測量單元及凈化氣體的流量測量方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及向收容半導(dǎo)體晶片等的FOUP等容器的凈化氣體(purge gas)流量的測量。
【背景技術(shù)】
[0002]在將半導(dǎo)體晶片、分劃板等物品收容到FOUP (Front Opening Unified Pod，正面開口標(biāo)準(zhǔn)箱)、分劃板箱等容器進(jìn)行保管之際，向容器提供氮氣、清潔干燥空氣等凈化氣體，防止晶片等污染、氧化等。具體為，在保管容器的儲料器和自動化倉庫等中設(shè)置凈化氣體供給管線，將供給管線的噴嘴和容器的氣體導(dǎo)入部連接，將凈化氣體導(dǎo)入容器內(nèi)。并且，如果向凈化氣體供給管線的噴嘴設(shè)置氣體導(dǎo)入部，則將氣體導(dǎo)入部的閥打開，如果取出容器，則將閥關(guān)閉。該技術(shù)中有必要管理被導(dǎo)入容器內(nèi)的氣體的流量。例如，供給管線的狀態(tài)不統(tǒng)一，具體來說有:管、管路過濾器等零部件堵塞，管的長度、噴嘴的工作壓力不勻，在容器與供給管線的連接處氣密性不均勻等的問題。容器與氣體導(dǎo)入部的連接處例如由噴嘴和氣體導(dǎo)入部構(gòu)成，之間的氣密性由容器的自重維持。
[0003]本發(fā)明者們提出過用儲料器內(nèi)的輸送裝置輸送具備流量計的測量單元，測量各開間(日文:間口)中的凈化氣體的流量的方案(日本專利文獻(xiàn)1，JP4670808B)。
[0004]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:JP4670808B
[0006]發(fā)明的概要
[0007]發(fā)明要解決的問題
[0008]如果設(shè)置流量計和電源等從而能夠測量凈化氣體的流量，則測量單元比只收容了一片晶片的容器要重。由于僅收容了一片晶片的容器輕，因此噴嘴與氣體導(dǎo)入部之間的氣密性不足，凈化氣體容易泄漏。因此，如果用與收容有平均片數(shù)的晶片的容器相對應(yīng)的測量單元來測量流量的話，則僅管理了良好條件下的流量。該問題在收容分劃板等其他物品的情況下也一樣存在。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明的課題是使得能夠測量收容有個數(shù)比平均數(shù)少的物品的容器中的凈化氣體的流量。
[0010]用于解決課題的手段
[0011]本發(fā)明的測量單元，用來測量從擱板座的噴嘴提供的凈化氣體的流量。測量單元包括:
[0012]基板；
[0013]氣體導(dǎo)入部，配置在上述基板的底面，與擱板座的噴嘴接觸，由此利用來自上述基板的載荷與噴嘴之間保持氣密的同時，導(dǎo)入凈化氣體；
[0014]電路部，至少具有測量上述氣體導(dǎo)入部中的流量的流量計和電源；以及
[0015]多個腿部，相對于上述基板沿上下方向位移自由，將測量單元的自重即來自測量單元的載荷的一部分支承在擱板座上。最好使腿部在水平面內(nèi)相對于基板也前后左右地位移自由。
[0016]本發(fā)明的凈化氣體的流量測量方法中，利用測量單元測量從擱板座的噴嘴提供的凈化氣體的流量。
[0017]上述測量單元具備:
[0018]基板；
[0019]氣體導(dǎo)入部，配置在上述基板的底面，并且利用來自基板的載荷與噴嘴之間保持氣密的同時導(dǎo)入凈化氣體；
[0020]電路部，至少具有流量計和電源；以及
[0021 ] 多個腿部，相對于上述基板沿上下方向位移自由。
[0022]并且，將上述多個腿部支承在擱板座上，并且通過使上述氣體導(dǎo)入部與擱板座的噴嘴接觸來將測量單元的載荷分配到上述多個腿部和上述氣體導(dǎo)入部；
[0023]利用流量計測量經(jīng)由上述氣體導(dǎo)入部而流向上述流量計的凈化氣體的流量。
[0024]本發(fā)明中，由于利用腿部將測量單元自重的一部分支承在擱板座上，因此能夠?qū)⑴c收容少量物品的容器相同的載荷施加到氣體導(dǎo)入部。因此，能夠在凈化氣體容易泄漏的條件下測量流量。換言之，能夠測量條件惡劣的情況下的流向容器內(nèi)的凈化氣體的流量。另夕卜，在本說明書中，有關(guān)測量單元的記載原封不動地適用于凈化氣體的流量測量方法，有關(guān)凈化氣體的流量測量方法的記載原封不動地適用于測量單元。來自測量單元的載荷除了分配給腿部和氣體導(dǎo)入部以外，也可以分配給引導(dǎo)器等。并且，氣體導(dǎo)入部例如設(shè)置有多個，測量例如每個氣體導(dǎo)入部的流量。
