本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體領(lǐng)域所應(yīng)用的管路保護(hù)措施，具體是一種抽氣管路內(nèi)壁保護(hù)層及其制備方法。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備中，抽氣管路部分會(huì)有不同氣體在此處相遇發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，長(zhǎng)此以往，一些副產(chǎn)物會(huì)附著在內(nèi)壁上，并且會(huì)越沉積越多，最終導(dǎo)致管路堵塞，影響工藝的進(jìn)行，如果每次都進(jìn)行抽氣管路的拆卸清洗，會(huì)浪費(fèi)很多時(shí)間，也面臨工藝生產(chǎn)的停滯，如果腐蝕嚴(yán)重就需要進(jìn)行抽氣管路的更換，這樣也會(huì)造成成本的增加；現(xiàn)在的保護(hù)層也會(huì)受形狀尺寸的限制，需要單獨(dú)定制，成本較高。因此，面對(duì)這種情況，需要在抽氣管路的內(nèi)壁制備一層保護(hù)膜，既能保護(hù)管路內(nèi)壁還能易于安裝拆卸。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種抽氣管路內(nèi)壁保護(hù)層及其制備方法，所述保護(hù)層不受管路形狀的限制，形成的過(guò)渡層可以緩沖受力，延長(zhǎng)保護(hù)層的壽命，并且方便清洗，對(duì)反映環(huán)境要求不高，反應(yīng)源成本較低，易于在半導(dǎo)體行業(yè)推廣。

本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種抽氣管路內(nèi)壁保護(hù)層，其形成是通過(guò)在抽氣管路內(nèi)壁上先涂覆基礎(chǔ)層再涂覆催化層，再用離子束輻照表面使基礎(chǔ)層和催化層發(fā)生反應(yīng)，形成過(guò)渡層和保護(hù)層而成；

基礎(chǔ)層為正硅酸乙酯、甲基三甲氧基硅烷、無(wú)水乙醇和鹽酸的混合物，催化層為氨水、無(wú)水乙醇和蒸餾水的混合物。

進(jìn)一步地，基礎(chǔ)層正硅酸乙酯、甲基三甲氧基硅烷、無(wú)水乙醇的質(zhì)量比為1.6:1:1.4，用鹽酸將基礎(chǔ)層溶液的pH調(diào)節(jié)為4；催化層無(wú)水乙醇和蒸餾水的質(zhì)量比例為3.5:1，將催化層涂覆到基礎(chǔ)層之后，催化層中的氨水將兩種溶液混合后的pH調(diào)節(jié)為8。

進(jìn)一步地，過(guò)渡層為基礎(chǔ)層和催化層形成的凝膠，保護(hù)層為形成的二氧化硅層經(jīng)高溫裂解的光滑保護(hù)層。

根據(jù)本發(fā)明另外一個(gè)方面，提供了一種制備所述抽氣管路內(nèi)壁保護(hù)層的方法，包括如下步驟：

1)在抽氣管路內(nèi)壁上噴涂一層基礎(chǔ)層混合物，基礎(chǔ)層混合物中正硅酸乙酯、甲基三甲氧基硅烷、無(wú)水乙醇的質(zhì)量比為1.6:1:1.4，鹽酸將基礎(chǔ)層溶液的pH調(diào)節(jié)為4，使基礎(chǔ)層混合物均勻的鋪滿整個(gè)管路內(nèi)側(cè)；

2)在基礎(chǔ)層上涂一層催化層混合物，催化層混合物中無(wú)水乙醇和蒸餾水的質(zhì)量比例為3.5:1，將催化層涂覆到基礎(chǔ)層之后，催化層中的氨水將兩種溶液混合后的pH調(diào)節(jié)為8；

3)用離子束輻射抽氣管內(nèi)壁，離子束的能量使基礎(chǔ)層與催化層發(fā)生反應(yīng)，生成一層過(guò)渡層溶膠，同時(shí)生成二氧化硅層經(jīng)高溫裂解的光滑保護(hù)層，管路保護(hù)層即可生成。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于：

1)所述抽氣管路內(nèi)壁保護(hù)層不受管路形狀的限制，可以形成任意形狀的緊貼內(nèi)壁的保護(hù)層；

2)避免了傳統(tǒng)的保護(hù)層管路內(nèi)壁有空隙的缺點(diǎn)；

3)基礎(chǔ)層與催化層發(fā)生發(fā)應(yīng)，形成過(guò)渡層，可以緩沖受力，還可以延長(zhǎng)保護(hù)層的壽命；

4)氧化物發(fā)生高溫裂解，形成陶瓷狀的光滑表面，減小了副產(chǎn)物的附著效應(yīng)。

5)保護(hù)層方便清洗，對(duì)反映環(huán)境要求不高，反應(yīng)源成本較低，易于在半導(dǎo)體行業(yè)推廣。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，下面結(jié)合實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用于解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

本發(fā)明主要是根據(jù)化學(xué)氣相沉積的方法在管路的內(nèi)壁生成一層保護(hù)層，將反應(yīng)源分成兩部分，通過(guò)離子束的高能量輻照，使反應(yīng)源發(fā)生發(fā)應(yīng)，最后形成保護(hù)層，此保護(hù)層一方面可以保護(hù)管路內(nèi)壁，另一方面方便清洗。

實(shí)施例

按照本發(fā)明提供的方法制備所述抽氣管路內(nèi)壁保護(hù)層

1)在抽氣管路內(nèi)壁上噴涂一層基礎(chǔ)層混合物，基礎(chǔ)層混合物中正硅酸乙酯、甲基三甲氧基硅烷、無(wú)水乙醇的質(zhì)量比為1.6:1:1.4，鹽酸將基礎(chǔ)層溶液的pH調(diào)節(jié)為4，使基礎(chǔ)層混合物均勻的鋪滿整個(gè)管路內(nèi)側(cè)；

2)在基礎(chǔ)層上涂一層催化層混合物，催化層混合物中無(wú)水乙醇和蒸餾水的質(zhì)量比例為3.5:1，將催化層涂覆到基礎(chǔ)層之后，催化層中的氨水將兩種溶液混合后的pH調(diào)節(jié)為8；

3)用離子束輻射抽氣管內(nèi)壁，離子束的能量使基礎(chǔ)層與催化層發(fā)生反應(yīng)，生成一層過(guò)渡層溶膠，同時(shí)生成二氧化硅層經(jīng)高溫裂解的光滑保護(hù)層，管路保護(hù)層即可生成。

制備的保護(hù)層發(fā)生老化后，用無(wú)水乙醇溶解即可清除，然后再經(jīng)過(guò)上述制 備過(guò)程生成新的保護(hù)層。