片彼此電連接的金屬線和圍繞金屬線的有機(jī)層。

17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法,其中,半導(dǎo)體芯片的提供包括:

按照在支撐板上半導(dǎo)體芯片彼此分隔開并且間隔區(qū)置于半導(dǎo)體芯片之間的方式在支撐板上提供半導(dǎo)體芯片。

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法,其中,支撐板具有在其上設(shè)置有半導(dǎo)體芯片的平坦的頂表面。

19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法,其中,支撐板包括填充間隔區(qū)的突起。

20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法,其中,柔性互連件沒有固定在半導(dǎo)體芯片的面向間隔區(qū)的側(cè)壁上。

21.一種半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置包括:

多個半導(dǎo)體芯片,彼此分隔開,其中,間隔區(qū)形成在多個半導(dǎo)體芯片中相鄰的半導(dǎo)體芯片之間,其中,每個半導(dǎo)體芯片包括面向間隔區(qū)的側(cè)壁;

再分布層,包括再分布線和圍繞再分布線的柔性絕緣層,

其中,再分布層形成將多個半導(dǎo)體芯片中相鄰的半導(dǎo)體芯片彼此連接的柔性互連件,其中,柔性互連件沒有設(shè)置在半導(dǎo)體芯片的側(cè)壁上,其中,柔性互連件比多個半導(dǎo)體芯片柔軟。

22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的半導(dǎo)體裝置,其中,再分布線設(shè)置在至少一個鍵合焊盤上。

23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的半導(dǎo)體裝置,其中,至少一個鍵合焊盤設(shè)置在電路層上,所述電路層設(shè)置在多個半導(dǎo)體芯片中的每個的上端中。

24.根據(jù)權(quán)利要求21所述的半導(dǎo)體裝置,其中,每個半導(dǎo)體芯片包括設(shè)置在半導(dǎo)體芯片的至少一個表面上的成型層。

25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的半導(dǎo)體裝置,其中,成型層設(shè)置在每個半導(dǎo)體芯片的底表面上以及每個半導(dǎo)體芯片的背向間隔區(qū)的側(cè)表面上。

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