電容式傳感器、傳感裝置、感測系統(tǒng)、以及電子設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及電容式傳感技術領域，尤其涉及一種電容式傳感器、電容式傳感裝置、電容式感測系統(tǒng)、以及電子設備。
【背景技術】
[0002]隨著社會的發(fā)展，越來越多的電子設備(如:手機、平板電腦、穿戴式設備、以及智能家居等各種智能產(chǎn)品)一般都會設置一種或多種傳感裝置。所述傳感裝置包括如感測用戶觸摸操作的觸摸傳感裝置、感測人體生物信息的生物信息傳感裝置等等。目前，生物信息傳感裝置等多采用電容式傳感裝置來執(zhí)行感測操作。
[0003]電容式傳感裝置一般包括電容式傳感器和控制電路。所述電容式傳感器包括多個傳感單元(sensor)。所述多個傳感單元接收控制電路的驅(qū)動信號，并在用戶觸摸所述多個傳感單元時對應輸出感測信號給所述控制電路，以獲得相應的感測信息。
[0004]然，各傳感單元獨立檢測，分別輸出單一感測信號，所述單一感測信號(如:電壓和/或電量)一般強度較弱。另外，電壓、電量等感測信號在被傳輸?shù)倪^程中易受電容式傳感裝置中寄生電容的影響，較不穩(wěn)定，從而導致電容式傳感裝置的感測存在不精確或者出現(xiàn)誤判的情況，影響用戶體驗。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于此，本發(fā)明提供了一種輸出感測信號較穩(wěn)定的電容式傳感器、感測精度較高的電容式傳感裝置、感測精度較高的電容式感測系統(tǒng)、以及用戶體驗較好的電子設備。
[0006]本發(fā)明提供了一種電容式傳感器，包括:
[0007]多個傳感單元，呈陣列式排布，每一傳感單元包括:
[0008]感測電極，能夠以電容方式耦合到目標物體，感測電極用于加載參考信號；和
[0009]傳感電路，包括差分對管，所述差分對管用于響應感測電極上因目標物體的接近或觸摸所引起參考信號的變化，而對應產(chǎn)生二不同的第二交流信號。
[0010]優(yōu)選地，所述電容式傳感器進一步包括信號線群組，一信號線群組連接至少二傳感單元，所述信號線群組用于傳輸傳感單元產(chǎn)生的第二交流信號。
[0011]優(yōu)選地，所述傳感電路進一步包括第一開關單元，連接于所述差分對管與一電流源之間，用于控制是否在所述差分對管與所述電流源之間傳輸電流信號。
[0012]優(yōu)選地，所述信號線群組包括第一信號線、第二信號線、和第三信號線，第一信號線用于與所述電流源連接；所述差分對管包括:
[0013]第三晶體管，包括第三控制電極、第五傳輸電極、和第六傳輸電極，其中，第五傳輸電極通過第一開關單元連接第一信號線；第六傳輸電極連接第二信號線；第三控制電極與感測電極為二電極，第三控制電極連接感測電極，或者，第三控制電極與感測電極為同一電極；第三控制電極用于加載第一參考信號；和
[0014]第四晶體管，包括第四控制電極、第七傳輸電極、和第八傳輸電極，其中，第八傳輸電極連接第三信號線，第四控制電極用于加載第二參考信號，第七傳輸電極連接第五傳輸電極。
[0015]優(yōu)選地，所述第二參考信號與所述第一參考信號相同。
[0016]優(yōu)選地，當?shù)谌刂齐姌O與所述感測電極為二電極時，所述第三控制電極直接連接所述感測電極，或者，所述第三控制電極通過電阻連接所述感測電極。
[0017]優(yōu)選地，當所述第三控制電極直接連接所述感測電極或者所述第三控制電極與所述感測電極為同一電極時，所述第一參考信號與所述感測電極加載的參考信號相同；當所述第三控制電極通過電阻連接所述感測電極時，所述第一參考信號與所述感測電極加載的參考信號不同。