[0025]最好是將上述基板作為第I基板，在第I基板的上方設(shè)置有支承上述電路部的至少一部分的第2基板。上述腿部安裝在第2基板上、避開第I基板地向著擱板座延伸，從而上述腿部將第2基板的重量即來自第2基板的載荷支承在擱板座上。另外，來自第I基板的載荷分配給例如氣體導(dǎo)入部和引導(dǎo)器。如果這樣，通過將來自電路部的載荷的一部分支承到腿部上，能夠完成減輕作用于氣體導(dǎo)入部的載荷的容器。并且，由于作用于氣體導(dǎo)入部的載荷的不均勻少，因此不需要載荷的調(diào)整。
[0026]最好是測量單元還具有向上述腿部施加朝下的彈力的彈性體和調(diào)整上述彈力的調(diào)整部件。并且使用調(diào)整部件執(zhí)行調(diào)整從氣體導(dǎo)入部向噴嘴施加的載荷的調(diào)整步驟。如果這樣，通過利用調(diào)整部件調(diào)整彈性體的彈力，能夠在寬廣的范圍內(nèi)調(diào)整施加給氣體導(dǎo)入部的加載，能夠測量從收容了少量物品的容器到收容了大量物品的容器的凈化氣體的流量。
【附圖說明】
[0027]圖1為潔凈室內(nèi)儲料器的俯視圖；
[0028]圖2為儲料器內(nèi)擱板的主要部分俯視圖；
[0029]圖3為實施例的測量單元的水平方向剖視圖；
[0030]圖4為實施例的測量單元的仰視圖；
[0031]圖5為變形例的測量單元的水平方向剖視圖；
[0032]圖6為第2變形例的測量單元的水平方向剖視圖。
【具體實施方式】
[0033]下面介紹實施本發(fā)明的優(yōu)選實施例。本發(fā)明的范圍應(yīng)該根據(jù)權(quán)利要求范圍的記載、參照說明書的記載和本領(lǐng)域的眾所周知的技術(shù)，依照本領(lǐng)域技術(shù)人員的理解而確定。
[0034]實施例
[0035]圖1?圖6中表示實施例及其變形。圖1表示成為實施例的測量單元30的使用環(huán)境的儲料器2，設(shè)置多個開間4，將F0UP6等容器保管在每個開間4中。在開間4中設(shè)置用來定位并放置F0UP6的擱板座20，從凈化氣體供給部8往擱板座20的管線提供氮氣、清潔干燥空氣等凈化氣體，從管線通過圖2的噴嘴24給F0UP6提供凈化氣體。在儲料器2設(shè)置有裝載口 10，與未圖示的橋式吊車或人等之間交接F0UP6，用輸送裝置12在裝載口 10與開間4之間輸送F0UP6。輸送裝置12具備搭載了未圖示的移載裝置的升降臺14，沿軌道16行走，使升降臺14升降，與層疊成多層的開間4之間移載F0UP6。容器只要是通過氣體導(dǎo)入部從噴嘴24導(dǎo)入凈化氣體，利用自重保持與噴嘴24之間的氣密的部件就可以，保管的物品的種類是任意的。
[0036]為了測量每個開間4的向F0UP6的凈化氣體流量，設(shè)置測量單兀30。測量單兀30能夠載置在擱板座20上，與F0UP6 —樣從擱板座20 —側(cè)導(dǎo)入凈化氣體，裝備有流量計來測量向測量單元30內(nèi)的凈化氣體的流量。并且，測量單元30利用輸送裝置12向開間4輸送。
[0037]圖2中表示擱板座20，21為開口，為移載裝置的臂支承FOUP和測量單元的底面并進(jìn)入的區(qū)域，22為連接銷，定位F0UP6和測量單元30。24為噴嘴，具備未圖示的閥，具備例如4個噴嘴24，其中的3個用于提供凈化氣體，I個用于排出，噴嘴24的個數(shù)是任意的。噴嘴24的閥在來自一直內(nèi)置的彈性體的施力的作用下閉合，在來自F0UP6和測量單元的載荷的作用下打開，流過氣體?；蛘?，也可以用未圖示的傳感器檢測F0UP6等，打開噴嘴24的上游側(cè)的閥，流過氣體。另外，噴嘴24的結(jié)構(gòu)我們知道有多種，是任意的。
[0038]圖3、圖4中表示實施例的測量單元30。測量單元30具備例如上下一對金屬制等的基板32、34，在下側(cè)的基板32上設(shè)置有例如3個引導(dǎo)器35，以及例如3個或4個氣體導(dǎo)入部36，它們與設(shè)置在F0UP6底部的相同。引導(dǎo)器35引導(dǎo)連接銷22。氣體導(dǎo)入部36依靠基板32的自重用未圖示的彈性墊圈氣密地包圍噴嘴24。利用來自基板32的載荷打開噴嘴24內(nèi)置的閥，向流量計41導(dǎo)入凈化氣體?；蛘撸脭R板座20