1.一種抽氣管路內(nèi)壁保護層,其特征在于,所述內(nèi)壁保護層的形成是通過在抽氣管路內(nèi)壁上先涂覆基礎層再涂覆催化層,再用離子束輻照表面使所述基礎層和催化層發(fā)生反應,形成過渡層和保護層而成;
所述基礎層為正硅酸乙酯、甲基三甲氧基硅烷、無水乙醇和鹽酸的混合物,所述催化層為氨水、無水乙醇和蒸餾水的混合物。
2.按照權利要求1所述的一種抽氣管路內(nèi)壁保護層,其特征在于,所述基礎層正硅酸乙酯、甲基三甲氧基硅烷、無水乙醇的質(zhì)量比為1.6:1:1.4,用鹽酸將所述基礎層溶液的pH調(diào)節(jié)為4;所述催化層無水乙醇和蒸餾水的質(zhì)量比例為3.5:1,將所述催化層涂覆到基礎層之后,催化層中的氨水將兩種溶液混合后的pH調(diào)節(jié)為8。
3.按照權利要求1所述的一種抽氣管路內(nèi)壁保護層,其特征在于,所述過渡層為所述基礎層和催化層形成的凝膠,所述保護層為形成的二氧化硅層經(jīng)高溫裂解的光滑保護層。
4.制備按照如權利要求1所述的一種抽氣管路內(nèi)壁保護層的方法,其特征在于,包括如下步驟:
1)在抽氣管路內(nèi)壁上噴涂一層基礎層混合物,基礎層混合物中正硅酸乙酯、甲基三甲氧基硅烷、無水乙醇的質(zhì)量比為1.6:1:1.4,鹽酸將所述基礎層溶液的pH調(diào)節(jié)為4,使所述基礎層混合物均勻的鋪滿整個管路內(nèi)側(cè);
2)在基礎層上涂一層催化層混合物,催化層混合物中無水乙醇和蒸餾水的質(zhì)量比例為3.5:1,將所述催化層涂覆到基礎層之后,催化層中的氨水將兩種溶液混合后的pH調(diào)節(jié)為8;
3)用離子束輻射抽氣管內(nèi)壁,離子束的能量使所述基礎層與催化層發(fā)生反 應,生成一層過渡層溶膠,同時生成二氧化硅層經(jīng)高溫裂解的光滑保護層,管路保護層即可生成。