—側的在位傳感器(未圖示)檢測測量單元30，利用儲料器2的控制器或設置在擱板座20上的控制器打開與噴嘴24相連的氣體流路的閥，從而將凈化氣體導入流量計41。另外，也可以不設置內置的閥，墊圈為氟樹脂、氟橡膠、氟橡膠海綿、聚氨基甲酸乙酯樹脂、聚氨基甲酸乙酯橡膠、聚氨基甲酸乙酯橡膠海綿、硅樹脂、硅橡膠、硅海綿等構成的氣密性的密封材料。來自基板32的載荷大部分由噴嘴24支承，銷釘22支承的比例少。并且基板32的重量與例如收容一片晶片的FOUP相同，僅與收容了一片晶片的FOUP相同的凈化氣體經(jīng)過氣體導入部36的閥。另外，如果將追加的配重搭載到基板32上，則能夠測量收容有多片晶片之際的凈化氣體流量。并且，從氣體導入部36流入測量單元30的凈化氣體的流量比較重要，也可以不測量從測量單元30流出的凈化氣體的流量。
[0039]3根或4根等銷釘38從基板34貫穿基板32的通孔39，突出到下方，由擱板座20支承。因此基板34的重量由銷釘38和擱板座20支承。在基板34上搭載有蓄電池、DC/DC變換器等電源40，例如設置在每個氣體導入部36中的流量計41、流量顯示器42以及數(shù)據(jù)記錄器44等，也可以取代數(shù)據(jù)記錄器而搭載通信裝置。電源40?數(shù)據(jù)記錄器44的總重量大，比FOUP6的罩和蓋重。并且，氣體導入部36和流量計41用未圖示的管連接。另外，在沒有摘板座20的情況下，基板34從圖3的位置下降，由基板32支承，此時，用未圖不的定心機構在孔39內定心銷釘38。而且，銷釘38為腿部的例子，腿部并不局限于銷釘。銷釘38能夠在通孔39內上下、前后左右地移動。在將測量單元30設置到擱板座20上的情況下，由于最初銷釘38與擱板座20接觸，因此在利用引導器35引導連接銷22之際，有必要使基板32在水平面內相對于銷釘38前后左右地移動。
[0040]說明測量單元30的使用方法。利用圖1的輸送裝置12將測量單元30向開間4移載，使用連接銷22和引導器35確定氣體導入部36相對于噴嘴24的位置。如果使基板32的總重量與收容了一片晶片的F0UP6相同，則能夠測量收容了一片晶片時的凈化氣體的流量。然后，將測量值收集到數(shù)據(jù)記錄器44中，從裝載口 10搬出測量單元30進行分析。并且，在人工輸送測量單元30的情況下，目視確認顯示在顯示器42中的流量。而且，為了準確地知道收容有多于一片晶片時的流量，只要將與晶片的片數(shù)相對應的配重載置到基板32上就可以，由于一片晶片的情況下條件最差，因此也可以不測量晶片比一片多的時候的流量。
[0041]圖5表示變形例的測量單元30B，除了特別指出的點以外，與圖3、圖4的測量單元30相同。在基板50上搭載有引導器35、氣體導入部36、電源40、流量計41、顯示器42和數(shù)據(jù)記錄器44。在3?4根銷釘38的上部設置有凸緣51，與彈性體52抵接被向下方施力，銷釘38和彈性體52被收容在殼體54的內部。在殼體54的內周鉸切有螺紋，與帶螺紋部件56的螺紋嚙合，用帶螺紋部件56限制彈性體52的上端位置，調整向銷釘38施加的彈力。由此調整施加給氣體導入部36的載荷，能夠從收容有一片晶片的狀態(tài)直到收容有多片晶片的狀態(tài)調整施加給氣體導入部36的載荷。其他之處與圖3、圖4的測量單元30相同。圖5中銷釘38貫穿基板50，但銷釘38只要被不從基板50脫落地保持著、向下擠壓就可以，沒有必要貫穿基板50。
[0042]也可以將罩安裝到測量單元30上，采用例如與F0UP6相同的形狀。并且，如果將與F0UP6同樣開閉的蓋和蓋周圍的密封材料安裝到罩上，測量流入測量單元的凈化氣體和流出的凈化氣體的流量，則能夠推定從F0UP6泄漏的凈化氣體的程度。
[0043]將第2變形例表示在圖6中，除了特別指出的點以外，與圖3、圖4的實施例相同。在圖6的變形例的測量單元30C中，將流量計41搭載在基板32上，將銷釘38配置在基板32的外側。利用鋼絲等變形自由的連接部件60連接基板32、34。如上所述，也可以將電源40、流量計41、顯示器42、數(shù)據(jù)記錄器44等電路元件的一部分搭載在基板32上，并且銷釘38也可以不管穿基板32。另外，這種情況以基板32與收容了一片左右的晶片的容器重量相同為前提。
