本發(fā)明涉及柔性顯示屏的制造領(lǐng)域，特別涉及一種用于柔性屏基板的剝離設(shè)備及柔性屏的制造方法。

背景技術(shù)：

隨著柔性顯示屏制造技術(shù)日趨發(fā)展成熟，已經(jīng)可以利用精密涂布制程將耐高溫柔性薄膜制作在玻璃載板上，并進(jìn)行陣列(Array)與有機(jī)發(fā)光層(OLED)制程，最后于模組工程(Module)再以激光剝離(Laser lift off)與機(jī)械剝離兩道制作工程將柔性屏取下。

然而，目前激光剝離和機(jī)械剝離需要在不同的工作平臺上進(jìn)行，因此需要轉(zhuǎn)移柔性屏基板，造成工序復(fù)雜，具有生產(chǎn)效率低下，制造成本高等技術(shù)缺陷。

鑒于此，本發(fā)明的發(fā)明人提供一種用于柔性屏基板的剝離設(shè)備及柔性屏的制造方法，該剝離設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)使得柔性屏基板在一個工作平臺上進(jìn)行激光剝離和機(jī)械剝離，能夠有效提升柔性顯示屏的生產(chǎn)效率，降低制造成本。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是提供一種用于柔性屏基板的剝離設(shè)備及柔性屏的制造方法，該剝離設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)使得柔性屏基板在一個工作平臺上進(jìn)行激光剝離和機(jī)械剝離，能夠有效提升柔性顯示屏的生產(chǎn)效率，降低制造成本。

為達(dá)上述目的，本發(fā)明提供一種用于柔性屏基板的剝離設(shè)備，其中，所述剝離設(shè)備具有工作平臺，所述工作平臺包括：

基板放置區(qū)，其用于放置所述柔性屏基板；

基板夾持片，其設(shè)置在所述基板放置區(qū)的上下兩側(cè)的邊緣處，用于將所述柔性屏基板固定在所述基板放置區(qū)內(nèi)或者將柔性屏基板釋放；以及

平臺旋轉(zhuǎn)器，其設(shè)置在所述基板放置區(qū)的兩側(cè)，用于翻轉(zhuǎn)所述基板放置區(qū)。

所述的用于柔性屏基板的剝離設(shè)備，其中，所述基板夾持片的兩端垂直向外延伸出鉸接部，所述鉸接部能夠與所述基板放置區(qū)的邊緣鉸接，使得基板夾持片能夠相對于所述基板放置區(qū)旋轉(zhuǎn)。

所述的用于柔性屏基板的剝離設(shè)備，其中，所述基板夾持片內(nèi)設(shè)置有真空腔室，所述基板夾持片的表面設(shè)置有多個吸氣孔，所述吸氣孔與所述真空腔室連通，所述基板夾持片能夠真空吸附所述柔性屏基板。

所述的用于柔性屏基板的剝離設(shè)備，其中，所述基板夾持片在鉸接部處設(shè)置有限位結(jié)構(gòu)，當(dāng)所述基板夾持片旋轉(zhuǎn)至與放置在所述基板放置區(qū)內(nèi)的柔性屏基板貼合時，所述限位結(jié)構(gòu)能夠使得基板夾持片保持住與柔性屏基板保持平行。

所述的用于柔性屏基板的剝離設(shè)備，其中，所述基板夾持片對稱地設(shè)置在所述基板放置區(qū)的上下兩側(cè)的邊緣處。

所述的用于柔性屏基板的剝離設(shè)備，其中，所述平臺旋轉(zhuǎn)器由電機(jī)控制。

所述的用于柔性屏基板的剝離設(shè)備，其中，在所述工作平臺的上方設(shè)置有激光源。

本發(fā)明還提供一種利用上述的用于柔性屏基板的剝離設(shè)備實施的柔性屏的制造方法，所述柔性屏基板包括：玻璃載板、柔性基板、陣列薄膜層、有機(jī)發(fā)光層以及薄膜封裝層，所述柔性基板、陣列薄膜層和有機(jī)發(fā)光層依次涂覆在所述玻璃載板上，并且所述薄膜封裝層包覆在所述陣列薄膜層和有機(jī)發(fā)光層的上表面和四周；其中，所述制造方法包括以下步驟：

步驟一：將基板放置區(qū)上側(cè)的基板夾持片保持豎直狀態(tài)，基板放置區(qū)下側(cè)的基板夾持片保持水平狀態(tài)，然后將柔性屏基板放置于工作平臺上的基板放置區(qū)內(nèi)，此時柔性屏基板的玻璃載板朝上放置并面向位于工作平臺上方的激光源；

