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發(fā)光器件的制作方法

文檔序號:39713877發(fā)布日期:2024-10-22 12:59閱讀:3來源:國知局
發(fā)光器件的制作方法

本發(fā)明的一個方式涉及一種有機(jī)化合物、發(fā)光器件、發(fā)光裝置、受發(fā)光裝置、顯示裝置、電子設(shè)備、照明裝置及電子器件。注意,本發(fā)明的一個方式不局限于上述。本說明書等所公開的發(fā)明的一個方式的涉及一種物體、驅(qū)動方法或制造方法。另外,本發(fā)明的一個方式涉及一種工序(process)、機(jī)器(machine)、產(chǎn)品(manufacture)或者組合物(composition?of?matter)。由此,更具體而言,作為本說明書所公開的本發(fā)明的一個方式的的一個例子可以舉出半導(dǎo)體裝置、顯示裝置、液晶顯示裝置、發(fā)光裝置、照明裝置、蓄電裝置、存儲裝置、攝像裝置、這些裝置的驅(qū)動方法或者這些裝置的制造方法。


背景技術(shù):

1、使用有機(jī)化合物且利用電致發(fā)光(el:electroluminescence)的發(fā)光器件(有機(jī)el器件)的實(shí)用化非常活躍。在這些發(fā)光器件的基本結(jié)構(gòu)中,在一對電極之間夾有包含發(fā)光材料的有機(jī)化合物層(el層)。通過對該元件施加電壓,注入載流子,利用該載流子的再結(jié)合能量,可以獲得來自發(fā)光材料的發(fā)光。

2、因?yàn)檫@種發(fā)光器件是自發(fā)光型發(fā)光器件,所以當(dāng)用于顯示器的像素時比起液晶有可見度更高、不需要背光源等優(yōu)勢,因此該發(fā)光器件適合于平板顯示器元件。另外,使用這種發(fā)光器件的顯示器可以被制造成薄且輕,這也是極大的優(yōu)點(diǎn)。而且,非??斓捻憫?yīng)速度也是其特征之一。

3、此外,因?yàn)檫@種發(fā)光器件的發(fā)光層可以在二維上連續(xù)地形成,所以可以獲得面發(fā)光。因?yàn)樵撎卣魇窃诶靡园谉霟艋騦ed為代表的點(diǎn)光源或者以熒光燈為代表的線光源中難以得到的,所以作為可應(yīng)用于照明等的面光源的利用價值也高。

4、如上所述,使用發(fā)光器件的顯示器或照明裝置適用于各種各樣的電子設(shè)備,為了追求具有更良好的特性的發(fā)光器件的研究開發(fā)日益活躍。

5、作為發(fā)光器件的制造方法,已知各種各樣的方法。作為制造高清晰發(fā)光器件的方法之一,已知有不用精細(xì)金屬掩模版形成發(fā)光層的方法。作為其一個例子,有一種有機(jī)el顯示器的制造方法,包括:在形成在絕緣襯底上方的包括第一及第二像素電極的電極陣列的上方沉積包含主體材料和摻雜劑材料的混合物的第一發(fā)光性有機(jī)材料,來形成第一發(fā)光層作為設(shè)置在包括電極陣列的顯示區(qū)域整體上的連續(xù)膜的工序;不向第一發(fā)光層中位于第一像素電極的上方的部分而向第一發(fā)光層中位于第二像素電極的上方的部分照射紫外光的工序;在第一發(fā)光層上沉積包含主體材料和摻雜劑材料的混合物并與第一發(fā)光性有機(jī)材料不同的第二發(fā)光性有機(jī)材料,來形成第二發(fā)光層作為設(shè)置在顯示區(qū)域整體上的連續(xù)膜的工序;以及在第二發(fā)光層的上方形成對置電極的工序(專利文獻(xiàn)1)。

6、另外,作為有機(jī)el器件之一種,非專利文獻(xiàn)1公開了使用標(biāo)準(zhǔn)的uv光刻法的有機(jī)光電子器件的制造方法(非專利文獻(xiàn)1)。