[0044]在實施例中，能夠測量由于收容有一片晶片因此輕而凈化氣體的流量少的F0UP6中的流量。
[0045]標記的說明
[0046]2-儲料器；4-開間；6-F0UP ;8_凈化氣體供給部；10-裝載口 ； 12-輸送裝置；14-升降臺；16_軌道；20-擱板座；21-開口 ；22_連接銷；24_噴嘴；30、30B、30C_測量單兀；32、34_基板；35_引導器；36_氣體導入部；38_銷釘；39_通孔；40_電源；41_流量計；42-顯示器；44_數(shù)據(jù)記錄器；50_基板；51_凸緣；52_彈性體；54_殼體；56_帶螺紋部件；60-連接部件。
【主權項】
1.一種測量單元，用來測量從擱板座的噴嘴提供的凈化氣體的流量，包括: 基板； 氣體導入部，配置在上述基板的底面，與擱板座的噴嘴接觸，由此利用來自上述基板的載荷與噴嘴之間保持氣密的同時，導入凈化氣體； 電路部，至少具有測量上述氣體導入部中的流量的流量計和電源；以及多個腿部，相對于上述基板沿上下方向位移自由，將測量單元自重的一部分支承在擱板座上。2.如權利要求1所述的測量單元，其特征在于，結構為:將上述基板作為第I基板，在第I基板的上方設置有支承上述電路部的至少一部分的第2基板，并且上述腿部安裝在第2基板上、避開第I基板地向著擱板座延伸，從而上述腿部將第2基板的重量支承在擱板座上。3.如權利要求1所述的測量單元，還具有:向上述腿部施加朝下的彈力的彈性體；以及 調整上述彈力的調整部件。4.一種凈化氣體的流量測量方法，利用測量單元測量從擱板座的噴嘴提供的凈化氣體的流量，其特征在于， 上述測量單元具備: 基板； 氣體導入部，配置在上述基板的底面，并且利用來自基板的載荷與噴嘴之間保持氣密的同時，導入凈化氣體； 電路部，至少具有流量計和電源；以及 多個腿部，相對于上述基板沿上下方向位移自由； 該方法執(zhí)行以下步驟: 將上述多個腿部支承在擱板座上，并且通過使上述氣體導入部與擱板座的噴嘴接觸來將測量單元的載荷分配到上述多個腿部和上述氣體導入部的分配步驟；以及 利用上述流量計測量經(jīng)由上述氣體導入部而流向上述流量計的凈化氣體的流量的測量步驟。5.如權利要求4所述的凈化氣體的流量測量方法，其特征在于，上述測量單元將上述基板作為第I基板，在第I基板的上方具備支承上述電路部的至少一部分的第2基板，并且上述腿部安裝在第2基板上、避開第I基板地向擱板座延伸， 上述載荷分配步驟中，上述腿部將來自第2基板的載荷支承在擱板座上。6.如權利要求4所述的凈化氣體的流量測量方法，其特征在于，上述測量單元還具有: 向上述腿部施加朝下的彈力的彈性體；以及 上述彈力的調整部件； 該方法還執(zhí)行利用上述調整部件調整從上述氣體導入部向噴嘴施加的載荷的調整步驟。
【專利摘要】本發(fā)明的測量單元測量收容了個數(shù)比平均數(shù)少的物品的容器(6)內的凈化氣體的流量。利用測量單元(30)測量從擱板座的噴嘴提供的凈化氣體的流量。測量單元(30)具備：基板(32)；配置在基板(32)的底面、與擱板座(20)的噴嘴(24)接觸、用來自基板(32)的載荷與噴嘴(24)之間保持氣密的同時導入凈化氣體的氣體導入部(36)；具有測量凈化氣體流量的流量計(41)和電源(40)的電路部；相對于基板(32)沿上下方向位移自由、將測量單元(30)自重的一部分支承在擱板座(20)上的多個腿部(38)。
【IPC分類】G01F1/00, H01L21/677
【公開號】CN104937709
【申請?zhí)枴緾N201480005157
【發(fā)明人】村田正直, 山路孝
【申請人】村田機械株式會社
【公開日】2015年9月23日
【申請日】2014年1月30日
【公告號】WO2014136506A1