步驟二：利用激光源對柔性屏基板進(jìn)行激光掃描；

步驟三：將基板放置區(qū)上側(cè)的基板夾持片向下旋轉(zhuǎn)；

步驟四：將基板放置區(qū)上側(cè)的基板夾持片向下旋轉(zhuǎn)至與柔性屏基板的玻璃載板一側(cè)貼合，然后180度翻轉(zhuǎn)工作平臺；

步驟五：釋放此時位于基板放置區(qū)上側(cè)的基板夾持片，此時柔性屏基板的薄膜封裝層面向激光源；

步驟六：進(jìn)行機(jī)械剝離工程，將柔性屏與玻璃載板分離，從而得到柔性屏。

所述的柔性屏的制造方法，其中，所述激光源為準(zhǔn)分子激光。

所述的柔性屏的制造方法，其中，所述激光源為固態(tài)激光。

本發(fā)明的有益效果是：其利用特殊設(shè)計的翻轉(zhuǎn)平臺結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)在激光剝離(Laser lift off)工序時在同一平臺接著進(jìn)行機(jī)械剝離，簡化工序與基板轉(zhuǎn)移工時，可以提升柔性顯示屏的生產(chǎn)效率，降低制造成本。

附圖說明

在下文中將基于實施例并參考附圖來對本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的描述。其中：

圖1是柔性屏基板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是根據(jù)本發(fā)明的用于柔性屏基板的剝離設(shè)備的工作平臺的俯視圖；

圖3是根據(jù)本發(fā)明的用于柔性屏基板的剝離設(shè)備的工作平臺的側(cè)視圖；

圖4是根據(jù)本發(fā)明的用于柔性屏基板的剝離設(shè)備的夾持片的立體圖；

圖5a是根據(jù)本發(fā)明的柔性屏的制造方法的步驟一的示意圖；

圖5b是根據(jù)本發(fā)明的柔性屏的制造方法的步驟二的示意圖；

圖5c是根據(jù)本發(fā)明的柔性屏的制造方法的步驟三的示意圖；

圖5d是根據(jù)本發(fā)明的柔性屏的制造方法的步驟四的示意圖；

圖5e是根據(jù)本發(fā)明的柔性屏的制造方法的步驟五的示意圖；

圖5f是根據(jù)本發(fā)明的柔性屏的制造方法的步驟六的示意圖。

在附圖中，相同的部件使用相同的附圖標(biāo)記。附圖并未按照實際的比例。

具體實施方式

下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。

首先，本發(fā)明提供一種用于柔性屏基板的剝離設(shè)備，如圖1所示，所述柔性屏基板200主要包括：玻璃載板201、柔性基板202、陣列薄膜層203、有機(jī)發(fā)光層(OLED)204以及薄膜封裝層205。其中，所述柔性基板202、陣列薄膜層203和有機(jī)發(fā)光層204依次涂覆在所述玻璃載板201上，并且所述薄膜封裝層205包覆在所述陣列薄膜層203和有機(jī)發(fā)光層204的上表面和四周。

再如圖2和圖3所示，所述用于柔性屏基板的剝離設(shè)備具有工作平臺100，所述工作平臺100主要包括：基板放置區(qū)101、基板夾持片102以及平臺旋轉(zhuǎn)器103，所述基板放置區(qū)101由圖2和圖3中的虛線框區(qū)域表示，柔性屏基板200即放置在所述基板放置區(qū)101中。

如圖4所示，所述基板夾持片102大致呈長條形，所述基板夾持片102的本體內(nèi)設(shè)置有真空腔室102a，所述基板夾持片102的本體表面設(shè)置有多個吸氣孔102b，所述吸氣孔102b與所述真空腔室102a連通，因此所述基板夾持片102依靠所述真空腔室102a和吸氣孔102b而具有真空吸附功能。此外，所述基板夾持片102的本體的兩端還垂直向外延伸出鉸接部102c，所述鉸接部102c能夠與所述基板放置區(qū)101的邊緣鉸接，從而使得基板夾持片102能夠相對于所述基板放置區(qū)101旋轉(zhuǎn)。當(dāng)所述基板夾持片102旋轉(zhuǎn)至與放置在所述基板放置區(qū)101內(nèi)的柔性屏基板200貼合時，所述基板夾持片102能夠吸附住柔性屏基板200；當(dāng)所述基板夾持片102旋轉(zhuǎn)至與放置在所述基板放置區(qū)101內(nèi)的柔性屏基板200垂直時，所述基板夾持片102釋放柔性屏基板200。

需要說明的是，所述基板夾持片102對稱地設(shè)置在基板放置區(qū)101的上下兩側(cè)的邊緣處，因此基板放置區(qū)101的任意一側(cè)的基板夾持片102均能夠?qū)崿F(xiàn)對柔性屏基板200的吸附或釋放。