7、[專利文獻(xiàn)1]日本專利申請公開第2012-160473號公報

8、[非專利文獻(xiàn)1]b.lamprecht?et?al.,“organic?optoelectronic?devicefabrication?using?standard?uv?photolithography”phys.stat.sol.(rrl)2,no.1,p.16-18(2008)


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、一般而言,在發(fā)光器件的電子注入層中使用功函數(shù)小的鋰(li)等堿金屬或該堿金屬的化合物。并且,通過使用上述堿金屬或其化合物可以確保良好的電子注入性。另外,由于上述堿金屬或其化合物與電子傳輸性材料的相互作用,可以確保電荷產(chǎn)生能力而將電子注入到電子傳輸層。因此,通過將上述堿金屬或其化合物用于電子注入層,可以實(shí)現(xiàn)器件的低電壓化。

2、但是,上述堿金屬或其化合物是容易氧化且不穩(wěn)定的材料。因此,有如下問題:如果在發(fā)光器件的制造工序中與水或氧等大氣成分等起反應(yīng),則導(dǎo)致發(fā)光器件的驅(qū)動電壓的大幅上升或發(fā)光效率的顯著降低。因此,有機(jī)el器件需要在真空或氮等惰性氣體的氣氛下制造。

3、尤其是,串聯(lián)發(fā)光器件具有夾著中間層多個發(fā)光層串聯(lián)層疊的結(jié)構(gòu),該中間層也具有包括堿金屬或該堿金屬的化合物的層以將電子注入到與陽極一側(cè)接觸的發(fā)光單元的結(jié)構(gòu)。另一方面,在單發(fā)光器件中,可以在將有機(jī)化合物層加工為規(guī)定形狀之后形成包括堿金屬或該堿金屬的化合物的層的結(jié)構(gòu)。因此,與單發(fā)光器件相比,在串聯(lián)發(fā)光器件中堿金屬或該堿金屬的化合物的層與水或氧等大氣成分起反應(yīng)的蓋然性高。

4、近年來,作為將有機(jī)化合物層制造成規(guī)定形狀的方法之一,廣泛地采用使用金屬掩模的真空蒸鍍法(掩模蒸鍍)。但是,隨著高密度化、高精細(xì)化的進(jìn)展,由于以位置對準(zhǔn)精度、與襯底的配置間隔的問題為代表的各種原因,掩模蒸鍍的進(jìn)一步的高精細(xì)化接近極限。另一方面,通過利用微影技術(shù)(例如,光刻法、電子束曝光法等)加工有機(jī)化合物膜的形狀,可以形成更致密的圖案。在該方法中,由于大面積化也容易,所以進(jìn)行有關(guān)使用光刻法的有機(jī)化合物膜的加工的研究。

5、另外,當(dāng)利用光刻法制造串聯(lián)發(fā)光器件時,在加工工序中中間層被暴露于大氣、抗蝕劑樹脂、水或藥液等。在中間層的n型層中包含堿金屬或該堿金屬的化合物的器件中,由于該工序而n型層劣化而導(dǎo)致特性的大幅下降。就是說,由于中間層中的堿金屬或該堿金屬的化合物的層被暴露于光刻工序,導(dǎo)致驅(qū)動電壓的大幅上升以及發(fā)光效率的顯著降低。

6、本發(fā)明的一個方式的目的之一是提供一種方便性、實(shí)用性或可靠性優(yōu)異的新穎的有機(jī)化合物。本發(fā)明的一個方式的目的之一是提供一種設(shè)計自由度高的半導(dǎo)體裝置。另外,本發(fā)明的一個方式的目的之一是提供一種制造工藝中的設(shè)計自由度高的發(fā)光器件。另外,本發(fā)明的一個方式的目的之一是提供一種可靠性高的發(fā)光器件。另外,本發(fā)明的一個方式的目的之一是提供一種功耗低的發(fā)光器件、發(fā)光裝置、電子設(shè)備、顯示裝置及電子器件。另外,本發(fā)明的一個方式的目的之一是提供一種功耗低且可靠性高的發(fā)光器件、發(fā)光裝置、電子設(shè)備、顯示裝置及電子器件。