[0018]優(yōu)選地，所述電容式傳感器進一步包括掃描線群組，所述掃描線群組包括第一掃描線，所述第一開關單元包括第一晶體管，所述第一晶體管包括第一控制電極、第一傳輸電極、和第二傳輸電極，所述第一控制電極與第一掃描線連接，用于響應第一掃描線上傳輸?shù)膾呙栊盘柖鴮刂频谝粋鬏旊姌O與第二傳輸電極是否電連通，第一傳輸電極與第一信號線連接，第二傳輸電極與第五傳輸電極連接。
[0019]優(yōu)選地，所述掃描線群組進一步包括第二掃描線，所述第一開關單元進一步包括第二晶體管，所述第二晶體管包括第二控制電極、第三傳輸電極、和第四傳輸電極，其中，第二控制電極連接第二掃描線，用于響應第二掃描線上傳輸?shù)膾呙栊盘柖鴮刂频谌齻鬏旊姌O與第四傳輸電極是否電連通，第三傳輸電極連接第二傳輸電極、第四傳輸電極連接第五傳輸電極。
[0020]優(yōu)選地，所述傳感電路進一步包括第二開關單元，用于控制是否傳輸所述第一、第二參考信號給所述差分對管。
[0021]優(yōu)選地，所述電容式傳感器進一步包括參考信號線，所述參考信號線與所述第二開關單元連接，用于傳輸所述第一、第二參考信號；所述掃描線群組進一步包括第三掃描線，所述第二開關單元包括:
[0022]第五晶體管，包括第五控制電極、第九傳輸電極、和第十傳輸電極，其中，第五控制電極連接一第三掃描線，用于響應第三掃描線上傳輸?shù)膾呙栊盘柖鴮刂频诰艂鬏旊姌O與第十傳輸電極是否電連通，第九傳輸電極連接一參考信號線，第十傳輸電極連接第三控制電極-M
[0023]第六晶體管，包括第六控制電極、第十一傳輸電極、和第十二傳輸電極，其中，第六控制電極連接一第三掃描線，用于響應第三掃描線上傳輸?shù)膾呙栊盘柖鴮刂频谑粋鬏旊姌O與第十二傳輸電極是否電連通，第十一傳輸電極連接一參考信號線，第十二傳輸電極連接第四控制電極。
[0024]優(yōu)選地，所述第五控制電極與所述第六控制電極短接并連接至同一第三掃描線；所述第九傳輸電極與所述第十一傳輸電極短接并連接至同一參考信號線。
[0025]優(yōu)選地，所述傳感電路進一步包括第一補償單元和第二補償單元；第十傳輸電極與第三控制電極之間串接第一補償單元，所述第一補償單元用于補償?shù)谖寰w管關閉時第十傳輸電極與第三控制電極之間的電壓；第十二傳輸電極與第四控制電極之間串接第二補償單元，所述第二補償單元用于補償?shù)诹w管關閉時第十二傳輸電極與第四控制電極之間的電壓。
[0026]優(yōu)選地，所述掃描線群組進一步包括第四掃描線；所述第一補償單元包括第七晶體管；所述第七晶體管包括第七控制電極、第十三傳輸電極、和第十四傳輸電極；所述第七控制電極連接一第四掃描線，所述第十三傳輸電極連接第十傳輸電極，所述第十四傳輸電極連接第三控制電極，且第十三傳輸電極與第十四傳輸電極短接；所述第二補償單元包括第八晶體管；所述第八晶體管包括第八控制電極、第十五傳輸電極、和第十六傳輸電極；所述第八控制電極連接一第四掃描線，所述第十五傳輸電極連接第十二傳輸電極，所述第十六傳輸電極連接第四控制電極，且第十五傳輸電極與第十六傳輸電極短接。
[0027]優(yōu)選地，所述第七控制電極與所述第八控制電極連接同一第四掃描線。
[0028]優(yōu)選地，所述第七晶體管用于與所述第五晶體管交替導通，所述第八晶體管用于與所述第六晶體管交替導通。
[0029]優(yōu)選地，第一掃描線用于連接同一行第一晶體管的第一控制電極，第二掃描線用于連接同一列第二晶體管的第二控制電極；或者，第一掃描線用于連接同一列第一晶體管的第一控制電極，第二掃描線用于連接同一行第二晶體管的第二控制電極。
[0030]優(yōu)選地，同一列傳感單元連接同一信號線群組，不同列傳感單元連接不同信號線群組。
[0031]優(yōu)選地，同一列傳感單元的第一傳輸電極連接同一第一信號線；同一列傳感單元的第六傳輸電極連接同一第二信號線；同一列傳感單元的第八傳輸電極連接同一第三信號線。
[0032]優(yōu)選地，同一行的傳感單元共用同一第三掃描線、同一第四掃描線、同一參考信號線。