所述基板夾持片102在鉸接部102c處還可以設(shè)置有限位結(jié)構(gòu)(圖中未示出)，當(dāng)所述基板夾持片102旋轉(zhuǎn)至與放置在所述基板放置區(qū)101內(nèi)的柔性屏基板200貼合時，所述限位結(jié)構(gòu)能夠使得基板夾持片102保持住與柔性屏基板200保持平行，也就是說，除了基板夾持片102對柔性屏基板200的吸附力之外，還具有機(jī)械力對柔性屏基板200進(jìn)行限位，這樣一來，當(dāng)工作平臺100翻轉(zhuǎn)180度之后，位于基板放置區(qū)101下方的基板夾持片102不致于因柔性屏基板200的重力作用而釋放柔性屏基板200，造成柔性屏基板200的意外損毀。

所述平臺旋轉(zhuǎn)器103設(shè)置在所述基板放置區(qū)101的兩側(cè)，用于翻轉(zhuǎn)所述基板放置區(qū)101。所述平臺旋轉(zhuǎn)器103可以由電機(jī)控制，從而能夠精確地控制平臺旋轉(zhuǎn)器103旋轉(zhuǎn)的角度。

所述工作平臺100的上方設(shè)置有激光源(圖中未示出)，所述激光源發(fā)出激光300，用于對對柔性屏基板200進(jìn)行激光掃描。

本發(fā)明所提供的一種用于柔性屏基板的剝離設(shè)備的工作原理是：首先，將基板放置區(qū)101上側(cè)的基板夾持片102保持豎直狀態(tài)，基板放置區(qū)101下側(cè)的基板夾持片102保持水平狀態(tài)，然后將柔性屏基板200放置于工作平臺100上的基板放置區(qū)101內(nèi)，此時柔性屏基板200的玻璃載板201朝上放置，其面向激光源；利用激光源對柔性屏基板200進(jìn)行激光掃描；將基板放置區(qū)101上側(cè)的基板夾持片102向下旋轉(zhuǎn)；將基板放置區(qū)101上側(cè)的基板夾持片102向下旋轉(zhuǎn)至與柔性屏基板200的上表面(玻璃載板201一側(cè))貼合，從而實現(xiàn)對柔性屏基板200的正反面固定夾持；而后180度翻轉(zhuǎn)工作平臺100；釋放此時位于基板放置區(qū)101上側(cè)的基板夾持片102，此時柔性屏基板200的薄膜封裝層205面向激光源；進(jìn)行機(jī)械剝離工程，將柔性屏(包括柔性基板202、陣列薄膜層203、有機(jī)發(fā)光層204以及薄膜封裝層205)與玻璃載板201分離，從而得到柔性屏。

本發(fā)明還提供一種柔性屏的制造方法，其主要包括以下步驟：

步驟一：請見圖5a，將基板放置區(qū)101上側(cè)的基板夾持片102保持豎直狀態(tài)，基板放置區(qū)101下側(cè)的基板夾持片102保持水平狀態(tài)，然后將柔性屏基板200放置于工作平臺100上的基板放置區(qū)101內(nèi)，此時柔性屏基板200的玻璃載板201朝上放置，其面向激光源；

步驟二：請見圖5b，利用激光源對柔性屏基板200進(jìn)行激光掃描，需要說明的是，所述激光源可以為準(zhǔn)分子激光或固態(tài)激光；

步驟三：請見圖5c，將基板放置區(qū)101上側(cè)的基板夾持片102向下旋轉(zhuǎn)；

步驟四：請見圖5d，將基板放置區(qū)101上側(cè)的基板夾持片102向下旋轉(zhuǎn)至與柔性屏基板200的上表面(玻璃載板201一側(cè))貼合，從而實現(xiàn)對柔性屏基板200的正反面固定夾持；而后180度翻轉(zhuǎn)工作平臺100；

步驟五：請見圖5e，釋放此時位于基板放置區(qū)101上側(cè)的基板夾持片102，此時柔性屏基板200的薄膜封裝層205面向激光源；

步驟六：請見圖5f，進(jìn)行機(jī)械剝離工程，將柔性屏(包括柔性基板202、陣列薄膜層203、有機(jī)發(fā)光層204以及薄膜封裝層205)與玻璃載板201分離，從而得到柔性屏。

綜上所述，本發(fā)明的有益效果是：其利用特殊設(shè)計的翻轉(zhuǎn)平臺結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)在激光剝離(Laser lift off)工序時在同一平臺接著進(jìn)行機(jī)械剝離，簡化工序與基板轉(zhuǎn)移工時，可以提升柔性顯示屏的生產(chǎn)效率，降低制造成本。

雖然已經(jīng)參考優(yōu)選實施例對本發(fā)明進(jìn)行了描述，但在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下，可以對其進(jìn)行各種改進(jìn)并且可以用等效物替換其中的部件。尤其是，只要不存在結(jié)構(gòu)沖突，各個實施例中所提到的各項技術(shù)特征均可以任意方式組合起來。本發(fā)明并不局限于文中公開的特定實施例，而是包括落入權(quán)利要求的范圍內(nèi)的所有技術(shù)方案。