7、注意,上述目的的記載不妨礙其他目的的存在。注意,本發(fā)明的一個方式并不需要實(shí)現(xiàn)所有上述目的。另外,說明書、附圖以及權(quán)利要求書等的記載中顯然存在上述目的以外的目的,可以從說明書、附圖以及權(quán)利要求書等的記載中獲得上述目的以外的目的。

8、本發(fā)明的一個方式是一種包括第一電極與第二電極之間的有機(jī)化合物層的發(fā)光器件,其中,有機(jī)化合物層包括第一發(fā)光單元、第二發(fā)光單元以及中間層,在第一發(fā)光單元與第二發(fā)光單元之間包括中間層,中間層包含有機(jī)化合物,并且,在對有機(jī)化合物以掃描速度為1v/s以上且100v/s以下進(jìn)行通過循環(huán)伏安(cv)測量的情況下,檢測出電子氧化的峰電流且沒有檢測出還原的峰電流。

9、本發(fā)明的一個方式是一種包括第一電極與第二電極之間的有機(jī)化合物層的發(fā)光器件,其中,有機(jī)化合物層包括第一發(fā)光單元、第二發(fā)光單元以及中間層,在第一發(fā)光單元與第二發(fā)光單元之間包括中間層,中間層包含有機(jī)化合物,并且,在對有機(jī)化合物以掃描速度為1v/s以上且100v/s以下進(jìn)行cv測量的情況下,從初始電位向正方向掃描電位時檢測出負(fù)方向的極值的電流之后,向負(fù)方向?qū)㈦娢粧呙璧匠跏茧娢粫r沒有檢測出正方向的極值的電流。

10、本發(fā)明的一個方式是一種包括第一電極與第二電極之間的有機(jī)化合物層的發(fā)光器件,其中,有機(jī)化合物層包括第一發(fā)光單元、第二發(fā)光單元以及中間層,在第一發(fā)光單元與第二發(fā)光單元之間包括中間層,中間層包含有機(jī)化合物,并且,在對有機(jī)化合物以掃描速度為1v/s以上且100v/s以下進(jìn)行cv測量的情況下,從初始電位向正方向掃描電位時檢測出負(fù)方向的極值的電流(電流值|ipa-ia0|)之后,向負(fù)方向?qū)㈦娢粧呙璧匠跏茧娢粫r正方向的極值的電流(電流值|ipc-ic0|)為電流值|ipa-ia0|的1/20以下。

11、本發(fā)明的一個方式是一種包括第一電極與第二電極之間的有機(jī)化合物層的發(fā)光器件,其中,有機(jī)化合物層包括第一發(fā)光單元、第二發(fā)光單元以及中間層,在第一發(fā)光單元與第二發(fā)光單元之間包括中間層,中間層包含m/z值為xm的有機(jī)化合物,并且,在對發(fā)光器件以亮度500cd/m2以上進(jìn)行5分鐘以上的驅(qū)動之后,對有機(jī)化合物層進(jìn)行l(wèi)c-ms測量(liquid?chromatography-mass?spectrometry)時,檢測出m/z值為xm-2或xm-4的信號。

12、此外,m/z值是指離子質(zhì)量除以統(tǒng)一原子質(zhì)量單位再除以離子電荷數(shù)而得到的無量綱量。

13、本發(fā)明的一個方式是一種包括第一電極與第二電極之間的有機(jī)化合物層的發(fā)光器件,其中,有機(jī)化合物層包括第一發(fā)光單元、第二發(fā)光單元以及中間層,在第一發(fā)光單元與第二發(fā)光單元之間包括中間層,中間層包含m/z值為xm的有機(jī)化合物,并且,在對有機(jī)化合物以掃描速度為1v/s以上且100v/s以下進(jìn)行cv測量的情況下,向正方向掃描電位時檢測出負(fù)方向的極值的電流之后,向負(fù)方向?qū)㈦娢粧呙璧匠跏茧娢粫r沒有檢測出正方向的極值的電流,在對發(fā)光器件以亮度500cd/m2以上進(jìn)行5分鐘以上的驅(qū)動之后,在對有機(jī)化合物層進(jìn)行l(wèi)c-ms測量時,檢測出m/z值為xm-2或xm-4的信號。