[0033]優(yōu)選地，所述感測電極設置在比所述傳感電路更靠近目標物體的位置。
[0034]優(yōu)選地，所述電容式傳感器進一步包括基板，所述基板用于承載所述多個傳感單
J L ο
[0035]優(yōu)選地，當所述感測電極與所述第三控制電極為二電極時，所述傳感電路設置在所述感測電極與所述基板之間，且所述傳感電路的結構中設置接觸孔，所述感測電極通過所述接觸孔與所述第三控制電極連接；當所述感測電極與所述第三控制電極為同一電極時，所述第三控制電極相較于第五傳輸電極與第六傳輸電極鄰近所述基板設置。
[0036]優(yōu)選地，所述感測電極覆蓋所述傳感電路、以及覆蓋信號線群組、掃描線群組、和參考信號線中之至少一者。
[0037]優(yōu)選地，所述電容式傳感器進一步包括接地線，與所述多個傳感單元設置在所述基板的同側(cè)，所述接地線用于加載一電壓信號。
[0038]優(yōu)選地，所述第一、第二參考信號為恒定電壓信號或變化的電壓信號，當未有目標物體接近或觸摸所述感測電極時，所述第一、第二參考信號相對于所述接地線加載的電壓信號保持不變；當有目標物體接近或觸摸所述感測電極時，所述第一參考信號相對于所述接地線加載的電壓信號發(fā)生改變，所述第二參考信號相對于所述接地線加載的電壓信號保持不變。
[0039]優(yōu)選地，所述基板為絕緣基板，所述傳感電路中的各所述晶體管均采用薄膜晶體管，其中，所述薄膜晶體管的柵極用作控制電極，源極與漏極分別用作傳輸電極。
[0040]優(yōu)選地，所述電容式傳感器進一步包括導電層，所述導電層與所述多個傳感單元設置在所述基板的相對二側(cè)，所述接地線與所述導電層用于傳輸相同的調(diào)制信號，所述調(diào)制信號包括接地信號和驅(qū)動信號。
[0041 ] 優(yōu)選地，所述電容式傳感器為指紋傳感器。
[0042]優(yōu)選地，所述二不同的第二交流信號為差分電流信號，是用以計算目標物體的預定生物信息。
[0043]本發(fā)明還提供一種電容式傳感裝置，包括電容式傳感器和控制電路，所述控制電路用于控制所述電容式傳感器執(zhí)行感測操作，其中，所述電容式傳感器為上述中任意所述的電容式傳感器。
[0044]優(yōu)選地，所述控制電路集成在一顆芯片上，所述電容式傳感器集成為另一顆芯片。
[0045]優(yōu)選地，所述控制電路集成為一控制芯片，所述控制芯片采用半導體基板上形成包括有互補金屬氧化物半導體晶體管的集成電路的工藝制成，所述電容式傳感器采用絕緣基板上形成包括有薄膜晶體管的集成電路的工藝制成，其中，所述控制芯片壓合在形成有電容式傳感器的絕緣基板上。
[0046]本發(fā)明還提供一種電容式感測系統(tǒng)，包括電容式傳感裝置和電源管理芯片，所述電源管理芯片用于為所述電容式傳感裝置供電，其中，所述電容式感測裝置為上述中任意所述的電容式傳感裝置，所述控制電路包括接地端，所述電源管理芯片用于為所述接地端提供調(diào)制信號，所述控制電路用于為所述電容傳感器提供參考信號，其中，所述參考信號隨所述調(diào)制信號的升高而升高、隨所述調(diào)制信號的降低而降低。
[0047]本發(fā)明還提供一種電容式感測系統(tǒng)，包括電容式傳感裝置和電源管理芯片，所述電源管理芯片用于為所述電容式傳感裝置供電，其中，所述電容式感測裝置為上述中任意所述的電容式傳感裝置，所述電源管理芯片提供給電容式傳感器的電源電壓高于提供給集成有控制電路的芯片的電源電壓。
[0048]本發(fā)明還提供一種電子設備，包括電容式傳感裝置，其中，所述電容式傳感裝置為上述中任意所述的電容式傳感裝置。
[0049]本發(fā)明還提供一種電子設備，包括電容式感測系統(tǒng)，其中，所述電容式感測系統(tǒng)為上述中任意所述的電容式感測系統(tǒng)。
[0050]由于本發(fā)明的電容式示傳感器的傳感單元包括差分對管，差分對管用于響應感測電極上因目標物體的接近或觸摸所引起參考信號的變化，而對應產(chǎn)生二不同的第二交流信號，因此，所述電容式示傳感器輸出的感測信號較穩(wěn)定。相應地，包括所述電容式傳感器的電容式傳感裝置的感測精度較高，具有所述電容式傳感裝置的電容式感測系統(tǒng)的感測精度較高，具有電容式傳感裝置或電容式感測系統(tǒng)的電子設備的用戶體驗較好。
[0051]盡管公開了多個實施例，包括其變化，但是通過示出并描述了本發(fā)明公開的說明性實施例的下列詳細描述，本發(fā)明公開的其他實施例將對所屬領域的技術人員顯而易見。將認識到，本發(fā)明公開能夠在各種顯而易見的方面修改，所有修改都不會偏離本發(fā)明的精神和范圍。相應地，附圖和詳細描述本質(zhì)上應被視為說明性的，而不是限制性的。
【附圖說明】
[0052]通過參照附圖詳細描述其示例實施方式，本發(fā)明的特征及優(yōu)點將變得更加明顯。
[0053]圖1為本發(fā)明電容式傳感裝置的第一實施方式的示意圖。
[0054]圖2為圖1所示電容式傳感裝置的電路結構示意圖。
[0055]圖3為圖2所示電容式傳感器的部分電路結構示意圖。
[0056]圖4為圖2所示電容式傳感裝置的部分電路結構示意圖。
[0057]圖5與圖6為圖3所示傳感電路的其它變更實施方式的示意圖。
[0058]圖7為圖1所示電容式傳感器的示意圖。
[0059]圖8至圖11中主要示出電容式傳感器的一傳感單元的第三晶體管與感測電極的剖面結構示意圖。
[0060]圖12為圖2所示的電容式傳感裝置的工作時序圖。
[0061]圖13為圖1所示電容式傳感器的部分方框示意圖。
[0062]圖14為本發(fā)明電容式傳感裝置的第二實施方式的示意圖。
[0063]圖15為圖14所示一行方向上相鄰二傳感單元的電路結構示意圖。
[0064]圖16為圖14的電容式傳感裝置的部分電路結構示意圖。
[0065]圖17為圖14所示電容式傳感器的方框結構示意圖。
[0066]圖18為本發(fā)明電容式傳感裝置的其它變更實施方式的示意圖。
[0067]圖19為在一片玻璃基板上形成多個電容式傳感裝置的示意圖。
[0068]圖20為圖19所示的一電容式傳感裝置的側(cè)視示意圖。
[0069]圖21和圖22為電容式傳感裝置的其它變更實施方式的側(cè)視圖。
[0070]圖23為本發(fā)明芯片組的一較佳實施方式的示意圖。
[0071]圖24為本發(fā)明電容式感測系統(tǒng)的第一實施方式的結構示意圖。
[0072]圖25為本發(fā)明電容式感測系統(tǒng)的第二實施方式的結構示意圖。
[0073]圖26為本發(fā)明電容式傳感裝置的封裝結構第一實施方式的示意圖。
[0074]圖27與圖28為本發(fā)明電容式傳感裝置的封裝結構其它實施方式的示意圖。
[0075]圖29為本發(fā)明電容式感測模組的一較佳實施方式的示意圖。
[0076]圖30為本發(fā)明在電子設備的保護蓋板下方設置電容式感測模組的示意圖。
[0077]圖31是圖30沿r-r’方向的部分剖面示意圖。
[0078]圖32為電子設備的顯示裝置的TFT陣列基板的示意圖。
[0079]圖33為本發(fā)明電子設備的一較佳實施方式的示意圖。
【具體實施方式】
[0080]現(xiàn)在將參考附圖更全面地描述示例實施方式。然而，示例實施方式能夠以多種形式實施，且不應被理解為限于在此闡述的實施方式；相反，提供這些實施方式使得本發(fā)明將全面和完整，并將示例實施方式的構思全面地傳達給本領域的技術人員。為了方便或清楚，可能夸大、省略或示意地示出在附圖中所示的每層的厚度和大小、以及示意地示出相關元件的數(shù)量。另外，元件的大小不完全反映實際大小，以及相關元件的數(shù)量不完全反應實際數(shù)量。在圖中相同的附圖標記表示相同或類似的結構。