14、在上述發(fā)光器件中,第一電極被用作陽極,第二電極被用作陰極,第一發(fā)光單元配置于第一電極一側(cè),第二發(fā)光單元配置于第二電極一側(cè),并且有機(jī)化合物配置于至少與第一發(fā)光單元接觸的區(qū)域。

15、在上述發(fā)光器件中,有機(jī)化合物具有胍骨架。

16、在上述發(fā)光器件中,有機(jī)化合物具有胍骨架,并且從鍵合于胍骨架的第一碳及鍵合于第一碳的第二碳分別脫離氫原子。

17、在上述發(fā)光器件中,有機(jī)化合物具有包括胍骨架的環(huán)結(jié)構(gòu),并且從鍵合于胍骨架的第一碳及鍵合于第一碳的第二碳分別脫離氫原子。

18、本發(fā)明的一個方式是一種包括第一電極與第二電極之間的有機(jī)化合物層的發(fā)光器件,其中,有機(jī)化合物層包括第一發(fā)光單元、第二發(fā)光單元以及中間層,在第一發(fā)光單元與第二發(fā)光單元之間包括中間層,中間層包含m/z值為xm的有機(jī)化合物,并且,以亮度500cd/m2以上進(jìn)行5分鐘以上的驅(qū)動之后的發(fā)光器件的中間層的lc-ms測量的測量結(jié)果與驅(qū)動之前的發(fā)光器件的中間層的lc-ms測量的測量結(jié)果相比m/z值為xm-2或xm-4的信號的離子強(qiáng)度更大。

19、本發(fā)明的一個方式是一種發(fā)光裝置,包括:具有上述各結(jié)構(gòu)的發(fā)光器件;以及晶體管或襯底。

20、根據(jù)本發(fā)明的一個方式,可以提供一種具有新穎串聯(lián)結(jié)構(gòu)的發(fā)光器件。另外,根據(jù)本發(fā)明的一個方式,可以提供一種效率良好的具有新穎串聯(lián)結(jié)構(gòu)的發(fā)光器件。另外,根據(jù)本發(fā)明的一個方式,可以提供一種可靠性良好的具有新穎串聯(lián)結(jié)構(gòu)的發(fā)光器件。另外,根據(jù)本發(fā)明的一個方式,可以提供一種可靠性及效率都良好的具有新穎串聯(lián)結(jié)構(gòu)的發(fā)光器件。

21、根據(jù)本發(fā)明的一個方式,可以提供一種設(shè)計自由度高的半導(dǎo)體裝置。另外,根據(jù)本發(fā)明的一個方式,可以提供一種制造工藝中的設(shè)計自由度高的發(fā)光器件。另外,根據(jù)本發(fā)明的一個方式,可以提供一種可靠性高的發(fā)光器件。另外,根據(jù)本發(fā)明的一個方式,可以提供一種功耗低的發(fā)光器件、發(fā)光裝置、電子設(shè)備、顯示裝置及電子器件。另外,根據(jù)本發(fā)明的一個方式,可以提供一種功耗低且可靠性高的發(fā)光器件、發(fā)光裝置、電子設(shè)備、顯示裝置、電子器件及照明裝置。

22、注意,上述效果的記載不妨礙其他效果的存在。注意,本發(fā)明的一個方式并不需要具有所有上述效果。另外,說明書、附圖以及權(quán)利要求書等的記載中顯然存在上述效果以外的效果,可以從說明書、附圖以及權(quán)利要求書等的記載中獲得上述效果以外的效果。

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