[0081 ] 此外，所描述的特征、結構可以以任何合適的方式結合在一個或更多實施方式中。在下面的描述中，提供許多具體細節(jié)從而給出對本發(fā)明的實施方式的充分理解。然而，本領域技術人員應意識到，沒有所述特定細節(jié)中的一個或更多，或者采用其它的結構、組元等，也可以實踐本發(fā)明的技術方案。在其它情況下，不詳細示出或描述公知結構或者操作以避免模糊本發(fā)明。
[0082]在本發(fā)明的描述中，需要理解的是:“多個”包括兩個和兩個以上，除非另有明確具體的限定?！斑B接”可為電連接、機械連接、親接、直接連接、以及間接連接等多種實施方式，除非本發(fā)明下述特別說明，否則并不做特別限制。另外，各元件名稱以及信號名稱中出現(xiàn)的“第一”、“第二”等詞語并不是限定元件或信號出現(xiàn)的先后順序，而是為方便元件命名，清楚區(qū)分各元件，使得描述更簡潔。
[0083]進一步需要說明的是:本發(fā)明提供的電容式傳感裝置適用于生物信息傳感裝置，尤其指紋傳感裝置。然，本發(fā)明并不限于此，所述電容式傳感裝置也可適用其它合適類型的傳感裝置，如觸摸傳感裝置。所述生物信息傳感裝置用于感測目標物體的預定生物信息。所述目標物體如為用戶的手指，也可為用戶身體的其它部分、如手掌、腳趾、耳朵等，甚至也可為其它合適類型的物體，而并不局限為人體。所述預定生物信息如為指紋、掌紋、耳紋等。
[0084]所述電容式傳感裝置包括電容式傳感器(sensors)和控制電路。所述控制電路連接電容式傳感器，用于控制所述電容式傳感器執(zhí)行感測操作。
[0085]優(yōu)選地，所述電容式傳感器包括感測電極和差分對管。所述感測電極能夠以電容方式耦合到目標物體，用于加載參考信號。所述差分對管與所述感測電極相關聯(lián)，用于響應感測電極上因目標物體的接近或觸摸所引起參考信號的變化，而對應產(chǎn)生差分信號。
[0086]所述控制電路接收所述差分信號，并根據(jù)所述差分信號對應獲得相應的感測信息。所述感測信息如為目標物體的預定生物信息。類似地，所述控制電路也可根據(jù)差分信號獲知目標物體接近或觸摸了電容式傳感裝置這一感測信息。
[0087]由于本發(fā)明的電容式傳感器傳輸給控制電路的感測信號為差分信號，所述差分信號較強，且差分信號在傳輸給控制電路的過程中受電容式傳感裝置中的寄生電容的影響較小，因此，所述控制電路根據(jù)差分信號獲得的感測信息相對較準而能減少誤判，從而能夠提升用戶體驗。
[0088]優(yōu)選地，所述差分信號為差分電流信號。
[0089]優(yōu)選地，所述電容式傳感器包括多個感測電極和多個差分對管。同一差分對管所產(chǎn)生的差分信號為同幅同頻反相的第二交流信號。另外，所述差分對管用于與一電流源連接，所述電流源用于提供一第一恒定直流信號。所述二不同的第二交流電流信號之和與所述電流源提供的第一恒定直流信號相等。
[0090]所述差分對管與所述感測電極相關聯(lián)，其中，所述差分對管或者與所述感測電極為二元件，所述差分對管與所述感測電極連接；又或者，所述差分對管包括所述感測電極，即，所述感測電極為差分對管的一部分。
[0091]所述差分對管包括二晶體管，所述二晶體管包括一第三晶體管，所述第三晶體管包括第三控制電極、第五傳輸電極、和第六傳輸電極。當所述差分對管與所述感測電極為二元件時，所述第三控制電極與所述感測電極連接；當所述差分對管包括所述感測電極時，所述第三控制電極與所述感測電極為同一電極。
[0092]當所述差分對管與所述感測電極為二元件時，所述第三控制電極與所述感測電極直接連接；或者，所述第三控制電極通過一限流元件與所述感測電極連接。優(yōu)選地，所述限流元件包括電阻。相應地，所述限流元件可以起到防ESD、保護電容式傳感器的作用。
[0093]所述電容式傳感器包括多個傳感單元(sensor)。每一傳感單元包括一所述感測電極。另外，優(yōu)選地，每一傳感單元還包括一所述差分對管，或者，相鄰的